• 제목/요약/키워드: 유기 단분자막

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고성능 유기박막트랜지스터의 개발에 필요한 고품질 자기조립단분자막의 패턴 제작

  • Choe, Sang-Il;Kim, Seong-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.111-111
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    • 2011
  • 유기박막트랜지스터는 각 박막계면의 접촉성에 따라 그 성능이 좌우 된다는 것은 널리 알려진 사실이다. 이 때문에 계면간의 접촉성 및 결함을 최소화 하고 효율적인 패턴 형성을 위해 자기조립단분자막의 이용이 최근에 많이 시도되고 있다. 고품질 자기조립단분자막의 제작을 위해 RCA 세척을 통해 웨이퍼 표면에 OH기를 도입 보다 완벽한 단분자막의 형성을 촉진 하였으며 패턴제작은수분이엄격이조절된환경에서 alkyilsilane과 aminosilane 자기조립단분자막을 각각 ${\mu}CP$과 용액공정을 통해 시도되었다. 이 과정에서 물리적 흡착이나 OH기 부족으로 생성된 결함을 보안하기 위하여 SC1용액을 사용 단순 물리흡착된 자기조립단분자 물질의 제거와 다시 OH기 도입 용액공정을 통해 자기조립단분자막 형성을 반복적으로 실시하였다. 그 결과 자기조립단분자막의 결함이 최소화 되었고 자기조립단분자막의 질에 따라 유기전극재료 증착 시 선택적인 성장 과 형성된 유기전극재료 층의 형상이 다르게 관찰 되었다. 이런 반복적인 용액공정을 통해 결함이 최소화된 고품질 자기조립단분자막은 박막계면 간 옴성접촉을 형성하여 유기박막트랜지스터 제작 시 성능 향상이 기대되어진다.

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Surface treatment of Mg Alloy plate using organic monolayer (유기 단분자막을 이용한 마그네슘 판재 표면처리)

  • Park, Yeong-Hui;Lee, Gyeong-Hwang;Jeong, Jae-In;Yang, Ji-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.36-36
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    • 2007
  • AZ31 Mg alloy plate 표면에 대기압 플라즈마 처리, MgO 코팅, 유기단분자막 형성, sol-gel 코팅등의 표면 처리를 한 후 내식성의 변화를 조사하였다. 대기압 플라즈마는 O2, Ar 개스를 사용하여 처리하였고, MgO 코팅은 sputter를 사용하였으며, 유기 단분자막으로는 Octadecyltrimethoxy silane을 기상유기박막 코팅하였으며, sol-gel 코팅은 dipping 방법을 이용하여 샘플을 제작하였다. 마그네슘 판재는 buffing 공정으로 표면 처리된 것을 사용하였으며, 아세톤 및 에탄올을 이용하여 초음파 세척하여 사용하였다. 표면처리된 시험편을 염수분무법으로 내식성을 평가하였으며, sol-gel 코팅 층의 젖음성 특성 및 xps를 이용하여 내식 특성에 미치는 표면 효과를 분석하였다.

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Anti-corrosive surface treatment of Mg alloy steel using organic self assembly monolayer technique (유기 단분자막을 이용한 마그네슘 합금 판재 (AZ31)의 내식성 표면처리 기술 연구)

  • Park, Jong-Won;Lee, Gyeong-Hwang;Park, Yeong-Hui
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.113-114
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    • 2009
  • 기존의 습식 및 건식 표면처리 공정의 단점을 극복하고, 마그네슘 합금의 가장 큰 문제점인 내식성개선을 위해 열화학기상증착(thermal Chemical Vapor Deposition)법을 이용하여 자기조직화 유기 단분자막(Self-Assembled organic Monolayer, SAM)을 제작하여 마그네슘 합금(AZ31)의 내식성을 검토하였다.

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Laser Photo Patterning Using Organic Self-Assembled Monolayers (유기 자기조립 단분자막을 이용한 레이저 포토패터닝 기술)

  • 최무진;장원석;신보성;김재구;황경현
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.07a
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    • pp.288-289
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    • 2003
  • 금속 박막 위의 알칸티올분자의 흡착에 의한 자기조립단분자막(SAMs)은 접착 방지, 마찰 저하 등의 기능을 가진 코팅층으로서의 응용과 분자 또는 생분자의 미세 구조물 형성을 위한 방법으로 널리 연구되어지고 있다. 이러한 연구 중에서 자기조림단분자막(SAMs)의 매우 얇은 두께(수 nm)의 특성을 활용하여 AFM tip Scratching Lithography 또는 알칸티올 포토패터닝(alkanethiol Photopatterning) 방법을 사용함으로써 microscale의 패턴을 형성하는 연구 결과가 많은 이들의 관심을 받아왔다. (중략)

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유기 자기조립 단분자막과 나노프로브 레이저 패터닝을 이용한 금속박막 미세 형상 가공 기술

  • 최무진;장원석;김재구;조성학;황경현
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.159-159
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    • 2004
  • 금속 박막 위의 알칸티올분자의 흡착에 의한 자기조립단분자막(Self-Assembled Monolayers)은 접착 방지, 마찰 저하 등의 기능을 가진 코팅층으로서의 응용과 분자 또는 생분자의 미세 구조물 형성을 위한 방법으로 널리 연구되어지고 있다. 이러한 연구 중에서 특히 자기조립단분자막의 매우 얇은 두께와 금속 박막의 선택적 식각을 위한 안정적인 리지스트(Photo Resist)로서의 특징을 활용한 극미세 패터닝에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.(중략)

