• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.11a
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• pp.273-276
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• 2003

대기 침적은 환경 내에서 침적된 물질들이 미치는 악영향으로 인하여 그에 대한 관심이 증대되고 있다. 특히 이 중에서 건식침적이란 대기 중 입자상이나 가스상 오염물질들이 눈이나 비가 오지 않을 때 지구 표면으로 이동되어 제거되거나 반응하는 기작을 말한다. 이러한 건식침적에 관한 연구는 그 측정의 어려움으로 인하여 주로 간접 측정법에 의하여 추정한 것이 대부분이었으나, 최근 대체 표면을 사용하여 건식침적량을 직접 측정을 하고자 하는 시도가 이루어져왔다. (중략)

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.33 no.2
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• pp.374-384
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• 2016

Concern about air pollution is gradually rising up in domestic and foreign, automotive and fuel researchers are trying to reduce vehicle exhaust emissions, through a lot of approaches, which consist of new engine design and innovative after-treatment systems, using clean (eco-friendly alternative) fuels and fuel quality improvement. This research is proceeding by two main issues : exhaust emissions and PM particle emissions of gasoline vehicle. Exhaust emissions, non-regulated emissions and PM (particulate matter) particles of automotive are causing many problems which ambient pollution and harmful effects on the human body. The main particulate fraction of automotive exhaust emissions consists of small particles. Because of their small size, inhaled particles can easily penetrate deep into the lungs. The rough surfaces of these particles make it easier for them to combine with other toxins in the environment. Thus, the hazards of particle inhalation are increased. Based on the oxygenated fuel additive types (MTBE, Bio-ETBE, Bio-ethanol, Bio-butanol), this paper discussed the influence of oxygen contents on gasoline vehicle exhaust emissions, non-regulated emissions and nano-particle emissions. Also, this paper assessed exhaust emission characteristics at 2 type test modes. The test modes were FTP-75 and HWFET. All measurement items be verified less than the value of regulated emissions. It could be known difference increase and decrease by each measurement item depending on increase the oxygen contents.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.05b
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• pp.209-210
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• 2003

최근 동북아시아지역의 급속한 산업발달과 더불어 많은 양의 오염물질을 대기로 배출하고 있다. 특히 중국의 급속한 산업화와 문화수준의 향상 등으로 인해 배출되는 막대한 양의 대기오염물질이 동북아시아지역에서 주기적으로 발생하는 황사와 함께 장거리 이동현상에 의해 우리나라 및 일본 등의 대기 에어로졸 질량 농도 및 화학적 조성에도 많은 변화를 가져올 정도로 직접적인 영향을 끼친다. 그 중에서도 입자 크기가 2.5~10$\mu\textrm{m}$사이에 있는 조대입자(coarse particle)의 광화학적 특성에 많은 변화를 야기시키는 것으로 알려져 있다. (중략)

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.66.1-66.1
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• 2011

