• 제목/요약/키워드: 열화학

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입체표면 폴리실리콘 전극에서 PECVD $Ta_2O_5$ 유전박막의 전기적 특성 (Electrical Characteristics of PECVD $Ta_2O_5$ Dielectic Thin Films on HSG and Rugged Polysilicon Electrodes)

  • 조영범;이경우;천희곤;조동율;김선우;김형준;구경완;김동원
    • 한국진공학회지
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    • 제2권2호
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    • pp.246-254
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    • 1993
  • DRAM 커패시터에서 축정용량을 증대시키기 위한 기초연구로서 2가지 방법을 시도하였다. 첫째로, 커패시터의 유효 표면적을 증대시키기 위해 HSG(hemispherical grain)와 rugged 형태의 표면형상을 갖는 폴리실리콘 전극을 저압 화학기상증착법을 이용하여 제잘하였다. 그 결과 기존의 평평한 폴리실리콘 전극에 비하여 유효면적이 증대된 폴리실리콘 전극이 형성되었다. 둘째로, 고유 전상수를 갖는 $Ta_2O_5$ 박막을 각각의 전극에 플라즈마 화학기상증착법으로 증착시키고 후열처리한 후 전기적 특성변화를 조사하였다. MIS(metal-insulator-semiconductor) 구조의 커패시터를 제작하여 전기적 특성을 측정한 결과, HSG와 rugged 형상의 표면을 갖는 전극에서 기존의 평평한 표면을 갖는 전극에 비하여 축전용량은 1.2~1.5배까지 증대하였으나, 주설전류는 표면적의 증가에 따라 함께 증가함을 보였다. TDDB 특성에서도 HSG와 rugged 형상의 표면을 갖는 전극들이 평평한 표면형상에 비하여 더 열화되었음을 보여주었다. 이상과 같은 결과는 $Ta_2O_5$ 유전박막을 이용한 차세대 DRAB 커패시터 연구에 기초자료로 이용될 수 있을 것으로 본다.

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DRAM 커패시터용 $Ta_2O_5$ 박막의 전기적 특성에 미치는 전극의존성 (The Effects of Electrode Materials on the Electrical Properties of $Ta_2O_5$ Thin Film for DRAM Capacitor)

  • 김영욱;권기원;하정민;강창석;선용빈;김영남
    • 한국재료학회지
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    • 제1권4호
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    • pp.229-235
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    • 1991
  • $Ta_2O_5$ 박막은 실리콘산화막, 실리콘질화막 박막에 비해 유전율은 높으나 누설전류밀도가 높고, 절연파괴강도가 낮아 DRAM의 커패시터용 재료로서 실용화가 되지 못하고 있다. 본 연구에서는 LPCVD법으로 형성시킨 $300{\AA}$ 두께의 $Ta_2O_5$ 유전체박막에 대해 후속열처리 또는 전극재료를 변화시켜 열악한 전기적 특성의 원인을 규명하고자 하였다. 그 결과 다결정 실리콘 전극의 경우 성막상태의 $Ta_2O_5$ 박막은 전극에 의한 환원반응에 의해 전기적 특성이 열화됨을 알 수 있었고, 이를 TiN 전극의 사용으로 억제시킬 수 있었다. 다결정 실리콘 전극의 경우 성막상태의 $Ta_2O_5$ 유전체는 누설정류밀도가 $10^{-1}A/cm^2$, 절연파괴강도가 1.5MV/cm 정도였으며, $800^{\circ}C$에서 $O_2$열처리를 하면 전기적 특성은 개선되나, 유전율이 낮아진다 TiN 전극을 채용할 경우 누설전류밀도 $10^{-6}~10^{-7}A/cm^2$, 절연파괴강도 7~12MV/cm 로 ONO(Oxide-Nitride-Oxide) 박막과 비슷한 $Ta_2O_5$ 고유전막을 얻을 수 있었다.