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Self-Assembled Monolayers(SAMs) (자기조립 단분자막)

  • 박경선;이보현;성명모
    • Polymer Science and Technology
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    • v.15 no.3
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    • pp.286-295
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    • 2004
  • 자기조립 단분자막 (self-assembled monolayers, SAMs)은 주어진 기질의 표면에 자발적으로 입혀진 규칙적으로 잘 정렬된 유기 분자막이다 (그림 1). SAMs의 제조에 이용되는 계면 활성제 분자는 그림 2에서 보여주듯이 세 개의 부분으로 이루어져 있다. 먼저 기질과 결합하는 머리 부분의 반응기, 규칙적인 분자 막 형성을 가능하게 하는 몸통 부분의 긴 알칸사슬, 그리고 분자 막의 기능을 좌우하는 꼬리 부분의 작용기로 나누어진다. 가장 간단한 작용기로는 알킬 그룹이 있으나 분자 막에 특수한 기능을 부여하기 위해서는 여러 가지 다른 그룹들 (예:NH$_2$, OH, COOH 등)이 이용되고 있다. (중략)

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Control of the Gold Electrode Work Function for High Performance Organic Thin Film Transistors (표면개질된 금 전극의 일함수 조절을 통한 고성능 유기박막 트랜지스터 개발)

  • Park, Yeong Don
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.23 no.3
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    • pp.289-292
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    • 2012
  • Au electrodes modified with self-assembled monolayers (SAMs) were used to control the work function of source/drain electrodes in triethylsilylethynyl anthradithiophene (TES ADT)-based organic thin film transistors (OTFTs). By using benzothiol (BT) and pentafluorobenzothiol (PFBT) SAMs, the hole injection barrier between Au and the highest occupied molecular orbital (HOMO) of TES ADT was controlled. After a solvent annealing, TES ADT OTFTs with PFBT SAM-treated Au electrodes were found to exhibit high field-effect mobilities of $0.05\;cm^2/Vs$ and on/off current ratios of $10^6$.

The Current Measurement by Electrode Distance of Organic Monolayers (유기단분자막의 전극거리에 따른 전류 측정)

  • 이경섭;전동규;오재한;강용철
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 1998.06a
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    • pp.169-172
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    • 1998
  • We have investigates a surface pressure, a displacement current and a charge measurement by distance of between electrode 1 and water surface of organic monolayers. And the displacement current was generated during compression of Arachidic acid mono1ayers at a air-water interface. The result from our work show that the displacement current of a Langmuir(L) film for Arachidic acid monolayers has the different maximum points according to the electrode distance. We are known that the displacement current and a charge was generated in inverse proportion to electrode distance d.

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Current-Voltage Properties measuring of Dipyridinium Molecule Using Scanning Tunneling Microscopy (STM에 의한 Dipyridinium 분자의 전압-전류 특성 측정)

  • Lee, Nam-Suk;Shin, Hoon-Kyu;Chang, Jeong-Soo;Kwon, Young-Soo
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.11a
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    • pp.485-488
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    • 2004
  • 본 연구에서는 dipyridinium dithioacetate 분자를 Au(111) 표면에 자기조립하여 STM 탐침-유기 단분자막-Au(111)기판의 수직구조로 STM 측정시스템을 이용하여, 전기적 특성을 관찰하였다. 먼저 Au(111)기판을 Piranha용액$(H_2SO_4:H_2O_2=3:1)$으로 Au 표면을 전처리 하였다. 전처리한 Au(111) 기판을 dipyridinium dithioacetate 1mol/ml 농도로 자기조립 하였으며, 자기조립막의 표면 구조를 STM으로 관찰하였다. dipyridinium dithioacetate의 전기적 특성은 STM 탐침-유기단분자막-Au(111) 기판의 수직구조로 STS를 이용하여 조사하였다. 전압과 전류 측정에서 전압이 증가함에 따라 전류가 감소하는 부성 미분저항(NDR)의 특성이 관찰 되었다. NDR 수치가 $-545\;[m\Omega/cm^2]$였고, PVCR은 1.64:1 이었다.

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Characteristics of Self assembled Monolayer as $Ta_2O_5$ Dielectric Interface for Polymer TFTs (중합 박막 트랜지스터를 위한 $Ta_2O_5$ 유전체 접합의 자기조립 단분자막의 특성)

  • Choi, Kwang-Nam;Kwak, Sung-Kwan;Chung, Kwan-Soo;Kim, Dong-Sik
    • 전자공학회논문지 IE
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    • v.43 no.1
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    • pp.1-4
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    • 2006
  • The characteristics of polymeric thin-film transistors(TFTs) can be controlled by chemically modifying the surface of the gate dielectric prior to the organic semiconductor. The chemical treatment consists of derivative the tantalum pentoxide($Ta_2O_5$) surface with organic materials to form self-assembled monolayer(SAM). The deposition of an octadecyl-trichlorosilane(OTS), hexamethy-ldisilazone(HMDS), aminopropyltreithoxysilane(ATS) SAM leads to a mobility of $0.01\sim0.06cm2/V{\cdot}s$ in a poly-3-hexylthiophene(P3HT) conjugated polymer. The mobility enhancement mechanism is likely to involve molecular interactions between the polymer and SAM. These result can be used for polymer TFT's dielectric material.