• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.20 no.5
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• pp.322-326
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• 2011

Etch process of silicon dioxide layer by using capacitively coupled plasma (CCP) is currently being used to manufacture semiconductor devices with nano-scale feature size below 50 nm. In typical CCP plasma etcher system, plasmas are generated by applying the RF power on upper electrode and ion bombardment energy is controlled by applying RF power to the bottom electrode with the Si wafer. In this case, however, etch results often drift due to heating of the electrode during etching process. Therefore, controlling the temperature of the upper electrode is required to obtain improvement of etch repeatability. In this work, we report repeatability improvement during the silicon dioxide etching under extreme process conditions with very high RF power and close gap between upper and bottom electrodes. Under this severe etch condition, it is difficult to obtain reproducible oxide etch results due to drifts in etch rate, critical dimension, profile, and selectivity caused by unexpected problems in the upper electrode. It was found that reproducible etch results of silicon dioxide layer could be obtained by controlling temperature of the upper electrode. Methods of controlling the upper electrode and the correlation with etch repeatability will be discussed in detail.

• Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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• 2017.04a
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• pp.144-144
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• 2017

쌈 채소 생산 및 유통의 효율성, 생산성 개선으로 경쟁력 향상을 위해 IoT 기반 스마트 저울과 쌈 채소전용 포장용 가이드를 개발 융합하여 안전하고 빠른 포장, 이동성 개선, 포장과 무게측정 동시 진행 및 출하량 자동측정으로 작업공정개선을 통해 최종적으로 생산성을 향상시킬 수 있는 제품을 개발하고자 한다. 1) 쌈 채소 포장용 가이드를 포함한 실시간 포장 무게 측정 장치 개발 ${\circ}$ 포장 박스와 관계없이 용이하게 사용할 수 있는 쌈 채소 포장용 가이드 개발 ${\circ}$ 실시간 포장 무게를 측정하여 출하 무게에 도달하였을 때 생산담당자에게 부저를 통해 신호전달 2) 생산패턴 분석을 통한 생산관리 애플리케이션 개발 ${\circ}$ 생산 패턴을 파악하여 실시간 생산량을 BLE 통신을 통해 관리자 스마트 폰으로 통지 ${\circ}$ 포장용 지그, 스마트 스케일, 이동체 1식으로 구성하여 용이하게 하우스 이동 3) 센서 디바이스 개발 ${\circ}$ 각종 센서(온도, 습도, 조도 등)의 디바이스를 활용하여 주위환경 데이터 수집 ${\circ}$ 스마트 폰 등을 활용한 콘텐츠 개발 및 노동복지 환경조성(작업환경 개선)

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2007.06a
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• pp.611-614
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• 2007

This paper suggests a TCP/IP-based remote data monitoring system, which combines PDA (Personal Digital Assistant) and WLAN (Wireless Local Area Network) technologies. Wireless PDA devices are used for remote monitoring of wireless communication by continuously collecting remote device data transmitted from servers such as temperature, humidity and device status, and displaying them on mobile devices. Therefore, remote data monitoring systems that integrate wireless and wired services provide data collection adaptive to administrators and efficient identification of device status.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1995.06a
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• pp.48-49
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• 1995

