• Title/Summary/Keyword: 유리 볼

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대면적 TCP에서 띠끌입자의 성장 및 제어

  • 배인덕;엄규섭;박성종;허승회;권기청;전상진;최원호
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.192-192
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    • 2000
  • 플라즈마 내부에서 성장하는 티끌입자는 미세회로의 제조 시 수율저하와 제품의 신뢰도를 떨어뜨리는 원인이 된다. 이 티끌입자는 일반적으로 0.1$mu extrm{m}$ 정도의 크기를 가지고 있으며 공정 중 웨이퍼 모서리주변에 머무르다가 떨어져 웨이퍼를 오염시킨다. 본 연구에서는 아세톤을 사용하여 플라즈마를 발생시키고, 티끌입자의 씨앗으로 알루미나 분말을 개스에 실어 플라즈마 내로 주입하여 입자의 성장을 관찰하였다. 플라즈마의 아래쪽에 유리기판을 두고 일정시간 동안의 반응이후 기판표면을 조사한 결과 약 1$\mu\textrm{m}$정도까지 성장한 티끌입자를 관찰할 수 있었으며, 특히 Sheath 포텐셜이 큰 유리기판의 모서리 부분이 심하게 오염된 것을 볼 수 있었다. 티끌입자는 일반적으로 음으로 대전되어 있으므로, 이 티끌입자에 의한 유리기판의 오염을 제어하기 위한 아이디어로 기판 위 5cm되는 위치에 그리드를 설치한 다음 음전압을 인가하였다. 바이어스 전압이 -200V의 경우, 인가한 음전압은 오염을 촉진시켰으나 -100V를 인가한 경우에는 오염이 감소하는 것을 관찰하였다.

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A Study on the Post-Receptor Mechanism of Adenosine Receptor on Norepinephrine Release in the Rat Hippocampus (흰쥐 해마에서 Norepinephrine 유리에 미치는 Adenosine Receptor의 Post-Receptor 기전에 관한 연구)

  • Choi, Bong-Kyu;Kim, Do-Kyung;Yang, Kyung-Moo
    • The Korean Journal of Pharmacology
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    • v.32 no.1
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    • pp.1-11
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    • 1996
  • Since it has been reported that the depolarization-induced norepinephrine (NE) release is inhibited by activation of presynaptic $A_1-adenosine$ heteroreceptor in hippocampus, a large body of experimental data on the post-receptor mechanism of this process has been accumulated. But, the post-receptor mechanism of presynaptic $A_1-adenosine$ receptor on the NE release has not been clearly elucidated yet. Therefore, it was attempted to clarify the post-receptor mechanisms of the $A_1-adenosine$ receptor-mediated control of NE release in this study. Slices from rat hippocampus were equilibrated with $^3H-norepinephrine$ and the release of the labelled products was evoked by electrical stimulation (3 Hz, 5 $Vcm^{-1}$, 2 ms, rectangular pulses), and the influence of various agents on the evoked tritium-outflow was investigated. Adenosine, in concentrations ranging from $1{\sim}30{\mu}M$, decreased the NE release in a dose-dependent manner, without affecting the basal rate of release. The adenosine effects were significantly inhibited by 8-cyclopentyl-1,3-dipropylxanthine (DPCPX, $2{\mu}M$), a selective $A_1-receptor$ antagonist. The responses to N-ethylmaleimide (NEM, 10 & $30{\mu}M$), a SH-alkylating agent of G-protein, were characterized by increments of the evoked NE-release and the basal release, and the adenosine effects were completely abolished by NEM pretreatment. $4{\beta}-Phorbol$ 12,13-dibutyrate (PDB, $1{\mu}M$), a specific protein kinase C (PKC) activator, increased the evoked NE release, whereas polymyxin B sulfate (PMB,0.1 mg), a PKC inhibitor, decreased the release, and the adenosine effects were inhibited by these agents. Nifedipine $(1{\mu}M)$, a $Ca^{2+}-channel$ blocker of dihydropyridine analogue, did not affect the adenosine effect. Tetraethylammonium (TEA, 3 mM) increased the evoked NE release, and inhibited the adenosine effects, but glibenclamide, a ATP dependent $K^+-channel$ blocker, did not. Finally, 8-bromo cyclic AMP (100 & $300{\mu}M$), a membrane-permeable analogue of cAMP, did not alter the NE release, but adenosine effects were inhibited by pretreatment with 8br-cAMP. These results suggest that the decrement of the evoked NE-release by $A_1-adenosine$ receptor is mediated by the C-protein, which is coupled to protein kinase C, adenylate cyclase system and TEA sensitive $K^+-channel$, and that nifedipine-sensitive $Ca^{2+}-channel$ and glibenclamide-sensitive $K^+-channel$ are not involved in this process.