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내화학성 적층보강공법(CRM)을 활용한 콘크리트 구조물의 내구성능 향상 (Improvement of Durability in Concrete Structures Using CRM)

  • 김춘호;김상도;김남욱
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제17권6호
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    • pp.145-152
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    • 2013
  • 콘크리트는 대표적인 건설재료로서 지난 19세기 후반 이후 각종 구조물의 축조에 활용되고 있다. 콘크리트는 일반적으로 적절한 설계 및 시공 규정을 준수한다면 내구성을 확보하는 것으로 인식되었으나, 구조물의 사용 과정 중에 겪게 되는 각 종 외적 작용으로 인해 수명단축 및 성능저하 현상이 빈번히 나타나고 있으며 더욱이 노후화에 따른 콘크리트 구조물의 성능 저하는 억제할 수 없으며 결국 콘크리트 구조물의 유지관리 측면에서 보수 및 보강은 필요한 실정이다. 본 연구에서는 기존의 보수 및 보강공법의 성능을 개선하고자 콘크리트 표면의 강화 및 특히 내화학 성능의 향상을 위하여 개발되어진 내화학성적층보강공법 (Chemical Resistance of Laminating Reinforcement Method : CRM)을 적용하였다. 따라서 본 연구에서는 콘크리트 시험체에 대한 다양한 내구성 시험을 통하여 일반적인 보수 및 보강공법을 적용한 시험체 와의 비교분석을 통하여 결과를 도출하였으며 시험결과, 기존 보수 및 보강공법보다 CRM을 적용한 콘크리트 시험체의 내구성능이 향상되었는데 이는 에폭시계의 내산섬유보강 및 2중의 섬유계의 보강시트로 인한 적층효과로 판단된다.

가스터빈에서 SNG 연료 조성에 대한 희석제의 배기배출물 저감효과에 대한 실험적 연구 (Experimental Study on Dilution Effect of Exhaust Gas in SNG Combustion on a Model Gas Turbine)

  • 주성필;윤지수;김정진;김성헌;윤영빈
    • 한국항공우주학회지
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    • 제44권7호
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    • pp.603-610
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    • 2016
  • 본 논문에서는 석탄으로부터 생성된 합성천연가스(SNG)의 다양한 연료 조성에 대한 배기가스 배출 특성 및 희석제에 대한 NOx배출 저감에 대해 기술하였다. 예혼합거리가 짧은 부분 예혼합 가스터빈 연소기에서 SNG 연료조성에서의 수소 비율과 입열량, 당량비를 조절해 가며 연소특성을 관찰하였다. 수소 비율에 따른 NOx 배출지수는 유사하게 나타났고, 화염가시화를 통해 화염의 특성을 파악할 수 있었다. CO 배출의 경우 당량비 1 구간에서 특이점이 나타났으며, 이를 화염의 자발광 이미지와 자발광 강도를 통하여 원인을 파악할 수 있었다. 또한 높은 NOx 배출을 저감하기 위하여 질소($N_2$)와 이산화탄소($CO_2$) 희석제를 사용하여 희석제 공급량에 대한 저감 효과를 파악하였다. 이로부터 희석제의 비열과 열용량이 연소로부터 발생한 연소열을 흡수하여 열화에 의한 NOx 배출을 저감하는 효과를 확인하였다.

골판지 포장재에 알루미늄 코팅이 파프리카의 저장 중 품질특성에 미치는 영향 (The effect of aluminum coating to corrugated packaging on quality characteristics of paprika during storage)

  • 김아나;하명화;이교연;샤피어라만;김남섭;최성길
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제24권7호
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    • pp.934-941
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    • 2017
  • 파프리카는 우리나라의 대표적인 수출작물로 알려져 있지만 장거리 유통 중 일어나는 품질열화로 인해 상품적 가치가 감소되는 문제가 있다. 따라서 본 연구는 농산물 유통 시 주로 사용되는 골판지상자의 내부에 알루미늄을 코팅하여 기능성을 부여한 포장용기를 개발하였으며, 이를 이용하여 파프리카를 포장하여 저장 중 선도유지 및 품질특성에 미치는 영향을 알아보았다. 골판지상자 내부에 알루미늄을 코팅함으로써 방습성을 향상시키고 기체투과도를 저하시킴으로써 포장된 파프리카의 펙틴분해효소 활성이 저하됨에 따라 파프리카의 중량변화율과 조직연화 현상이 저해되었고, 산화효소 활성이 감소함으로써 총 페놀 함량 및 항산화 활성이 향상되는 것으로 나타났다. 결과적으로 알루미늄 코팅한 골판지상자는 파프리카의 상품성 및 저장성을 향상시키는 포장용기로 이용될 수 있을 것으로 생각되며, 알루미늄박의 내수성, 내한성, 보향성, 내오염성 등의 특성을 활용한 추가연구를 통해 국내 농산물의 장거리 유통 및 수출 활성화에 이바지할 수 있을 것이라 생각된다.

