• Economic and Environmental Geology
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• v.31 no.4
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• pp.291-296
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• 1998

Pedogenic hematite is a well known agent for sink of pollutants and nutrients and for aggregation of particles in soils. Changes in physical and chemical properties of two sandy loam soils (Anahuac and Crowley soils) from the Southern Coastal Plain, the United States of America, were tested after adding finely ground crystalline hematite prepared for drilling fluid weighting material. There was an increase in hydraulic conductivity (HC) of the soils with addition of up to 3% by weight of hematite but a decrease in HC with addition of more hematite. The aggregate stability (AS) of the soils was not affected by adding hematite. Anahuac soil with higher content of organic matter and lower sodium adsorption ratio (SAR) had higher values of HC and AS than Crowley soil. Adding hematite also resulted in a slight increase in zinc (Zn) adsorption by the soils, but had no influence on the adsorption of phosphate.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.33.2-33.2
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• 2011

CMP (Chemical-Mechanical Planarization) 공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 CMP 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 CMP 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. CMP 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리, 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. CMP 공정에서, 폴리우레탄 패드는 많은 기공들을 포함한 그루브(groove)를 형성하고 있어 웨이퍼와 직접적으로 접촉을 하며 공정 중 유입된 슬러리가 효과적으로 연마를 할 수 있도록 도와주는 역할을 한다. 하지만, 공정이 진행 될수록 그루브는 손상이 되어 제 역할을 하지 못하게 된다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 CMP 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 CMP 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 scratch 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 연마 잔여물 흡착을 억제하고, 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 소수성 자기조립 단분자막(SAM: Self-assembled monolayer)을 증착하여 특성을 평가하였다. SAM은 2가지 전구체(FOTS, Dodecanethiol를 사용하여 Vapor SAM 방법으로 증착하였고, 접촉각 측정을 통하여 단분자막의 증착 여부를 평가하였다. 또한 표면부식 특성은 Potentiodynamic polarization와 Electrochemical Impedance Spectroscopy (EIS) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. SAM 표면은 정접촉각 측정기(Phoenix 300, SEO)를 사용하여 $90^{\circ}$ 이상의 소수성 접촉각으로써 증착여부를 확인하였다. 또한, 표면에너지 감소로 인하여 슬러리 내의 연마입자 및 연마잔여물 흡착이 감소하는 것을 확인 하였다. Potentiodynamic polarization과 EIS의 결과 분석으로부터 SAM이 증착된 표면의 부식전위와 부식전류밀도가 감소하며, 임피던스 값이 증가하는 것을 확인하였다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 SAM을 증착 하였고, CMP 공정 중 발생하는 오염물의 흡착을 감소시킴으로써 CMP 연마 효율을 증가하는 동시에 컨디셔너 금속표면의 부식을 방지함으로써 내구성이 증가될 수 있음을 확인 하였다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2012.05a
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• pp.81.1-81.1
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• 2012

나노임프린트 리소그라피(Nano-Imprint Lithography, NIL) 기술은 기판위의 resin을 나노구조물이 각인된 스탬프로 눌러서 나노구조물을 형성하는 기술로, 경제적이고 효과적으로 나노구조물을 제작할 수 있는 기술이다. 그중에서도 UV 기반의 나노임프린트(UV-NIL) 기술은 resin을 투명한 스탬프로 누른뒤 UV로 경화시켜 나노구조물을 형성하는 기술로써 고온, 고압($140{\sim}180^{\circ}C$, 10~30bar)이 필요한 가열식 나노임프린트 기술에 비해 상온, 상압($20^{\circ}C$, 1bar)에서도 구조물 형성이 가능하여 다층구조 형성에 적합하다. 연속적인 임프린팅 공정에 의해 resin이 quarz 스탬프에 잔류하여 패터닝에 결함을 유발하게 되므로 오염물을 제거하기 위한 세정공정이 필요하다. 하지만 UV에 의해 경화된 resin은 cross-linking을 형성하여 화학적인 내성이 증가하게 되므로 제거하기가 어렵다. 현재는 resin 제거를 위한 세정공정으로 SPM($H_2SO_4/H_2O_2$) 세정이 사용되고 있는데 세정시간이 길고 세정 후에 입자 또는 황 잔유물이 남으며 많은 유해용액 사용의 문제점이 있어 효과적으로 resin을 제거할 세정공정이 필요한 상황이다. 본 연구에서는 친환경적인 UV 세정 및 오존수 세정공정을 적용하여 경화된 resin을 제거하는 연구를 진행하였다. 실험샘플은 약 100nm 두께의 resin을 증착한 $1.5cm{\times}1.5cm$ $SiO_2$ 쿠폰 wafer를 사용하였으며, UV 및 오존수의 처리시간을 달리하여 resin 제거효율을 평가하였다. ATR-FTIR 장비를 사용하여 시간에 따른 resin의 두께를 측정한 결과, UV 세정으로 100nm 높이의 resin중에 80nm의 bulk resin이 단시간에 제거가 되었고 나머지 20nm의 resin thin film은 오존수 세정으로 쉽게 제거되는 것을 확인 하였다. 또한 표면에 남은 resin residue와 particle을 제거하기 위해서 SC-1 세정을 진행하였고 contact angle과 optical microscope 장비를 사용하여 resin이 모두 제거된 것을 확인하였다.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.46 no.2
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• pp.169-176
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• 2002

