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반도체 PR 공정의 클린룸내 CFD 기반 화재 사고 영향 분석 (CFD-based Fire Accident Impact Analysis in Clean Room for semiconductor PR Process)

  • 천광수;이진석;박명남
    • 한국가스학회지
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    • 제25권6호
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    • pp.35-44
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    • 2021
  • 반도체 공정 중 PR (Photo Resist) 공정은 여러 인화성 물질을 혼합하여 사용하는 공정으로, 공정 장비가 Clean Room 내 설치되어 인화성 물질이 누출되는 경우 질식, 화재, 폭발 사고로 이어질 위험성이 크므로, 물질 누출시 발생할 수 있는 사고에 대한 영향을 분석하고, 작업자들의 안전을 보장할 수 있는지 평가하는 것이 필요하다. 본 연구는 FLACS CFD - Fire Module을 이용하여 10개의 누출, 화재 시나리오에 대한 CFD Simulation을 통해 Clean Room 내부 가상으로 설정한 Monitor Point에서의 복사열 및 온도 변화 값을 확인하였다. Clean Room 내부에서 발생한 화재는 층간 구조물에 높은 복사열을 전달하지만, 그 범위가 상당히 제한적이며, 단일 화재 사고로 인해 붕괴될 가능성이 희박하다. 화재 사고로 인해 탈출구로 이어지는 2 곳의 계단이 동시에 높은 복사열에 노출되는 시나리오는 없어, 화재 발생시 작업자가 탈출 가능하였다. 또한 복사열 및 온도 상승의 수준은 아래층으로 이동하면서 급격하게 낮아지는 것을 확인하였으며, API 520의 기준에 따라 작업자가 30초 동안 버틸 수 있는 복사열인 6.31 kW/m2에 노출된 작업자도 화재가 발생한 Clean Room 내부에서 충분히 탈출할 수 있음을 확인하였다.

스티렌 모노머 화재폭발사고 피해예측 분석에 관한 연구 (A study on damage prediction analysis for styrene monomer fire explosion accidents)

  • 최형수;최민제;조규선
    • 산업진흥연구
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    • 제9권2호
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    • pp.37-44
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    • 2024
  • 본 연구는 석유 화학사 생산공장에 설치된 스티렌 모노머 저장 탱크의 화구(fireball)와 증기운 폭발(VCE)에 대한 최악의 시나리오를 선정하고 피해 예측 및 사고영향을 분석하였다. 혼합잔사유 저장 탱크의 주성분인 스티렌 모노머 이상중합반응 시 화구(fireball)와 증기운 폭발(VCE)로 인한 복사열과 과압의 영향 범위는 e-CA 사고 피해 예측 프로그램을 적용하여 정량 분석하였다. 복사열과 폭발 과압의 피해 영향 범위는 각 최대 반경 1,150m와 626m로 분석된다. 복사열 4kW/m2이 미치는 1,150m 이내 사람은 20초 동안 노출 시 피부가 부풀어 오를 수 있다. 폭발 과압 21kPa이 미치는 626m 이내 건축물은 철 구조물의 손상과 기초에서 이탈될 수 있고, 사람은 신체 부상할 수 있다. 화재, 폭발 또는 누출 사고 발생 시 복사열, 과압에 의한 사업장 내 근로자, 인근 주민 또는 주변 시설물 등의 위험 정도와 수용 여부 위험 기준을 판단하고, 취급 물질 유해·위험성 파악, 비상대응체계 구축, 개선 및 투자 활동 등을 통해 사업장 피해 최소화 대책을 수립하는 데 도움이 될 것으로 기대한다.

복사열전달을 고려한 모형 온수온돌 주택 열성능 시뮬레이션 (Simulation of the Thermal Performance on an Ondol House with Hot Water Heating in Consideration of Radiation Heat Transfer)

  • 최영돈;윤종호;홍진관;이남호;강대호
    • 설비공학논문집
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    • 제5권4호
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    • pp.295-305
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    • 1993
  • Thermal performance of test cell of model hot water Ondol house was simulated by equivalence heat resistence and heat capacity method. In this method wall was replaced by two equivalence and one heat capacity. This method enables to simulate the variation of temperature of each element of model house. The effect of pipe diameter, pitch of pipe and with or without consideration of inter-radiation between wall surfaces on the energy consumption rate were investgated. Results show that radiations between the ground surface of room and wall surfaces contribute to the heating of room air by reducing the convection heat loss through the wall surfaces.

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복사벽면으로 구성된 캐비티 내 전자열유체 유동 (HYDROMAGNETIC FLOW IN A CAVITY WITH RADIATIVELY ACTIVE WALLS)

  • 한조영;채종원;김정훈;전형열
    • 한국전산유체공학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.87-94
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    • 2010
  • Hydromagnetic flow in a cavity under a uniform magnetic field is studied numerically. The cavity is comprised of four radiatively active surfaces. Due to large temperature difference inside a cavity, the radiative interaction between walls is taken into account. The coupled momentum and energy equations are solved by SIMPLER algorithm while the radiant heat exchanges are obtained by the finite volume method for radiation. A Wide range of Grashof numbers is examined as a controlling parameter. Resultant flow and heat transfer characteristics are investigated as well.