레토르트 삼계탕의 F0값 수준에 따른 품질 차이 (Quality differences of retorted Samgyetangs as affected by F0-value levels)

  • 이진호;송기창;이근택
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.848-858
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    • 2016
  • 국내 삼계탕 제조업체에서의 스팀식 레토르트기내 위치별 $F_0$ 분포를 조사하고 이에 따라 시료를 3가지 $F_0$값(10~20, 20~30, 및 >30) 수준으로 구분하여, 처리구별 품질 차이를 확인하였다. $F_0$값의 수준이 높아질수록 삼계탕 가슴부위육의 육수에서의 무기질 함량, 육의 $L^*$$b^*$ 값, 죽과 육에서의 소화율 및 육수의 탁도는 증가하는 경향을 보였고, 육에서의 유리 아미노산 함량과 가슴살과 뼈의 경도는 오히려 유의적으로 낮아지는 경향을 보였다. 전자코로 측정된 육수와 가슴살의 향기 패턴은 시료에 따라 큰 차이를 나타냈다. 관능학적 평가 결과 높은 $F_0$값으로 처리할수록 색, 이취, 조직감 및 향미 등 모든 지표 값이 낮아지는 경향이 확인되었는데, 특히 T3 시료의 색과 조직감은 T1과 T2시료에서보다 확실히 열등하게 평가되었다. 따라서 삼계탕의 품질 열화를 줄이기 위해서는 가능한 한 최소한의 $F_0$값 처리가 요구되며, 이를 위해서는 레토르트기의 우수한 성능과 효율성이 보장되고 이와 관련한 각 공장에 적합한 살균기술의 표준화가 필요할 것으로 사료된다.

전처리 및 포장방법이 냉풍감압건조 복숭아의 품질에 미치는 영향 (Effect of pretreatment and packaging methods on quality of cold vacuum dried peach)

  • 권기만;김재원;윤광섭
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제20권3호
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    • pp.317-322
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    • 2013
  • 전처리 유무와 포장방법에 따른 건조복숭아를 가속실험($40^{\circ}C$, 50일)하여 품질변화를 조사한 결과 중량 및 pH의 변화는 vitamin C 처리가 무처리에 비해 낮았으며, 충진방법에 따라서는 전반적으로 vacuum 처리가 passive 및 $N_2$ 처리방법에 비해 낮았다. 가용성고형분 함량은 polyethylene film에서 높았고, vacuum 처리가 passive 및 $N_2$ 처리방법에 비하여 높은 함량을 나타내었다. 적정산도의 경우는 OPP/Al/PE film이 polyethylene film다 높은 반면 vitamin C 처리 시 포장 재질 간에 유의한 수준의 값을 나타내어 vitamin C 처리가 저장 중에 온도에 의한 산의 손실을 억제하는 것으로 관찰되었다. 충진 방법에 따라서는 전반적으로 vacuum 및 $N_2$ 처리방법이 passive에 비해 높은 적정산도 값을 나타내었고, 식미와 관계가 있는 당산비에서는 vacuum 처리방법이 높은 값을 나타내었다. 색도의 변화는 전반적으로 vitamin C 처리가 무처리에 비해 낮은 변화를 보였으며 L 값, delta E 값 및 갈변도의 결과 OPP/Al/PE film 포장방법 및 vacuum 처리에서 갈변현상이 억제되는 것으로 관찰되었다. 전처리 방법에 따른 폴리페놀 및 플라보노이드 함량은 vitamin C 처리가 무처리에 비해 높은 함량을 나타내었으며, 포장재질에 따라서는 polyethylene film에 비하여 OPP/Al/PE film이 유의적으로 높은 함량을 나타내었다. 이상의 결과 무처리군의 passive 포장법에서는 갈변 및 품질열화현상이 높은 것으로 관찰되었으나 vitamin C 처리군의 vacuum-OPP/Al/PE film 포장은 갈변화 및 품질손상이 적게 관찰되어 품질유지 및 유통기간 연장을 위한 적정포장 방법이 될 것으로 사료된다.