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Supporting IP multicast RSVP over ATM (ATM 망에서의 IP 멀티캐스트 RSVP 지원 연동 방안)

  • 최정현;이미정
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 1998.10a
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    • pp.444-446
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    • 1998
  • 실시간 멀티미디어 응용의 등장으로 멀티캐스트와 QoS(Quality of Service)필수적인 망 서비스가 부각되고 있다 이에 ATM 기반의 인터넷에서 IP멀티캐스트의 효율적인 처리를 위하여 MARS(Multicast Address Resolution Server)가 제안되었고, 기존의 최선 서비스 기반의 인터넷에서 QoS(Quality of Service)를 지우너하기위하여 RSVP(Resource Reservation Protocol)가 제안되었다. 본 논문에서는 ATM망에서 QoS 가 지원되는 IP 멀티캐스트 서비스를 제공하기위하여 MARS 구조에서 RSVP를 지원하는 방안을 두 가지 제안하고, 시뮬레이션을 통하여 그 성능을 분석하고자 한다. 제안하는 두 가지 방법은 각각 RSVP 전 홉 논드 방식과 MARS서버 방식이라 명명하였다. RSVP전 홉 노드 방식은 송신원으로부터 ATM 망으로 진입하는 노드와 수신원을 향하여 ATM망을 진출하는 노드 간에 각각 일대일 양방향 VC를 설정하여 멀티캐스트 그룹에 속하는 수신원들이 보내는 자원 예약 메시지를 ATM 망에서 전송하는 방안이다. MARS 서버 방식은 MARS서버가 RSVP자원 예약 메시지를 처리하도록 그 기능을 확장함으로써 ATM 망의 제어 VC를 절약할 수 있는 방안이다. 시뮬레이션을 통하여, RSVP흐름의 휴지기간이 짧으면 RSVP전 홉 노드방식이 VC해제율이 낮아져 병목 현상으로 인한 큐잉 지연에 크게 영향을 받고 있는 MARS방식보다 유리함을 볼 수 있었고 RSVP 흐름의 휴지기간이 길 때는 병목 현상이 완화된 MARS방식이 VC설정 지연 단점이 부각된 RSVP 전 홉 노드 방식보다 유리함을 볼 수 있었다.

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RF-PECVD로 성장시킨 $a-Si_{1-x}C_x:H$ 박막의 증착조건에 따른 광학적 특성 분석

  • 박문기;김용탁;홍병유
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.76-76
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    • 2000
  • 최근 비정질 SiC 박막은 열과 광안정도면에서 비정질 Si 박막에 비해 우수하며 공정변수들을조절함으로써 비교적 쉽고 다양하게 광학적.전기적 특성을 얻을 수 있고, 낮은 광흡수계수 및 105($\Omega$cm)1 이상의 높은 전도도를 가지고 있어 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)을 통해 가전자제어 (Valency electron control)가 가능한 비정질 SiC 박막이 제작된 이래 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 결정성이 없는 비정질 물질은 상대적으로 낮은 온도에서 성장이 가능하며, 특히 glow-sidcharge 방식으로 저온에서 성장시킬 수 있음에 따라 유리등과 같은 다른 저렴한 물질을 기판으로 이용, 넓은 면적의 비정질 SiC 박막을 성장시켜 여러 분야의 소자에 응용되고 있다. 비정질 SiC 박막이 넓은 에너지띠 간격을 갖는 물질이라는 점과 화학적 안정성 및 높은 경도, 비정질성에 기인한 대면적 성장의 용이성 등의 장점이외에, 원자의 성분비 변화에 의해 에너지띠 간격(1.7~3.1eV)을 조절할 수 있다는 점은 광전소자의 응용에 큰 잠재성이 있음을 나타낸다. PECVD 방식으로 성장된 비정질 SiC 박막은 태양전지의 Window층이나 발광다이오드, 광센서, 광트랜지스터 등에 응용되어 오고 있다. 본 연구에서는, RF-PECVD(ULVAC CPD-6018) 방법에 의하여 비정질 Si1-xCx 박막을 2.73Torr의 고정된 압력에서 RF 전력(50~300W), 증착온도(150~30$0^{\circ}C$), 주입 가스량 (SiH4:CH4)등의 조건을 다양하게 변화시켜가며 증착된 막의 특성을 평가하였다. 성장된 박막을 X-ray Photoelectron Spectroscopy(XPS), UV-VIS spectrophotometer, Ellipsometry, Atomic Force Microscopy(AFM)등을 이용하여 광학적 밴드갭, 광흡수 계수, Tauc Plot, 그리고 파장대별 빛의 투과도의 변화를 분석하였으며 각 변수가 변화함에 따라 광학적 밴드갭의 변화를 정량적으로 조사함으로써 분자결합상태와 밴드갭과 광 흡수 계수간의상관관계를 규명하였고, 각 변수에 따른 표면의 조도를 확인하였다. 비정질 Si1-xCx 박막을 증착하여 특성을 분석한 결과 성장된 박막의 성장률은 Carbonfid의 증가에 따라 다른 성장특성을 보였고, Silcne(SiH4) 가스량의 감소와 함께 박막의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다.

