• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.115-115
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• 2010

고휘도 고효율 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색 LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 에피웨이퍼공정은 에피층과 기판의 격자상수 차이와 열팽창계수차이로 인하여 생성되는 에피결함의 문제로 기판과 GaN 박막층 사이에 완충작용을 해줄 수 있는 버퍼층 (Buffer layer)을 만든다. 그 위에 InGaN/GaN MQW (Multi Quantum Well)공정을 하여 고휘도 고효율 백색 LED를 구현 할 수 있다. 이 공정에서 기판의 온도가 불균일해지면 wafer 파장 균일도가 나빠지므로 백색 LED의 yield가 떨어진다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 등이 장비의 설계 요소이다. 본 연구에서는 유도가열방식의 유도가열히터를 이용하여 기판과 히터의 간격에 차이에 따른 기판 균일도 측정했고, 회전에 의한 기판의 온도분포와 자기장분포의 실험적 결과를 상용화 유체역학 코드인 CFD-ACE+의 모델링 결과와 비교 했다. 또한 가스의 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도를 측정하였다. 본 연구에서 사용된 가열원은 유도가열히터 (Viewtong, VT-180C2)를 사용했고, 가열된 흑연판 표면의 온도를 2차원적으로 평가하기 위하여 적외선 열화상 카메라 (Fluke, Ti-10)를 이용하여 온도를 측정했다. 와전류에 의한 흑연판의 가열 현상을 누출 전계의 분포로 확인하기 위하여 Tektronix사의 A6302 probe와 TM502A amplifier를 사용했다. 흑연판 위에 1 cm2 간격으로 211곳에서 유도 전류를 측정했다. 유도전류는 벡터양이므로 $E{\theta}$를 측정했으며, 이때의 측정 방향은 흑연판의 원주방향이다. 또한 자기장에 의한 유도전류의 분포를 확인하기 위하여 KANETEC사의 TM-501을 이용하여 흑연판 중심으로부터 10 mm 간격으로 자기장을 측정 했다. 저항 가열 히터를 통하여 대류에 의한 온도 균일도를 평가한 결과 gap이 3 mm일때, 평균 온도 $166.5^{\circ}C$에서 불균일도 6.5%를 얻었으며, 회전에 의한 온도 균일도 측정 결과는 2.5 RPM일 때 평균온도 $163^{\circ}C$에서 5.5%의 불균일도를 확인했다. 또한 CFD-ACE+를 이용한 모델링 결과 자기장의 분포는 중심이 높은 분포를 나타냄을 확인했고, 기판의 온도분포는 중심으로부터 55 mm되는 곳에서 300 W/m3로 가장 높은 분포를 나타냈다. 가스 inlet 위치를 흑연판 중심으로 수직, 수평 방향으로 흘려주었을 때의 불균일도는 각각 10.5%, 8.0%로 수평 방향으로 가스를 흘려주었을 때 2.5% 온도 균일도 향상을 확인했다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.8 no.2
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• pp.62-66
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• 1998

We have studied on the magnetic properties of the specimen with additives Bi$_2$O$_3$and$V_2O_5$ that sintered at 900 $^{\circ}C$ for 4 hours for sybthesizing optimal Ni-Zn-Cu ferrite. Curie temperature rises from 240 $^{\circ}C$ to 270 $^{\circ}C$ as Ni contents increase. Magentic maximum induction$(B_m)$ increases from 2650 G to 3300 G, 3500 G in the specimens with $V_2O_5$ and Bi$_2$O$_3$resectively. On the contrary coercive force $(H_c)$ lowers to 2.05 Oe~1.05 Oe. Permeability all increase in the specimen with additives. In the specimen with additive Bi$_2$O$_3$, we have obtained the low relative loss factor of $6.3{\times}10^{-5}~7.84{\times}10^{-5}$ in the range of 1MHz due to increase of resistivity in grain boundary. In the specimen with additive $V_2O_5$ in spite of increase permeability relative loss factor increase of due to decrease of Q-value.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.181-181
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• 2008