발전 설비용 CrMo강의 탄화물 구조와 조성 변화에 미치는 열화 및 크리프 손상의 영향 (The Effects of Thermal Degradation and Creep Damage on the Microstructure and Composition of the Carbides in the CrMo Steels for Power Plant)

  • 주연준;홍경태;이현웅;신동혁;김제원
    • 한국재료학회지
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    • 제9권10호
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    • pp.1018-1024
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    • 1999
  • Sn-3.5Ag 무연합금을 Cu 및 Alloy42 리드프레임에 납땜접합 (solder joint)하고 미세조직, 젖음성, 전단강도, 시효효과를 측정하여 비교하였다. Cu의 경우, 땜납의 Sn기지상안에 Ag(sub)3Sn과 Cu(sub)6Sn(sub)5상이, 그리고 땜납/리드프레임의 경계면에서는 1∼2㎛ 두께의 Cu(sub)6Sn(sub)5상이 형성되었다. Alloy42의 경우, 기지상내에 있는 낮은 밀도의 Ag(sub)3Sn상만이, 그리고 계면에는 0.5∼1.5㎛ 두께의 FeSn(sub)2이 형성되었다. 한편, Cu에 비해 Alloy42 리드프레임에서 퍼짐면적은 크고 접촉각은 작아 더 우수한 젖음성을 나타내었으나, 전단강도는 35%, 연신율은 75%로 낮았다. 180℃에서 1주일간 시효처리 후, Cu 리드프레임에는 계면에 η-Cu(sub)6Sn(sub)5 층외에 ξ-Cu(sub)3Sn층이 성장하였고, Alloy42 리드프레임에는 기지상내에 Ag(sub)3Sn이 구형으로 조대하게 성장하였고, 계면에는 FeSn(sub)2층만이 약 1.5㎛로 성장하였다.

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비정질 $SmFe_2 $합금의 자기적 및 자기변형 특성에 미치는 B 첨가와 열처리 영향 (Effects of B Addition and Heat Treatment on the Magnetic and Magnetostrictive Properties of Amorphous $SmEe_2$ thin Films)

  • 최규길;장호;한석희;김희중;임상호
    • 한국자기학회지
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    • 제10권5호
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    • pp.237-245
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    • 2000
  • SmFe$_2$에 해당되는 조성을 가진 비정질 합금 박막에 대하여 자기적 및 자기변형 성질이 B함량 (최대 약 10at.%) 및 열처리에 의해 변화하는 거동을 조사하였다. 묘의 첨가에 의해 낮은 자기장에서의 자기변형은 증가하였으나, 포화 자기 변형은 감소하는 경향을 보였다. B을 첨가하지 않은 박막과 B을 9.9 at.% 첨가한 박막을 예로 들면, 30 Oe의 자기장에서 자기변형은 190 ppm에서 333 ppm으로 1.6배 정도 증가하였으나, 5 kOe의 자기변형은 50 % 이상 감소되었다. 이러한 자기변형 결과는 B의 첨가에 의해 포화 자화와 같은 고유 자기적 성질은 열화되었으나, 보자력은 향상(감소)된 것에 주로 기인하는 것으로 생각된다. 자기변형 성질은 열처리에 의해 향상되었는데, 최적의 열처리 온도는 300~40$0^{\circ}C$이다. 열처리에 의한 이러한 특성 향상은 당초 기대했던 미세한 결정 상 SmFe$_2$상의 석출에 의한 것이 아니라, 응력 완화에 의한 보자력의 감소가 주된 원인으로 생각된다.

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PECVD에 의한 Sirich 산화막의 특성 (Characteristics of Silicon Rich Oxide by PECVD)

  • 강선화;이상규;박홍락;고철기;최수한
    • 한국재료학회지
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    • 제3권5호
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    • pp.459-465
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    • 1993
  • SOG박막 밑에 층간 절연박으로 사용하는 PECVD산화막을 Si rich산화막으로 만들어 줌으로써 실리콘 dangling bond가 수소원자나 수분과 결합하여 SOG박막으로 부터 침투되는 수소원자나 수분의 확산을 억제하므로서 소작 열화되는 것을 방지한다. 이러한 Si rich산화막의 기본 특성을 알아보기 위하여 LF/HF power비와 $SiH_4/N_2O$ gas유량비를 변화시켜서 박막 특성을 조사하였다. 저주파 power만 변화시킨 경우, 증착속도가 감소하고 굴절율과 압축응력에 증가하며 FTIR에서 3300$\textrm{cm}^{-1}$~3800$\textrm{cm}^{-1}$영역의 수분에 의한 peak이 감소하는 것으로 보아 박막이 치밀해짐을 알 수 있고, $SiH_{4}$기체유량을 증가시킨 경우엔 증착속도, 굴절율, 식각속도는 증가하나 압축응력은 감소한다. FTIR에서 Si-O-Si peak의 세기가 감소하고 낮은 파수영역으로 이동하며, AES분석 결과에서 일반적인 oxide(Si:0=1:1.98)에서 보다 Si:O비가 1:1.23으로 낮아 PECVD산화 막내의 Si danling bond가 증가했음을 알 수 있었다.

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