반도체를 비롯하여 LCD, OLED와 같은 디스플레이 (FPD: Flat Panel Display) 분야는 국가 선도 사업으로써 발전을 거듭해오고 있다. 하지만 기술의 성숙도가 높아짐에 따라 최근 중국과 대만 업체와의 경쟁이 심화되고 있으며, 더불어 환경문제가 큰 이슈로 떠오르고 있어 신기술 개발을 통한 생산 수율 향상 및 친환경 공정 개발의 중요성이 커지고 있다. 반도체, 디스플레이 공정에서 생산 수율 저하의 주요 원인으로써 공정 중 발생하는 미세 오염 입자를 들수 있다. 반도체 및 디스플레이 공정에서 세정 기술은 전체 기술의 30% 이상을 차지하며 생산 수율 및 제품의 품질에도 큰 영향을 주는 공정이다. 세정 공정은 일반적으로 습식 세정 공정이 낮은 공정비용을 바탕으로 널리 적용되어 왔으나, 기판의 대형화와 패턴의 미세화에 따라 정밀한 세정 스펙이 요구되며 더불어 막대한 양의 초순수와 화학액의 사용으로 인한 공정비용 증가와 환경 규제 강화에 따른 폐수 처리의 문제에 직면하고 있다. 이에 따라 폐수의 양을 줄이며 건조공정을 필요로 하지 않아 공정비용을 줄일 수 있는 건식 세정 공정에 대한 연구가 활발히 진행 되고 있다. $CO_2$ snow jet 세정 기술은 건식 공정으로써 $CO_2$ 가스를 특수하게 제작된 분사 노즐에서 고압으로 가스를 분사하여 이 때 발생되는 순간적인 감압에 의한 단열 팽창으로 생성된 $CO_2$ snow 입자가 기판 표면의 오염물과 물리적 충돌을 하어 세정이 이루어지는 기술이다. 특히 $CO_2$ 세정은 환경과 인체에 무해하며 공정 후 바로 승화하기 때문에 추가적인 폐수처리 공정 등이 필요하지 않고, 건식 공정으로써 수세(Rinse) 공정을 필요로 하지 않기 때문에, 공정비용을 크게 줄일 수 있으며 물반점 발생을 방지 할 수 있는 친환경 건식 공정으로써의 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 자체적으로 개발한 $CO_2$ snow jet을 바탕으로 하여 다양한 공정조건을 변화시켜 세정효율을 측정하는 한편, 최적화 하기 위한 연구를 진행하였으며 더불어 $CO_2$ snow의 세정력을 정량적으로 평가하기 위한 연구를 진행하였다. 실험을 통해 가장 효과적으로 $CO_2$ snow 입자를 배출 할 수 있는 공정 조건으로써 5 bar의 캐리어 가스 압력을 사용하여, 세정력에 가장 큰 영향을 줄 수 있는 분사 노즐과 기판 사이의 거리 및 분사 노즐의 각도 등을 변화시켜 각 조건에 따른 세정효율을 평가하였다. 세정 오염물은 Silica, PSL 표준 입자(Duke scientific, USA)를 정량적으로 웨이퍼에 오염 시킨 후, 파티클 스캐너(Surfscan 6500, KLA-Tencor, USA)를 이용하여 세정 전 후의 오염입자 개수 변화를 통해 정량적으로 세정효율을 평가하였다. 본 연구를 통하여 $CO_2$ snow jet를 이용한 친환경 고효율 건식 세정 공정 메커니즘을 분석하였으며, 노즐과 기판 사이의 간격 및 분사 노즐의 각도 등을 최적화 한 세정 공정을 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2001.11a
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• pp.259-260
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• 2001

최근 들어 대기오염 연구, 클린룸 및 실내환경 연구, 신물질 제조, 그리고 호흡기 관련 입자 연구 등 여러 산업 분야에서 에어로졸에 대한 관심이 증가되고 있다. 특히 에어로졸의 크기별 밀도분포는 산업 및 국빈 보건 분야에서 매우 중요한 환경 인자로 취급되고 있다. 외국의 경우$^{1.2}$ 레이저나 다른 광원을 이용한 에어로졸 크기 측정연구는 60년대부터 활발히 진행되어 상용화되어 있으나 국내에서는 이에 대한 연구가 아직 미흡한 실정이다. 본 연구에서는 반도체 레이저를 이용하여 0.2$\mu\textrm{m}$에서 10$\mu\textrm{m}$ 내의 입자에 대한 크기별 밀도 측정을 다루었다. (중략)

• Korean Journal of Remote Sensing
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• v.32 no.2
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• pp.133-139
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• 2016

Particle depolarization ratios (DPRs) at 440, 675, 870 and 1020 nm are retrieved from AERONET sun/sky radiometer observations at Gosan and Kongju in South Korea. The retrieved results show good agreement with DPRs measured by lidar at 532 nm. High DPRs are found when Asian dust passes through at the upper atmosphere over 2 km above the Earth's surface. In case of lower atmosphere less than 2 km from the ground, DPRs are relatively low due to the small amount of dust particles and mixing of dust with air pollutants.

• Korean Journal of Remote Sensing
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• v.32 no.2
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• pp.97-104
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• 2016

We present linear particle depolarization ratio at 440, 675, 870, and 1020 nm retrieved from measurements with an AERONET sun/sky radiometer at Osaka, Japan. The retrieved data were compared with lidar derived linear particle depolarization ratio at 532 nm at the same site. We find good agreement between linear particle depolarization ratios derived with Sun photometer and measured by lidar except for those at 440 nm. The coefficients of determination between lidar derived data and sun/sky radiometer derived data were 0.28, 0.81, 0.88, and 0.89 at 440, 675, 870, and 1020 nm, respectively. We find that the linear particle depolarization ratio derived with sun/sky radiometer varies by the mixing between Asian dust and pollution particles. As the mixing ratio of Asian dust and pollution particles is increased, the linear particle depolarization ratio values are lower than the values of pure Asian dust. It was confirmed by the value of single-scattering albedo and particle size distribution.