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Effect of DC bias on structure of hydrogenated amorphous silicon and microcrystalline silicon

  • 이윤정;주성재;임승현;윤의준
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.84-84
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    • 2000
  • 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)과 미세결정질 실리콘 ($\mu$c-Si:H)은 저온.건식 공정인 PECVD로 값싼 유리 기판을 사용하여 넓은 면적에 증착이 가능하다는 큰 장점으로 인해 광전소자(photovoltaic device)와 박막 트랜지스터(TFTs)등에 폭넓게 응용되어 왔으며 최근에는 nm 크기의 실리콘 결정(nc-Si)에서 가시광선 영역의 발광 현상이 발견됨에 따라 광소자로서의 특성을 제어하기 위해서는 성장 조건과 공정 변수에 따른 구조 변화에 대한 연구가 선행되어야 한다. 본 연구에서는 UHV-ECR-PECVD 법을 이용하여 H2로 희석된 SiH4로부터 a-Si:H과 $\mu$c-Si:H를 증착하였다. 그림 1은 SiH4 20sccm/H2 50sccm/25$0^{\circ}C$에서 기판의 DC bias를 변화시키면서 박막을 증착시킬 때 나타나는 박막의 구조 변화를 raman spectrum의 To phonon peak의 위치와 반가폭의 변화로 나타낸 것이다. 비정질 실리콘 박막은 DC bias를 증가시킴에 따라 무질서도가 증가하다가 어떤 critical DC bias에서 최대치를 이룬후 다시 질서도가 증가한다. 이온의 충격력에 의해 박막내에 응력이 축적되면 박막의 에너지 상태가 높아지고 이 축적된 응력이 ordering에 대한 에너지 장벽을 넘을 수 있을 만큼 커지게 되면 응력이 풀리면서 ordering이 가능해지는 것으로 생각된다. 그림 2는 수소 결합 형태의 변화이다. 박막의 무질서도가 증가할 경우 알려진 바와 같이 2000cm-1근처의 peak은 감소하고 2100cm-1 부근이 peak이 증가하는 현상을 보였다. 본 논문에서는 여러 공정 변수, 특히 DC bias에 따르는 박막의 구조 변화와 다른 성장 조건(온도, 유량비)이 critical DC bias나 결정화, 결정성 등에 미치는 영향에 대한 분석결과를 보고하고자 한다.등을 이용하여 광학적 밴드갭, 광흡수 계수, Tauc Plot, 그리고 파장대별 빛의 투과도의 변화를 분석하였으며 각 변수가 변화함에 따라 광학적 밴드갭의 변화를 정량적으로 조사함으로써 분자결합상태와 밴드갭과 광 흡수 계수간의상관관계를 규명하였고, 각 변수에 따른 표면의 조도를 확인하였다. 비정질 Si1-xCx 박막을 증착하여 특성을 분석한 결과 성장된 박막의 성장률은 Carbonfid의 증가에 따라 다른 성장특성을 보였고, Silcne(SiH4) 가스량의 감소와 함께 박막의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다. 이것은 quinua 대체량 증가에 따른 반죽의 안정성이 저하되어 버린 것으로 생각되어진다. 더욱이 lipase를 첨가하면 반죽이 분화하는 경향이 보여졌지만 첨가량 75ppm에 있어서 상당히 비용적의 증대가 보였다. 이것은 lipase의 가수분해에 의해