메쉬 스크린을 적용한 해양구조물용 방풍 및 복사열 차단막 열유동특성에 관한 연구 (A Study on the Thermal and Flow Characteristics of Wind and Radiant Heat Shield for Offshore by using Mesh Screen)

  • 이중섭;진도훈
    • 한국기계가공학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.166-173
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    • 2012
  • This study is about comparison of thermal and flow characteristics on the wind & radiant heat shield with STS mesh type screen for offshore. Numerical analysis was conducted to find transmission coefficient in the mesh and then analyse the flow characteristics about wind & radiant heat shield. The experiment method of solar radiation has been used as thermal radiation source to get the performance of radiant heat shield measurement. The sensor radiation device has been used to measure the reduction of solar radiation with various size of cells and at a distance of 0.5m and 1m from the cold face of the wind & radiant heat shield.

수평원관 사이 환상유로에서의 복사열전달 연구 (RADIATION HEAT TRANSFER IN HORIZONTAL CYLINDRICAL ANNULUS)

  • 한조영;박응식;전형열;유명종
    • 한국전산유체공학회:학술대회논문집
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    • 한국전산유체공학회 2011년 춘계학술대회논문집
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    • pp.75-77
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    • 2011
  • Thermofluid flow analysis is major subject in most computational fluid dynamics applications. Accompanying convective and conductive heat transport phenomena, radiation plays an important role in high temperature operating systems. Cares in which the radiation dominates are found in such systems as boilers, furnaces, rocket engines, etc. In this paper the finite-volume method (FVM) are employed to simulate two-dimensional radiation problems in concentric and eccentric horizontal cylindrical annuli with general body-fitted coordinates. In that case the simplest and intuitive remedies are proposed for mitigation of ray effect.

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최적의 램프뱅크형태를 결정하기 위한 열유동 해석 (A Thermal Flow Analysis for an Optimal shape of Solar Lamp Bank)

  • 백상화
    • 한국태양에너지학회 논문집
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    • 제32권4호
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    • pp.82-89
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    • 2012
  • This study is on the thermal flow analysis to select an optimal shape of solar lamp bank. Solar Lamp bank is designed by the lamp bank design program based on point light source theory. The reliability of the program for lamp bank design is verified through irradiance variation experiments of a kind of lamp according to horizontal distance. Solar lamp bank facilitates heat distribution and satisfies the irradiance in the three wave length which test guidelines require. Among the 4 kinds of lamp bank, since lamp bank type D satisfies uniformity ${\pm}10%$ and also doesn't exceed total irradiance 1,232 $W/m^2$, type D is finally selected.

복사열전달을 고려한 고층아파트 연속난방 열공급제어 시뮬레이션 (Simulation of Heat Supply Control of Continuous Heating System of Multistoried Apartment in Consideration of Radiation Heat Transfer)

  • 최영돈;홍진관;윤종호;이남호
    • 설비공학논문집
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    • 제6권2호
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    • pp.78-92
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    • 1994
  • Thermal performance of pipe network of continuous heating system controlled by thermostat and flow control valve was simulated in consideration of radiation heat transfer and solved by linear analysis method. Thermal performance of real apartment building with radiant floor heating system was simulated by equivalence heat resistance-capacity method. This method enables to simulate the unsteady variation of temperature or each element of building. Heat transfer characteristics of each element were also investigated.

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고 다공성 물질에서 열 및 물질전달 (Heat and Mass Transfer in Highly Porous Media)

  • 이금배
    • 대한기계학회논문집
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    • 제14권3호
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    • pp.685-693
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    • 1990
  • 본 연구에서는 복사열전달 효과를 알아보기 위해 에너지 방정식을 수치적으로 풀었으며, 그 결과를 열전달계수 및 온도의 항으로 나타내었다. 수치 해석적 모델의 검증을 위해 여러사람들이 물질전달과정 해석을 위해 사용한 나프타린 승화법(naphth- alene sublimation technique)을 이용하여 실험을 수행하였다. 또한 실험에 사용된 다공질체(ceramic blocks)의 침투율도 측정하였다.

광학탑재체 냉각유닛 열완충질량의 효과 분석

  • 장수영;이덕규;이응식;연정흠;이승훈
    • 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
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    • 한국우주과학회 2009년도 한국우주과학회보 제18권2호
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    • pp.50.2-50.2
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    • 2009
  • 지구관측위성의 광학탑재체 내부에 장착된 초점면결상장치(FPA, Focal Plane Assembly)는 영상촬영시 많은 열을 발생하며, 최상성능획득을 위해서는 온도가 좁은 온도범위 내에서 유지되어야 한다. 초점면결상장치가 짧은 시간 동안 많은 열을 발생할 때, 이를 효과적으로 냉각시키기 위해 보통 히트파이프와 복사방열판을 이용한다. 이번 연구에서는 초점면결상장치의 최대상승온도를 낮추고, 영상촬영대기시 최적온도유지를 위한 히터작동율을 낮추기 위해 초점면결상장치와 복사방열판 사이에 열완충질량(TBM, Thermal Buffer Mass)을 적용하였는데, 이를 통해 얻을 수 있는 열설계 개선효과에 대해서 기술한다.

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