전자소자의 축소화에 따라 electromigration은 점차 반도체 디바이스의 주요 결함 원 인으로 부각되고 있다. 본 실험은 현재 배선 재료로 널리 사용되고 있는 Al-1%Si 금속박막 배선의 electromigration에 대한 온도 및 배선길이 의존성에 관하여 연구하였다. ppLCC(pplastic Leaded Chipp Carrier) ppackage된 ppSG(8000$\AA$)/SiO2(1000$\AA$)/Al-1%Si(7000 $\AA$)/SiO2(5000$\AA$)/pp-typpe Si(100)의 보호막처리된 시편과 Al-1%Si/SiO2(5000$\AA$)/pp-typpe Si(100)의 보호막처리되지 않은 시편등을 standard pphotolithograpphy 공정을 이용하여 각각 제작하였다. 선폭 3$mu extrm{m}$, 길이 100, 400, 800, 1600$\mu\textrm{m}$의 등의 Al-1%Si 박막배선구조를 사용하 였다. 가속화실험을 위해 인가된 D.C 전류밀도는 4.5$\times$106A/cm2이었고 실온에서 10$0^{\circ}C$까지 의 분위기 온도에서 electromigration를 실행하였다. 박막배선길이에 따른 MTF(Mean Time-to-Failure)는 임계길이 이상에서 포화되는 경향을 보이며 임계길이는 Al-1%Si 박막 배선에서 분위기온도에 따라 길이 400$\mu\textrm{m}$과 800$\mu\textrm{m}$범위에서 나타났다. 각 시편에서 electromigration에 대한 활성화에너지도 MTF의 특성과 유사하게 임계길이 이상에서 포화 되는 특성을 타나내었다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.4 no.3
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• pp.327-333
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• 1995

전자소자의 축소화에 따라 박막배선에서의 electromigration은 점차 극소전자 디바이스의 주요 결함원인으로 부각되고 있다. 본 실험에서는 현재 박막 배선 재료로 가장 널리 사용되고 있는 AI-1%Si 금속박막배선의 electromigration에 대한 온도 및 배선길이의 의존성에 관하여 연구하였다. PSG($8000AA$)/SiO2(1000$\AA$)/AI-1%Si(7000$\AA$)/SiO2(5000$\AA$)/p-Si(100)의 보호막처리되지 않은 시편 등을 standard photolithography 공정을 이용하여 각각 제작하였다. 선폭 3$\mu$m, 길이 100, 400, 800, $\1600mu$m등의 AI-1%Si 배막배선구조를 사용하였다. 가속화실험을 위해 인가된 d.c.전류밀도는 4.5X106A/$ extrm{cm}^2$이었고 실온에서 $100^{\circ}C$까지의 분위기 온도에서 electromigration test를 진행하였다. 박막배선의 길에에 따른 MTF(Mean-Time-to-Failure)는 임계길이 이상에서 포화되는 경향을 보이며 이는 보호막층의 유무에 관계없이 나타난다. 선폭 $3\mu$m인 AI-1%Si 박막배선에서 임계길이는, 보호막처리된 시편은 $800\mu$m, 보호막처리되지 않은 시편은 $400\mu$m 배선길이에서 나타난다. 이러한 포화의 경향은 낮은 온도에서 더욱 명확해지는 특성을 보인다. 각 시편에서 electromigration에 대한 활성화에너지도 MTF의 특성과 유사하게 임계길이 이상에서 포화되는 특성을 보인다.

• The Journal of Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
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• v.9 no.6
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• pp.617-623
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• 2016

Recently, IoT technology has been applied to the control of appliances in the home, and information about temperature, humidity, etc. is collected and the application of the system to control the indoor environment automatically is increasing. Currently, the network configuration of IoT devices is mainly used to connect IoT devices to the Internet through wireless gateways. Since such a method is dependent on a gateway, there are limitations in providing various services. Therefore, this paper proposes an independent method of gateway by using IoT network without using gateway by applying long distance wireless communication technology. IoT devices using the proposed long distance wireless internet technology can connect to a remote server and provide mobility that can not be supported by existing methods, thereby providing more various services. The performance evaluation of the proposed network configuration method is compared with the delay time and the amount of data generated in the existing network method constituted by the gateway and the proposed network configuration method respectively. Experimental results show that the proposed method decreases the delay time and the amount of data generated by the gateway.

• Journal of Internet Computing and Services
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• v.10 no.4
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• pp.127-138
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• 2009

Mobile web applications are being used and changed rapidly due to the growth of mobile device performance. But, cost of development environment and standards make the high development cost and low productivity. It is main reason that the design and implementation of the applications are more time consuming than general computing environments. In this paper, we propose MWeb(MobileWeb)-Framework based on the agile methodology and Ruby on Rails that is a kind of framework for supporting mobile web application development using mobile web standards. This work consists of the mobile web development architecture and agile process model. MWeb-Framework will support the same user experience to the different devices. We validates the framework by implementing the case studies through suggested mobile web development framework. As a result, we can develop the mobile web applications with productivity and quality. In the future, we will suggest how to make the MWeb-Framework standardization and practically apply the frameworks the various case studies to improve framework potentially problems.