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A Study on the Post-Receptor Mechanism of Adenosine Receptor on Acetylcholine Release in the Rat Hippocampus (흰쥐 해마에서 Acetylcholine 유리에 관여하는 Adenosine Receptor의 Post-Receptor 기전에 관한 연구)

  • Choi, Bong-Kyu;Oh, Jae-Hee
    • The Korean Journal of Pharmacology
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    • v.30 no.3
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    • pp.263-272
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    • 1994
  • Since it was been reported that the depolarization-induced ACh release is inhibited by activation of presynaptic $A_1-adenosine$ heteroreceptor in hippocampus, a large body of experimental data on the post-receptor mechanism of this process has been accumulated. But, the post-receptor mechanism of presynaptic $A_1-adenosine$ receptor on the ACh release has not been clearly elucidated yet. Therefore, it was attempted to clarify the post-receptor mechanisms of the $A_1-adenosine$ receptor-mediated control of ACh release in this study. Slices from rat hippocampus were equilibrated with $^3H-choline$ and the release of the labelled products was evoked by electrical stimulation (3 Hz, 5 $VCm^{-1}$, 2ms, rectangular pulses), and the influence of various agents on the evoked tritium-outflow was investigated. Adenosine, in concentrations ranging from $0.3{\sim}300\;{\mu}M$, decreased the ACh release in a dose-dependent manner, without affecting the basal rate of release. The adenosine effects were significantly inhibited by $DPCPX\;(2\;{\mu}M)$, a selective $A_1-receptor$ antagonist. The responses to N-ethylmaleimide $(10&30{\mu}M)$, a SH-alkylating agent of G-protein, were characterized by increments of the evoked ACh-release and the basal release, and the adenosine effects were completely abolished by NEM pretreatment. PDB $(1{\sim}10\;{\mu}M)$, a specific protein kinase C (PKC) activator, increased, whereas PMB $(0.03{\sim}1\;mg)$, a PKC inhibitor, decreased the evoked ACh-release, and the adenosine effects were not affected by these agents. Nifedipine $(1\;{\mu}M)$, a $Ca^{2+}\;-channel$ blocker of dihydropyridine analogue, significantly inhibited the adenosine effect, but glibenclamide, a $K^+-channel$ blocker, did not. Finally, 8-bromo cyclic AMP $(100\;&\;300{\mu}M)$, a membrane-permeable analogue of cAMP, did not alter the ACh release, but adenosine effects were inhibited by pretreatment with large dose of 8-br-cAMP $(300\;{\mu}M)$. These results indicate that the decrement of the evoked ACh-release by $A_1-adenosine$ receptor is mediated by the G-protein, and nifedipine-sensitive $Ca^{2+}-channel$ and adenylate cyclase system are coupled partly to this effect, and that protein kinase C and glibenclamide-sensitive $K{^+}-channel$ are not involved in this process.

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Food Components and Volatile Flavors in Rhodiola sachalinensis Roots (홍경천(Rhodiola sachazinensis) 뿌리의 식품학적 성분 및 휘발성 향기성분)

