디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여

• Lee, Ho-Jun
• • Information Display
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  • v.18 no.6
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  • pp.29-34
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  • 2017
• PDF KSCI

유도 결합 플라즈마 보조 스퍼터링 장치의 기술적 발전 과제

• Ju, Jeong-Hun
• • Information Display
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  • v.12 no.5
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  • pp.27-32
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  • 2011
• PDF KSCI

자화유도결합플라즈마를 이용한 pplatinum 식각에 관한 연구

• 김진성;김정훈;주정훈
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1998.02a
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  • pp.180-181
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  • 1998
• PDF

유도 결합형 플라즈마를 이용한 AlGaN 및 InGaN 식각 특성

• 이도행;김현수;염근영;이재원;김태일
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1999.02a
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  • pp.167-167
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  • 1999

유도 결합 플라즈마에서의 전자 에너지 분포 특성 및 Ramsauer 효과에 대한 연구

• 서상훈;김성식;홍정인;배근희;장충석;장흥영
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1999.02a
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  • pp.150-150
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  • 1999

자화된 고밀도 유도결합형 플라즈마를 이용한 ppZT 식각특성에 관한 연구

• 이영준;장제욱;김도형;오경희;이재찬;염근영
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1999.02a
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  • pp.165-165
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  • 1999

유해인자별 노출실태 및 분석방법 24 - 유도결합플라즈마를 이용한 지르코늄의 분석

• Sin, Na-Ri
• • 월간산업보건
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  • s.304
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  • pp.27-34
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  • 2013
• PDF

유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

• 김현수;황순원;염근영;이재원;유명철;김태일
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1997.02a
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  • pp.233-233
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  • 1997
• PDF

Etch characteristics of PZT thin films using magnetized inductively coupled plasmas (자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 PZT 식각특성)

• 이영준;김정식;오경희;이재찬;염근영
• • 한국전기화학회:학술대회논문집
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  • 1999.04a
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  • pp.52-52
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  • 1999
• PDF

내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발

• Ju, Jeong-Hun
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2004.02a
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  • pp.115-116
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  • 2004
• PDF

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