$NF_3$ 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 SiC 단결정 식각에 관한 연구 (A Study on the reactive ion etching of SiC single crystals using inductively coupled plasma of $NF_3$-based gas mixtures)

• 최현준;박주훈;이병택
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.156-156
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  • 2001
• PDF

$Cl_2$/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각

• 이도영;김종성;정지원
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.102-102
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  • 2008
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Internal Antenna-type 유도결합플라즈마 장치를 이용한 나노결정질 실리콘 증착에 관한 연구

• 이형철;홍승표;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.303-303
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  • 2008
• PDF

유도 결합형 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 성장 (Growth of Carbon Nanotubes using Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition)

• 윤형석;류호진;조태환;이내성;박경수
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2000년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.81-81
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  • 2000
• PDF

유도결합형 플라즈마를 이용한 ITO 식각 특성 (Etch characteristics of ITO using inductively coupled plasmas)

• 박준용;김정식;김현수;염근영
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 1999년도 춘계학술발표회 초록집
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  • pp.62-63
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  • 1999
• PDF

TFT-LCD장치를 위한 multi-layer gate metal 식각 특성에서 유도결합형 플라즈마의 gas chemistry 효과

• 송병관;이영준;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2001년도 제21회 학술발표회 초록집
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  • pp.160-160
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  • 2001
• PDF

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용 (Characteristics of $Cl_2/O_2$ Inductively Coupled Plasma and Application to Silicon etch)

• 김현수;이주훈;오경희;염근영
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1996년도 재료학회 춘계학술발표회
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  • pp.20-20
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  • 1996
• PDF

진보된 컨택 식각을 위한 자화 유도 결합 고밀도 플라즈마 (Magnetized Inductively Coupled High Density Plasma for Advanced Contact Etching)

• 이호준;김정훈;김중균;황기웅;주정훈;김정호
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.191-191
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  • 1997
• PDF

유도 결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Ti, Cr)N박막의 제조 및 특성 평가 (The Study on the (Ti,Cr)N coatings deposited by inductively coupled plasma assisted direct current magnetron sputtering)

• 정동하;박홍식;나형돈;이정중
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 2001년도 추계학술발표회 초록집
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  • pp.33-34
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  • 2001
• PDF

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구 (A Study on the Etch Characteristics of Pt Thin Film using Inductively Coupled Plasmas)

• 김현수;장제욱;염근영
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 1998년도 춘계학술발표회 초록집
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  • pp.63-64
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  • 1998
• PDF

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