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Two-zone 확산법을 이용한 다결정 실리콘 박막으로의 Phosphorus 도핑에 관한 연구 (A Study on the phosphorus doping in poly-crystal silicon using two-zone diffusion method)

  • 황민욱;김윤해;이석규;박영욱;김형준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.69-69
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    • 1999
  • 고집적 DRAM 소자의 캐패시터 제조 공정에 있어 하부 전극을 고농도로 도핑을 하기 위한 방안의 일환으로 고체 P를 이용한 two-zone 확산법으로 다결정 실리콘에 도핑하는 방법을 채택하고 가능성을 검토하였다. 기존의 도핑방법과는 달리 불필요한 산화막을 형성하지 않고 굴곡진 표면을 따라 균일하게 고농도로 도핑할 수 있는 장점이 있다. 본 실험에서는 단결정 실리콘 및 다결정 실리콘에 대해 온도와 시간을 달리하여 P를 도핑하고, SIMS 분석으로 실험 조건에 따른 표면 농도를 분석하였다. 또한 도핑 온도를 달리하여, PH3를 이용하여 도핑한 경우와 비교 분석하였다. 표면 부근의 고농도 도핑을 위해서는 도핑온도를 저온으로 가져가고 도핑시간을 길게 가져가는 것이 유리하고, 고체 P를 사용한 경우에 있어서 PH3에 비해 표면 부근의 농도가 약 10배 정도 고농도로 도핑된 것을 알 수 있었다. 실제 소자에서의 적용 가능성을 보기 위하여, 캐패시터를 제작하여 전기적 특성을 분석하였다.

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미강 Lipase의 효소 화학적 성질에 대한 연구 (Studies on the Enzymatic Properties of Rice Bran Lipase)

  • 최미자;이귀주
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제14권3호
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    • pp.146-150
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    • 1981
  • 미강으로부터 추출한 lipase의 몇가지 효소 화학적 성질을 알아 보았다. 반응시간에 따른 유리 지방산의 생성율은 $35^{\circ}C$에서 30분후에 가장 높았다. 효소의 활성화 에너지는 1.83kca1/mo1e이였으며, olive oil emulsion을 기질로 사용하였을때 Km값은 $0.8{\times}10^{-3}mol/{\ell}$였다. 효소 활성은 Ca++이온에 의해 보다 촉진되었다. 미강의 효율적 이용 및 찰의 저장에 대한 이들 효소화학적 성질의 응용성이 토의 되었다.

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수리 형태론에 의한 새로운 피치 검출기 (New Pitch Detectors Using Morphological Filters)

  • 장강의;최태영
    • 한국음향학회지
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    • 제14권6호
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    • pp.68-73
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    • 1995
  • 본 논문에서는 시간 및 주파수 영역에서 두 가지 새로운 형태론적 피치 검출기를 제안하였다. 형태론적 여파기의 형태소의 역할을 실험적으로 조사하였다. 결론적으로 적절한 형태소를 사용한다면 제안한 방법들은 기존 방법에 비하여 간단하고 속도 면에서도 유리하고 성능 면에서도 강함을 알 수 있었다.

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채널 간 중복성을 이용한 다채널 오디오 부호화 (Multichannel Audio Coding using inter-channel Redundancies)

  • 신종인
    • 한국음향학회:학술대회논문집
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    • 한국음향학회 1995년도 제12회 음성통신 및 신호처리 워크샵 논문집 (SCAS 12권 1호)
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    • pp.150-154
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    • 1995
  • 기존의 2-채널 오디오 복호화기와 호환성을 유지하기 위해서는 다채널 오디오 부호화기에 할당되는 비트율이 제한되어야 한다. 늘어난 채널 신호에 적은 양의 비트를 할당해줌으로 인해서 복원음의 음질이 저하되는 결과를 초래한다. 따라서 기존의 방법에 신호의 채널 간 중복성을 이용한 다채널 오디오 신호의 음질을 개선시킬 필요가 있다. 본 논문에서는 채널간 중복성을 이용하기 위한 방법으로 적응 채널 간 예측법을 제안하였다. 적응 채널 간 예측법은 주로 저주파 대역에서 스테레오 신호 간에 존재하는 중복된 정보를 제거하고자 하는 방법이다. 저주파 대역에서는 큰 예측 이득을 얻을 수 있어서 스테레오 음상에 불필요한 정보를 없애는데 유리하다. 기존의 방법과 제안된 예측 부호화법을 비교해 보면 두 신호의 상관 관계가 클수록 개선폭이 증가함을 알 수 있으며 낮은 비트율에서 기존이 부호화기가 처리하기 어려운 광대역 신호에 대해서 음질이 개선되는 결과를 얻었다.