In this study, the chemistry achievement of the Korean 8th grade students in the Third Inter-national Mathematics and Science Study-Repeat(TIMSS-R), which was administered internationally in 1999,was analyzed. By the 6th national curriculum, 31 chemistry problems were selected from the categories of 'classification of matter', 'structure of matter', 'chemical reactivity and transformations', 'physical properties and physical changes of matter', 'heat and temperature', 'subatomic particles', 'pollution', 'scientific method',and 'scientific measurements' among the total 143 problems. Based on the analysis of the percentage of cor-rectness on each problem, the weak and strong points of the 6th curriculum were discussed. The implications for the development of national curriculum and textbook are suggested.

• Membrane Journal
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• v.15 no.3
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• pp.198-205
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• 2005

Double-layered polymer films to assay the radioactive contamination were formulated using polysulfone (PSF) and cerium activated yttrium silicate (CAYS), consisting of a dense support layer and a CAYS-holding top layer prepared via the diffusion-induced phase inversion. As the vapor exposure process was omitted, the CAYS-holding layer showed a typical asymmetric structure, with CAYS being transfixed into the polymer network spread with large macropores. With the increase in vapor exposure time before immersion, morphology of the films transformed from asymmetric to sponge-like structures, with CAYS being localized in cellular structure. The border structure between the two layers reflects the phase inversion behavior of a cast solution during the coagulation. In the radioactive detection, the polymer phase in a film holding a sponge-like structure is so dense that the radionuclides, deposited on the film, could not filter through the phase, consequently resulting in the loss in the detection efficiency of the film.

• Membrane Journal
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• v.19 no.4
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• pp.285-290
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• 2009

The permeation experiments were carried out for the nominal pore size $0.1\;{\mu}m$ and 5 mm inner diameter microfiltration tubular membrane equipped with self-designed discharging rod in order to determine the effect of fouling reduction. Dioctyl tinoxide (DOTO) latex particle was used to prepare up to 0.5 wt% concentration of feed solution, and the experiments were operated within 1.6 bar. The permeation flux effect on the discharged rod was measured as a result of flux comparison between the cases of equipped and non-equipped discharge rod modules for every experiment. The permeation flux for the case using the discharged rod was enhanced to 20% at 1.6 bar operating pressure. The improvement on permeation flux for using the discharged rod was greater as the concentration of feed increased, and reached up to 43% under 0.5 wt% concentration of feed solution.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.17 no.2
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• pp.210-216
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• 2006