  • 이은정;임지순;박채규;전병선;김석창
    • Food Industry And Nutrition
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    • v.9 no.1
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    • pp.53-57
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    • 2004
  • 홍경천(Rhodiola sachalinensis)의 성분을 분석하여 식품학적 특성을 검토하고 식품소재로서의 기초자료로 활용할수 있도록 건조된 홍경천을 분쇄, 분말화한 후 일반성분 및 무기성분, 유리당, 구성아미노산, 유리지방산, 그리고 향기성분을 분석하였다. 홍경천 건조분말의 수분은 10.14%, 조단백 3.90%, 조지방 1.33%, 총당 41.17%, 환원당 11.40% 회분은 3.05%로 분석되었고, 무기성분은 Ca, K, Kg이 높은 함량으로 나타났다. 유리당으로는 glucose, fructose, sucrose 등으로 특히 glucose와 fructose가 높게 함유되어있었다. 주된 구성아미노산은 glutmic acid, cystine arginine, proline, aspartic acid, isoleucine, histidine 등의 함량 순으로 나타났으며, 특히 glutamic acid, cystine, arginine 함량이 각각 176.24, 168.60, 159.90 mg%로 높은 함량 수준을 보였다. 유리지방산은 linoleic acid가 32.46%로 함량이 가장 높았으며 그 다음으로 palmitic acid가 21.42%, lignoceric acid 14.83%, oleic acid 13.09% behenic acid가 5.80% 순으로 나타났다. 향기성분은 GC-MS로 분석한 결과 2-cinnamic aldehyde 함량이 가장 높았으며 geraniol, myrtenol, octanol 등의 함량이 높게 나타났다. 이러한 결과로 볼 때 홍경천 뿌리는 다양한 일반성분 조성과, 필수아미노산, 불포화지방산, 필수 무기질 등이 균형있게 함유된 식품학적 성분 가치가 충분한 소재임이 확인되었다. 따라서 향후 홍경천 뿌리에서 유효성분을 추출하여 생리활성 및 동물실험을 통해 이들 식품학적 성분들의 유용성을 탐색하는 작업이 필요하리라 사료된다.

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COG(chip-on-glass) Mounting Using a Laser Beam Transmitting a Glass Substrate (유리 기판을 투과하는 레이저 빔을 사용한 COG(chip-on-glass) 마운팅 공정)

  • 이종현;문종태;김원용;김용석
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.8 no.4
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    • pp.1-10
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    • 2001
  • Chip-on-glass(COG) mounting of area array electronic packages was attempted by heating the rear surface of a contact pad film deposited on a glass substrate. The pads consisted of an adhesion (i.e. Cr or Ti) and a top coating layer(i.e. Ni or Cu) were healed by the UV laser beam transmitted through the glass substrate. The lather energy absorbed on the pad raised the temperature of a solder ball which is in physical contact with the pad, and formed a reflowed solder bump. The effects of the adhesion and top coating layer on the laser reflow soldering were studied by measuring temperature profile of the ball during the laser heating process. The results were discussed based on the measurement of reflectivity of the adhesion layer. In addition, the microstructures of solder bumps and their mechanical properties were examined.

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A Numerical Study of Fire Dynamics of The Enclosed Compartment with Window Glass Breaking (밀폐된 구획의 창유리 파단시 화재 특성에 관한 수치적 연구)

  • 전흥균;최영상
    • Fire Science and Engineering
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    • v.12 no.2
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    • pp.29-42
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    • 1998
  • The use of computer supported fire safety engineering calculations has grown significantly in recent years and will be increased rapidly. In this study, in order to examine for fire dynamics of the enclosed compartment with window glass(3mm, 4mm thickness) when the window glass breaks, we conducted numerical computer simulations about foam sofa fire with the zone type computer mode, FASTLite package(version 1.1.2) and the Berkeley algorithm for breaking window glass in a compartment fire, BREAK1 program (version 1.0). The analysis of the results in this paper shows that there are differences of fire dynamics between open-or enclosed-state compartment fire and the enclosed compartment fire with window glass breaking. It is also shown in this study that backdraft phenomenum occurs due to accumulated unburned combustible fuel when the glass of 4mm thickness breaks, and that temperature differences between the inner-and outer-surfaces of 3mm and 4mm thick glasses are appreciable. This study will help fire fighter to establish fire suppression or occupant's refuge strategies and fire safety engineer to enhance simulation techniques about the five dynamics of compartment fire.

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Preparation of Aluminum Flake Powder by Recycling of Foil Scrap (알루미늄 호일 스크랩 재활용에 의한 플레이크 분말 제조)

  • 홍성현;김병기
    • Resources Recycling
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    • v.9 no.4
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    • pp.50-55
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    • 2000
  • Recycling technology of aluminum foil scraps into aluminum flake powder by ball milling in dry or wet conditions was studied. Aluminum foil were laminated each other, elongated through microforging by the falling balls, fragmented into small foils and then changed into flake powder during ball milling. It is also possible to recycle foil scraps with thickness less than $60\mu\textrm{m}$ into aluminum paste by wet ball milling. As initial foil thickness decreases, foil is easily milled to flake powder by wet milling in mineral spirits. the appearance and the opaque character of glass painted with aluminum paste obtained by wet milling of foils are similar to those of aluminum paste made by ball milling of gas atomized powder.

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