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담세포배양을 이용한 재조합 hGM-CSF의 생산에서 Pluronic F-68이 미치는 영향

  • 조종문;이상윤;김지연;김동일
    • 한국생물공학회:학술대회논문집
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    • 한국생물공학회 2002년도 생물공학의 동향 (X)
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    • pp.313-316
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    • 2002
  • 형질 전환된 식물세포배양에서 비이온성 계면활성제인 Pluronic F-68 의 첨가가 미치는 영향을 연구하였다. Pluronic F-68 첨가시 세포생장에 미치는 영향은 크지 않았으며 5 g/L 첨가시 배지내 hGM-CSF의 양은 대조구에 비해 2배 더 증가하였다. 첨가 시기 최적화 실험을 통하여 배양 초기부터 첨가하는 것이 유리할 것으로 판단된다. 또한 Pluronic F-68 의 첨가가 세포크기를 감소시킴을 알 수 있었다. 이는 Pluronic F-68 이 세포막과 상호 작용하여 세포막 투과성을 증진시킴으로써 생산된 hGM-CSF의 배지 내로의 분비를 촉진시킴을 간접적으로 보여주는 결과이다.

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Growth Retardation in Chronic Renal Failure : Pathophysiology and Therapy

  • 김영미
    • 한국응용약물학회:학술대회논문집
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    • 한국응용약물학회 1996년도 제4회 추계심포지움
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    • pp.85-89
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    • 1996
  • 성장저해는 만성신부전 (chronic renal failure, CRF) 소아환자나 실험동물에게서 나타나는 합병증의 하나로, 그 발생기전이 잘 알려져 있지 않다. 성장저해를 일으키는 원인으로 비내분비적 요인 (metabolic acidosis, renal osteodystrophy, anemia)과 내분비적 요인의 복합적 결과로 생각하나, 비내분비적 요인들은 약물투여로 그 증세를 완화시켜도 성장저해에 대한 궁극적 치료효과는 나타나지 않는다. 따라서 성장 호르몬 (Growth Hormone, GH)이 관여하는 내분비적 요인의 변화에 그 병리기전이 있을 것으로 연구되어 왔다. GH는 직접적 성장 효과와 Insulin-like growth factor-1(IGF-I)을 간으로부터 유리시켜 나타나는 간접적 성장효과를 가지고 있다. 그런데 CRF환자의 GH 및 IGF-I 의 혈중 농도는 정상이거나, 흑은 오히려 증가상태에 있음에도 볼구하고 성장저해가 일어나는 것으로 보아, 환자의 말단기관 (end-organ)에 원인을 알 수 없는 저항성 (resistance)이 있다고 규정되어진다.

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Abrasive Waterjet 세라믹 Drilling가공시 Acoustic Emission 신호를 이용한 On-Line Monitoring에 대한 연구 (On-Line Monitoring of Abrasive Water Jet Drilling of Refractory Ceramics Using Acoustic Emission Sensing Technique)

  • Kwak, Hyo-Sung;Rodovan Kovacevic
    • 한국정밀공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.48-57
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    • 1998
  • Abrasive waterjet(AWJ)은 가공시 열에 의한 가공경화가 없기 때문에 유리, 세라믹, 타이타늄및 금속복합재료와 같은 난삭재의 가공기술로 사용이 증가되었다. Acoustic emission(AE)신호에 의한 AWJ 세라믹 drilling가공시 On-Line Monitoring의 가능성이 고찰되었다. 기계 적인 물성이 서로 상이한 3종류의 세라믹이 본 연구에서 사용되었으며, AE신호는 AWJ drilling의 깊이를 monitoring하는데 유용함을 알 수 있었고 또한 세라믹의 material removal mechanisms을 규명하였다.