The concentrations of 16 priority PAHs (US EPA standard) were analyzed in the surface sediments obtained from 23 sampling sites near Kwangyang Bay in Korea. There was a local variability in the total PAHs ranged from 0.01 to 171.39 mg/kg, with a mean value of $8.13{\pm}24.8mg/kg$. The major pollution sources of PAHs near Kwanyang Bay were Taeindo, Sueo stream and Wallae stream, whose concentrations were 114.81, 38.37 mg/kg and 19.05 mg/kg, respectively. It showed that PAHs concentrations were increased with the decrease of particle size and with the increase of organic carbon contents in three fractioned sediments. From the analysis of PAHs source using LMW/HMW, Phe/Ant, and Fla/Pyr, pyrolysis by-products were mostly showed in Kwangyang Bay and some place showed the mixure of pyrolysis by-products, and crude oil by-products. Besides, the toxic effects assessment on benthic ecosystem for three major pollution sources showed that the PAHs concentration of Taindo which was mainly accumulated with carcinogenic PAHs exceeds ERM value and the PAHs of Sueo and Wallae streams are the degree of ERL value.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2006.05a
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• pp.457-461
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• 2006

비점원 농촌유역으로부터 강우시 영양물질(질소, 인)의 유출특성을 파악하기 위해 2002년부터 2005년까지 5개의 강우사상을 대상으로 $2{\sim}12$시간 간격으로 유량 및 수질을 측정하였다. 강우사상시 TN농도는 유량이 증가함에 따라 상승하여 최대농도를 보인 후, 유량감소에 따라 농도가 감소하는 경우와 초기농도보다 높은 농도로 유지되는 경우의 두 가지 경향을 보였다. TP농도는 유량의 증가에 따라 급격한 상승을 보였고, 최대 값 이후 농도가 낮아져 거의 초기농도에 도달하였다. 또한, 초기농도에 대한 최대농도값의 비는 TP가 TN보다 크게 나타났다. 농촌 소유역에서의 초기유출현상(first-flush)은 40%의 누적유출량을 나타낼 때 TP의 누적유출부하량은 $70{\sim}86%$를 기록하여, 도시유역(60%)과 광역논(50%)보다 크게 나타났는데, 이는 농촌 소유역이 경사가 크고 밭 등에서 강우로 인한 토양침식 등의 영향을 크게 받기 때문으로 사료된다. 4개의 강우사상에 대한 질소의 용존성 성분의 비(TN/TDN비)는 93.6%를 나타내 질소는 대부분 용존성 형태로 유출되는 것으로 나타났고, 인의 용존성 성분의 비(TP/TDP비)는 25.4%를 나타내 인의 대부분 입자성 형태로 유출되는 것으로 나타났다. 따라서, 비점원 농촌유역으로부터 TN부하를 저감시키기 위해서는 용존성 성분을 제공하는 비료의 시용량을 줄여야 하며, TP부하를 저감시키기 위해서는 강우시 입자성 인의 유출을 제어해야 한다. 이를 위해서는 비가 많이 오는 여름철에 나지(裸地)나 밭에 식생이나 멀칭(mulching) 등으로 토양침식을 방지하는 대책이나 하천변에 완충역(riparian buffer zone)을 설치하는 대책이 필요하다. 저수지 관리를 효과적으로 수행하기 위해서는 저수지 내부의 탁도 거동을 정확히 예측할 수 있어야 한다. 따라서 추후 동수역학 및 열역학에 기초한 3차원 수치모형 연구와 성층흐름에 정밀한 밀도류 실험연구 및 이에 대한 적용이 필요할 것으로 판단된다.함으로써 정보의 질적보장과 정보전환의 표준화방안을 제시하는 정보분석시스템이다.이용, 수자원의 지속적 확보기술의 특성에 따른 4개의 평가기준과 26개의 평가속성으로 이루어진 2단계 기술가치평가 모형을 구축하였으며 2개의 개별기술에 대한 시범적용을 실행하였다.하는 것으로 추정되었다.면으로의 월류량을 산정하고 유입된 지표유량에 대해서 배수시스템에서의 흐름해석을 수행하였다. 그리고, 침수해석을 위해서는 2차원 침수해석을 위한 DEM기반 침수해석모형을 개발하였고, 건물의 영향을 고려할 수 있도록 구성하였다. 본 연구결과 지표류 유출 해석의 물리적 특성을 잘 반영하며, 도시지역의 복잡한 배수시스템 해석모형과 지표범람 모형을 통합한 모형 개발로 인해 더욱 정교한 도시지역에서의 홍수 범람 해석을 실시할 수 있을 것으로 판단된다. 본 모형의 개발로 침수상황의 시간별 진행과정을 분석함으로써 도시홍수에 대한 침수위험 지점 파악 및 주민대피지도 구축 등에 활용될 수 있을 것으로 판단된다. 있을 것으로 판단되었다.4일간의 기상변화가 자발성 기흉 발생에 영향을 미친다고 추론할 수 있었다. 향후 본 연구에서 추론된 기상변화와 기흉 발생과의 인과관계를 확인하고 좀 더 구체화하기 위한 연구가 필요할 것이다.게 이루어질 수 있을 것으로 기대된다.는 초과수익률이 상승하지만, 이후로는 감소하므로, 반전거래전략을 활용하는 경우 주식투자기간은 24개월이하의 중단기가 적합함을 발견하였다. 이상의 행태적 측면과 투자성과측면의 실증결과를 통하여 한국주식시장에

