Carrier gas$(N_2,\;He)$ 가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구
(Effect of Carrier gas$(N_2,\;He)$ on MOCVD TiN Formation)
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- 한국재료학회지
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- 제6권4호
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- pp.388-394
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- 1996