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Amonia-Borane에서의 이종상 촉매인 Ru-HAP, Co-HAP를 이용한 수소 발생

  • 김영용;권기영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.194-194
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    • 2011
  • 지구상에서 화석 연료에 기초한 에너지가 고갈되어 가고 있는 지금, 여러 가지 대체 에너지들이 주목 받고 있는데 그 중에서도 수소는 친환경적 에너지원으로서 최근 많은 연구가 진행중이다. 여러 가지 저 분자 중에서 보레인은 수소 질량비가 큰 물질 중의 하나로서 이를 이용하면 적은 무게에 비하여 다른 유사한 질량의 분자들 보다 많은 수소를 발생할 수 있다. 그래서 우리는 이에 착안하여 촉매를 이용한 수소 발생 실험을 구상하게 되었다. Ru과 Co를 수산화인회석에 도입하여 우리는 이종상 촉매인 Ru-HAP와 Co-HAP를 만들었다. 이를 TEM을 이용하여 시료상의 이온교환 전후의 상을 관찰 하였고 SEM을 이용하여 촉매 표면 상의 붕소유리를 관찰 하였다. 높은 온도와 압력일수록 HAP에 더 많이 표면에 Ru과 Co가 흡착됨을 ICP를 통해서 알 수 있었다.

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자장의 분포를 제어한 스퍼터링 증착 시 상온에서의 ITO 박막 특성 연구

  • 최우진;장경수;백경현;김현수;이준신;김창교
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.94-94
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    • 2011
  • LCD, PDP, OLED 등으로 대표되는 FPD 장치의 투명전극으로 사용되는 ITO의 전기 광학적 특성을 연구하였다. 향후 발전시켜나갈 Flexible display 에서는 ITO를 저온에서 증착해야 할 필요성이 대두되었고, 이에 따라 기판의 온도를 상온으로 유지하면서 고품질의 ITO 박막을 제조하고자 하는 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 상온 조건에서 유리 기판 위에 RF Magnetron Sputtering 장치를 이용하여 ITO 박막을 증착하였으며 다양한 Magnetic구조를 통한 자장의 분포를 제어하였다. Magnetic을 이용시 RT에서 얻은 면저항보다 낮은 면저항을 가질 수 있을 뿐만 아니라 온도 증가($250^{\circ}C$)에 따른 결과와 비교시 차이가 거의 없음을 알 수 있었다.

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전기도금법에 의해 제작된 CIS 광흡수층의 Na첨가량에 따른 특성 (Properties of CIS Absorber Layer by Electrodeposition with Na Addition)

  • 장명제;이규환;김명한
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.258-259
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    • 2015
  • $CuInSe_2$(CIS)층에 Na의 첨가는 태양전지 셀의 효율을 향상시키는데 도움을 주는 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 Na이 없는 코닝 유리 기판에 Mo/Mo-Na 이중 박막을 후면 전극으로 이용하여 CIS층의 Na소스로 작용하도록 하였다. CIS/Mo/Mo-Na 다층 박막을 제조한 후, AES분석을 통해 Na은 Mo/Na층과 CIS층의 계면과 CIS층의 표면에 주로 분포하는 것을 알 수 있었다. XRD분석을 통해서 Na함량이 증가할수록 Mo박막의 우선성장면 (110)면의 피크는 감소하였고, CIS의 우선 성장면인 (112)면은 점차 증가하여 Mo-Na층이 200 nm일 때, 최댓값을 가지고 이후로는 감소하는 경향을 보인다. CIS의 결정은 기판에 수직인 방향으로 덴드라이트 성장을 한다. Mo-Na층이 200 nm까지는 밀도가 높은 결정이 성장되지만, 그 이상으로 Na농도가 증가하면 결정 입자의 크기는 다소 성장하지만 밀도가 현저하게 감소한다. 이 결과들로 보아 CIS층의 Na농도조절은 Mo/Mo-Na 이중층의 두께조절을 통해 가능하며, Na이 CIS층에 초과되어 첨가되면 특성이 저하된다.

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