• Geotechnical Engineering
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• v.13 no.5
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• pp.155-168
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• 1997

The phenomena of detachment and movement of One particles are one of the important mechanisms both in geotechnical and geoenvironmental engineering. In geoenvironmental engineering, in particular, movement of fine particles may facilitate the transport of contaminants since the particle surfaces absorb contaminants before movement. Weathered granitic residual soils, which are the most abundant in Korea. contain large quantities of fine particles up to 50%. The characteristics of fine particle movement of weathered granitic residual soils are investigated in this paper. Samples are obtained from Poiiong, Shinnaedong in Seoul and Andong in Kyungpook : each of the samples represents typical residual soil types in Korea. Laboratory experiments for the three adopted soil types are performed. It is found that effluent concentration of the samples is influenced by porosity, fine particle percentage and particle size distribution. The critical velocity decreases as the fine particle percentage increases and the rate of change of erosion rate increases as the porosity increases. And well-graded samples showed less effluent concentrations compared to poorly-graded samples. The governing equation on the physical mechanism of fine particle movement and its nomerical solution scheme are suggested on the basis of the test results.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.33-33
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• 2011

반도체 산업기술이 발달함에 따라 고청정 공정 환경이 요구되고 있으며, 반도체 공정용 장비에 이용되는 부품 중 양극산화피막법(Anodizing)으로 피막을 성장시킨 anodic aluminum oxide (AAO)부품은 플라즈마에 의해 화학적, 물리적 침식이 발생하여 코팅막과 모재에 손상을 일으키며 코팅막이 깨지거나 박리되면서 다량의 Particle이 생성됨으로써 공정상의 여러 가지 문제를 야기 시킨다고 알려져 있다. 하지만 코팅막을 평가하는 방법은 거의 전무하며 기본물성 측정방법인 피막두께, 내전압, 임피던스, 내식성 측정방법을 통하여 여러 기본물성측정방법으로 부품의 평가기술을 연구하였다. 본 연구에서는 이러한 진공 부품의 하나인 anodic aluminum oxide (AAO)부품샘플을 누설전류 및 내전압 측정하여 샘플의 전기적 특성을 측정하였고, 표면 미세구조의 변화를 관찰하였다. 부식실험으로는 HCl 가스를 발생시켜 부식정도를 알아봤으며, 부식처리와 플라즈마 처리 모두 코팅 막의 손상과 전기적 특성의 감소를 보였다. 진공장비 전극 부품평가의 유익한 평가 항목으로서 플라즈마 데미지를 주는 도중에 실시간으로 부품평가에 따른 Particle을 측정함으로써 ISPM 장비를 이용하여 진공 장비용 코팅부품이 플라즈마공정에서 발생하는 오염입자를 측정할 수 있는 방법을 연구하였다. 이러한 결과를 이용하여 진공공정에서 사용되는 코팅부품이 플라즈마에 의한 손상정도를 정량화 하고 평가방법을 개발하여 진공장비용 공정 중 실시간으로 부품의 성능평가가 가능하고 코팅부품 신뢰성 향상이 가능할 것으로 본다.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.30 no.10
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• pp.1006-1012
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• 2008

The effect of small and medium scale shipyard operations on environmental pollutions related with civil appeal of nearby residential areas was estimated. PM-10(particles with an aerodynamic diameter less than or equal to 10 $\mu$m) concentrations were higher, as the sampling sites were nearer from shipyards. PM-10 concentrations of sampling sites closer to shipbuilding companies were higher during the normal operation periods than on vacation at which only small works were done. The larger amount of dry deposition was observed as the sampling sites were closer to shipyards. The odor intensity was highly influenced by ambient temperature. Almost all odor intensities measured by air dilution sensory test went over the emission standard in summer. Odor properties measured by instrumental analysis were observed to exceed the emission standard enforced to the shipyards. Odor compounds such as ammonia, sulfur compounds and trimethylamine went over the standard. Concentrations of styrene and aldehydes were lower than the olfactory threshold. All equivalent sound levels measured at daytime except the value of SP-3 pont were in excess of the environmental standard. Almost all sound levels at nighttime in all measuring sites were higher than the environmental standard. The results of this study shows counterplans need to be established for reducing the civil appeal related pollutions in the research areas.