• Journal of the Mineralogical Society of Korea
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• v.19 no.4 s.50
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• pp.355-361
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• 2006

Artificially crushed sands occupy approximately 30 percent of the total consumption in South Korea. The demand for the crushed sands is expected to rise in the future. Most manufacturers use granitic rocks to produce the crushed sands. During the manufacturing process, fine fractions (i.e., sludges or particles smaller than 63 microns) are removed through the process of flocculation. The fine fraction occupies about 15% of the total weight. The sludges are comprised of quartz, feldspars, calcite, and various kinds of clay minerals. Non-clay minerals occupy more than 75 percent of the sluges weight, according to the XRD semi-quantification measurement. Micas, kaolinites, chlorite, vermiculite, and smectites occur as minor constituents. The sludges from Jurassic granites contain more kaolinites and $14{\AA}$-types than those from the Cretaceous ones. The chemical analysis clearly shows the difference between the parent rocks and the sludges in chemical compositions. Much of colored components in the sludges was accumulated as the weathering products. Particle size analysis results show that the sludges can be categorized as silt loam in a sand-silt-clay triangular diagram. This result was for her confirmed by the hydraulic conductivity data. In South Korea, the sludges remained after crushed sand production are classified as an industrial waste because of their impermeability, and which is caused by their high silt and clay fractions.

• Particle and aerosol research
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• v.15 no.3
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• pp.91-104
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• 2019

In this study, hourly measurements of $PM_{2.5}$ and its major chemical constituents such as organic and elemental carbon (OC and EC), and ionic species were made between January 15 and February 10, 2018 at the air pollution intensive monitering station in Gwangju. In addition, 24-hr integrated $PM_{2.5}$ samples were collected at the same site and analyzed for OC, EC, water-soluble OC (WSOC), humic-like substance (HULIS), and ionic species. Over the whole study period, the organic aerosols (=$1.6{\times}OC$) and $NO_3{^-}$ concentrations contributed 26.6% and 21.0% to $PM_{2.5}$, respectively. OC and EC concentrations were mainly attributed to traffic emissions with some contribution from biomass burning emissions. Moreover, strong correlations of OC with WSOC, HULIS, and $NO_3{^-}$ suggest that some of the organic aerosols were likely formed through atmospheric oxidation processes of hydrocarbon compounds from traffic emissions. For the period between January 18 and 22 when $PM_{2.5}$ pollution episode occurred, concentrations of three secondary ionic species ($=SO{_4}^{2-}+NO_3{^-}+NH_4{^+}$) and organic matter contributed on average 50.8 and 20.1% of $PM_{2.5}$, respectively, with the highest contribution from $NO_3{^-}$. Synoptic charts, air mass backward trajectories, and local meteorological conditions supported that high $PM_{2.5}$ pollution was resulted from long-range transport of haze particles lingering over northeastern China, accumulation of local emissions, and local production of secondary aerosols. During the $PM_{2.5}$ pollution episode, enhanced $SO{_4}^{2-}$ was more due to the long-range transport of aerosol particles from China rather than local secondary production from $SO_2$. Increasing rate in $NO_3{^-}$ was substantially greater than $NO_2$ and $SO{_4}^{2-}$ increasing rates, suggesting that the increased concentration of $NO_3{^-}$ during the pollution episode was attributed to enhanced formation of local $NO_3{^-}$ through heterogenous reactions of $NO_2$, rather than impact by long-range transportation from China.