DLC (Diamond-like Carbon) 박막은 높은 내마모성과 낮은 마찰 계수, 화학적 안정성 및 적외선 영역에서의 높은 투과율과 낮은 광 반사도, 높은 전기저항과 낮은 유전율, 전계방출특성 등 여러 가지 장점을 가진 물질이다[1]. 최근에는 DLC 박막의 여러 장점들과 산과 염기 유기용매에 대한 화학적 안정성으로 인하여 인조관절에서 인공심장의 판막에 이르기까지 의공학 관련 부품소재로 응용되고 있으며 내구성과 안정성에 있어서 탁월한 성능을 보여주고 있다. 또한 DLC 박막의 높은 경도와 낮은 마찰 계수, 부드러운 박막 표면 (수nm의 RMS 거칠기)의 장점을 살려 마그네틱 미디어와 하드디스크의 슬라이딩 표면에 사용되어지고, MEMS (Micro-Electro Mechanical System) 소자와 MMAs (Moving Mechanical Assemblies)의 고체윤활코팅으로 활용하여 미세기계의 내구성과 성능 향상을 도모할 수 있다. 이와 같이 DLC 박막은 다양한 분야에 응용되고 있으며, 박막이 지닌 여러 가지 장점들로 인하여 더 많은 분야에 응용될 가능성을 지닌 물질이다. 그러나 수 ${\mu}m$이상의 두께에서 박막이 높은 잔류응력 (residual stress)을 가지고, 열에 취약하여 이의 개선에 관한 연구들이 진행되어 지고 있다 [2]. 따라서 사용되는 목적에 따라 용도에 맞는 양질의 DLC 박막을 합성하기 위해선 합성 장치의 개발과 다양한 실험을 통한 최적의 합성조건 도출 등의 노력이 요구된다. 또한 DLC 박막 합성시의 여러 가지 증착 방법에 따른 박막 물성에 대한 재현성 확보 및 박막 증착에 관한 명확한 메커니즘 규명이 아직까지는 불분명하여 이에 관한 연구가 시급하다. 따라서 본 연구에서는 MEMS 소자와 MMAs의 고체윤활코팅으로 사용가능한 DLC 박막을 RF PECVD (Plasma Enhanced Vapor Deposition) 방식으로 합성하고 후열처리 온도에 따른 DLC 박막의 마찰계수 변화를 박막에 훼손을 주지 않는 FFM (Friction Force Microscopy) 방식을 사용하여 분석하였다.

• Composites Research
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• v.31 no.5
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• pp.260-266
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• 2018

This study investigates thermal and mechanical characterization of Hafnium carbide coating on the $C_f-C$ composites. The hafnium carbide coatings by vacuum plasma spray on the C/C-SiC composites are prepared to evaluate oxidation and wear resistance. We perform the thermal durability tests by thermal cycling at $1200^{\circ}C$ for 10cycles in air and investigates the weight change of each cycle. We also evaluate the wear and indentation behavior using tungsten carbide ball indenter as a mechanical evaluation. As a result, the HfC coating is beneficial to reduce of weight loss during thermal cycling test and improve the elastic property of C/C-SiC composite. Especially, the HfC coating improves the wear resistance of C/C-SiC composite.

• Composites Research
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• v.16 no.3
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• pp.75-84
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• 2003

The purpose of this study is to investigate the wear properties of Saffil/Al, Saffil/A12O3/Al and Saffil/SiC/Al hybrid metal matrix composites fabricated by squeeze casting method. Wear tests were done on a pin-on-disk friction and wear tester under both dry and lubricated conditions. The wear properties of the three composites were evaluated in many respects. The effects of Saffil fibers, $\textrm{Al}_2\textrm{O}_3$ particles and SiC particles on the wear behavior of the composites were investigated. Wear mechanisms were analyzed by observing the worn surfaces of the composites. The variation of coefficient of friction(COF) during the wear process was recorded by using a computer. Under dry sliding condition, Saffil/SiC/Al showed the best wear resistance under high temperature and high load, while the wear resistances of Saffil/Al and Saffi1/$\textrm{Al}_2\textrm{O}_3$/Al were very similar. Under dry sliding condition, the dominant wear mechanism was abrasive wear under mild load and room temperature, and the dominant wear mechanism changed to adhesive wear as load or temperature increased. Molten wear occurred at high temperature. Compared with the dry sliding condition, all three composites showed excellent wear resistance when lubricated by liquid paraffin. Under lubricated condition, Saffil/Al showed the best wear resistance among them, and its COF value was the smallest. The dominant wear mechanism of the composites under lubricated condition was microploughing, but microcracking also occurred to them to different extents.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.36D no.9
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• pp.37-45
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• 1999