• Journal of Internet Computing and Services
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• v.23 no.5
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• pp.69-78
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• 2022

As the use of Internet of Things (IoT) devices has expanded, digital forensics coverage of the National Police Agency has expanded to smart home areas. Accordingly, most of the existing studies conducted to acquire smart home platform data were mainly conducted to analyze local data of mobile devices and analyze network perspectives. However, meaningful data for evidence analysis is mainly stored on cloud storage on smart home platforms. Therefore, in this paper, we study how to acquire stored in the cloud in a Hey Home Air environment by extracting accessToken of user accounts through a cookie database of browsers such as Microsoft Edge, Google Chrome, Mozilia Firefox, and Opera, which are recorded on a PC when users use the Hey Home app-based "Hey Home Square" service. In this paper, the it was configured with smart temperature and humidity sensors, smart door sensors, and smart motion sensors, and artifacts such as temperature and humidity data by date and place, device list used, and motion detection records were collected. Information such as temperature and humidity at the time of the incident can be seen from the results of the artifact analysis and can be used in the forensic investigation process. In addition, the cloud data acquisition method using OpenAPI proposed in this paper excludes the possibility of modulation during the data collection process and uses the API method, so it follows the principle of integrity and reproducibility, which are the principles of digital forensics.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2012.11a
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• pp.1292-1295
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• 2012

인구 과밀화 및 급격한 도시 팽창은 지상공간에서 거주하는 인간 삶의 질을 위협하고 있다. 따라서 지상공간의 개발을 억제하여 환경을 보호하고 도시 공간 이용의 효율성을 최대화하기 위해 지하 공간을 개발하고자 하는 움직임이 활발하다. 자연환경으로부터 격리된 구조인 지하공간은 지상공간에 비해 실내 공기 질을 쾌적한 상태로 유지하기 어려운 밀폐된 환경이므로 오랜 시간동안 상주하는 거주자 및 한시적 이용자들의 건강에 영향을 미치는 온도, 습도, $CO_2$, 먼지 등의 환경을 제어하기 위한 기술 개발이 필요하다. 본 연구에서는 지하공간의 쾌적도 향상을 위해 온 습도 및 $CO_2$, 먼지센서를 이용한 통합 센서를 제작하여 현재 지하공간의 환경정보를 실시간 모니터링하고 실내공간의 쾌적 지표를 기반으로 환풍기, 송풍기 등의 디바이스를 제어하기 위한 USN 기반의 환경제어시스템을 구현한다. 제안한 시스템을 통해 지하공간의 환경을 개선할 뿐만 아니라 고가의 계측 장비로 인한 비용 절감 및 이동성과 확장성 등의 부가적인 효과를 기대한다.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.38A no.12
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• pp.1135-1144
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• 2013

Deploying small cells is a reliable and influential solution to handle the skyrocketing traffic increase in the cellular network, and the small cell technology is evolving to ultra-dense network (UDN). In this paper we propose a small cell on/off algorithm with a simple but essential framework composed of access point (AP), user equipment (UE), and small cell controller (SCC). We propose Device-Assisted Networking for Cellular grEening (DANCE) algorithms that save the energy consumption by tying to minimize the number of turned-on APs while maintaining the network throughput. In doing so, SCC firstly gathers the feedback messages from UEs and then makes a decision including a set of turned-on APs and user association. DANCE algorithm has several variations depending on the number of bits of the UE's feedback message (1 bit vs. N bit), and is divided into AP-first, UE-first, or Proximity ON according to the criteria of selecting the turned-on APs. We perform extensive simulations under the realistic UDN environment, and the results confirm that the proposed algorithms, compared to the baseline, can significantly enhance the energy efficiency, e.g., more than a factor of 10.