For the purpose of reducing the output voltage fluctuation of thin film multijunction thermal converter, EVANOHM alloy-S and chromel-alumel thermocouple were used as a thin film heater material and as a thermoelement of thrmopile, respectively. The temperature coefficient of the resistance of thin film EVANOHM alloy-S heater was about $1.4 {\times} 10^4/^{\circ}C$, which is very small compared to other materials, and thin film chromel-alumel thermocouple showed relatively small difference of the Seebeck coefficients about $38 {\mu}V/K$. The output voltage fluctuation of the thermal converter was about 0.06% for the initial 120 seconds in air and decreased considerably after preheating for 5 minutes or more. The respective AC-DC voltage and current transfer error ranges of the thermal converter were about ${\pm}$1.6 ppm and ${\pm}$0.7 ppm in the frequency range from 10Hz to 10 kHz and increased remarkably below 10 Hz or above 10 kHz.

• Korean Journal Plant Pathology
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• v.3 no.3
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• pp.210-216
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• 1987

A computer program written to predict blast occurrence based on micro climatic events was developed and tested as an on-site microcomputer in field plots in 1984 and 1985. A microcomputer unit operating on alkaline batteries; continuously monitored air temperature, leaf wetness, and relative humidity; interpreted the microclimate information in relation to rice blast development and displayed daily values (0-8) of blast units of severity (BUS). Cumulative daily BUS values (CBUS) were highly correlated with blast development on the two susceptible cultivars, M-201 and Brazos grown in field plots. When CBUS values were used to predict the logit of disease proportions, the average coefficients of determination $(R^2)$ between these two factors were 71 to $91\%$, depending on cultivar and year. This was a significant improvement when compared to 61 to $79\%$ when days were used as a predictor of logit disease severity. The ability of CBUS to predict logit disease severity was slightly less with Brazos than M-201. This is significant inasmuch as Brazos showed field resistance at mid-sea­son. The results in this study indicate that the model has the potential for future use and that the model could be improved by incorporating other variables associated with host plants and pathogen races in addition to the key environmental variables.

• International Journal of Highway Engineering
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• v.11 no.3
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• pp.97-109
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• 2009

One of the main causes of asphalt rutting is high temperature of the pavement. Nevertheless, there has been few research on lowering the pavement temperature for reducing rutting. This study investigated the performance characteristics of moisture-retaining porous asphalt pavement, which is known to have a temperature reducing effect. The purpose of this study is to quantify the temperature reducing effect of moisture-retaining porous asphalt pavement and its effect of reducing rutting through Accelerated Pavement Testing(APT). Additionally, the possibility of reducing the thickness of the pavement in comparison to general dense grade pavement by analyzing structural layer coefficient of moisture retaining pavement. A total of three test sections consisting of two moisture-retaining porous asphalt pavement sections and one general dense-grade porous asphalt pavement section were constructed for this study. Heating and spraying of water were carried out in a regular cycle. The loading condition was 8.2 ton of wheel load, the tire pressure of $7.03kgf/cm^2$, and the contact area of $610cm^2$. The result of this experiment revealed that the temperature reducing effect of the pavement was about $6.6{\sim}7.9^{\circ}C$(average of $7.4^{\circ}C$) for the middle layer and $7.9{\sim}9.8^{\circ}C$(average of $8.8^{\circ}C$) for surface course, resulting in a rutting reduction of 26% at the pavement surface. Additionally, the structural layer coefficient of moisture retaining pavement measured from a laboratory test was 0.173, about 1.2 times that of general dense grade pavement. The general dense-grade porous asphalt pavement test section exhibited rutting at all layers of surface course, middle layer, and base layer, while the test sections of moisture-retaining porous asphalt pavement manifested rutting mostly at surface course only.

• Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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• v.22 no.5
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• pp.583-592
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• 2016

IMO (International Maritime Organization) in the UN (United Nations) set up that aim at reducing $CO_2$ emission from ship by up to 30 percent until 2030. The final purpose of this study is the development of marine thermoelectric generation system using waste heat from vessel of internal combustion engines. Before the development of marine thermoelectric generation system, this paper carried out the fundamental heat analysis of marine thermoelectric generation system. It was able to obtain the valuable results about the efficiency improvement of the thermoelectric generation system. The results is as follows : 1) It was confirmed that the efficiency of thermoelectric generation system improves to 8.917 % with increasing the temperature difference of peltier module by reducing the temperature difference between peltier module and heat source at the hot side. 2) System efficiency according to change in the external load resistance was confirmed that the change width of about 6 % which does not significantly occur. 3) System efficiency in the case stainless steel at the same condition is 8.707 %. System efficiency could be confirmed that the stainless steel is higher than duralumin (8.605 %), copper (8.607 %).

• Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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• 2002.04b
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• pp.45-45
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• 2002

나노미터 크기의 결정립을 가지는 나노분말 및 나노복합분말의 제조와 특성에 관한 연구가 매우 활발하다. 나노복합분말의 제조방법에는 기상증발후 응축법, 화학응축법, 기계적합금법 등이 있으나, 고순도 및 균일한 크기분포의 분말과 응집되지 않은 분말의 제조 조건을 가장 잘 만족하는 방법은 화학기상응축법(Chemical Vapor Condensation; CVC)이다. 본 연구그룹 에서는 CVC밤법으로 이용하여 공구/금형재료에 가장 많이 사용되는 WC/Co 합금의 결정립을 n nm크기로 극미세화고자하는 연구을 진행하고 있다. 본 연구에서는 이들 WC/Co합금제조시 가장 중요한 출발분말인 나노크기 WC 분말의 제조와 그 특성에 관하여 연구하고자 하였다. 나노미터 WC분말을 제조하기 의한 전구체는 고상의 금속유기물인Tungstenhexacarbonyl$(W(CO)_6)$ 을 사용하였다. 수평관상로을 반응기로 사용하였으며, 노내의 온도을 500-110$0^{\circ}C$로 변화시 키면서 WC 분말을 합성하였다. 반응기 및 포집기 내부를 대기분위기, 상압의 Ar분위기, 진공 분위기로 변화시켜 압력 및 분위기의 영향을 조사하였다. 포집기는 상온 및 액체질소로 냉각 한 Chiller을 사용하였다. 형성분말의 상분석은 XRD로 조사하였으며, 형태 및 결정립크기는 TEM로 분석하였다. 반응온도 600 -1 OOO$^{\circ}C$의 온도범위에서 검은색의 WC 분말이 제조되었다. XRD 분석의 결과 로 제조된 분말은 상온에서 준안정상인 Hexagonal 구조의 $\gammar-WC_{1-x}$ 상이였으며, TEM 분석결 과 상압하에서는 약 30nm이하의 WC분말이 제조되었으며, 그 형태는 둥근 4각형의 모양을 지녔다. 감압하에서 진행한 경우 결정립의 크기는 8nm이하를 가졌다.곤가스로 산화를 방지하였고, 냉매로는 질소가스를 이용하였다. 제조된 분말을 기ㅖ적 분급법을 이용하여 분급하였고, 냉매로는 질소가스를 이용하였다. 제조된 분말을 기계적 분급ㅂ법을 이용하여 분급하였고, 압출에 이용된 분말은 250$\mu\textrm{m}$이하의 크기를 사용하였다. 또한 분말제조과정 중 형성되는 표면산화층을 제거하기 위하여 36$0^{\circ}C$에서 4시간동안 수소 환원처리를 행하였다. 제조된 분말은 열간 압출을 위하여 Aㅣcan에 넣고 냉간성형체를 만들고, 진공처리를 한 후 밀봉하여 탈가스처리를 하였다. 압출다이는 압출비가 각각 28:1과 16:1인 평다이(9$0^{\circ}C$)를 사용하여 각각 내경이 9, 12cm이고, 길이가 50, 30cm인 압출재를 제조하였다. 열간압출한 후의 미세조직을 광학현미경으로 압출방향에 평행한 방향과 수직방향으로 관찰하였고, 열간 압출재 이방성을 검토하기 위하여 X선 회절분석을 실실하여 결정방위를 확인하였다. 전기 비저항 및 Seebeck 계수 측정을 위하여 각각 2$\times$2$\times$10$mm^3$ 그리고 5$\times$5$\times$10TEX>$mm^3$ 크기의 시편을 준비하였다.준비하였다.전류를 구성하는 주요 입자의 에너지 영역(75~l13keV)에서 가장 높은(0.80) 상관계수를 기록했다. 넷째, 회복기 중에 일어나는 입자들의 유입은 자기폭풍의 지속시간을 연장시키는 경향을 보이며 큰 자기폭풍일수록 현저했다. 주상에서 관측된 이러한 특성은 서브스톰 확장기 활동이 자기폭풍의 발달과 밀접한 관계가 있음을 시사한다.se that were all low in two aspects, named "the Nonsign