• Title/Summary/Keyword: 열적 성질

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Measurement of Material Property of Thin Film and Prediction of Residual Stress using Laser Scanning Method (레이저 주사법을 이용한 박막 물성 측정 및 잔류응력 예측)

  • Lee, Sang-Soon
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.11 no.4 s.33
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    • pp.49-53
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    • 2004
  • Polymeric materials are widely used in the electronic industry as a common dielectric material or adhesive. The polymeric layer coated on Si substrate can be subjected to thermal stresses due to difference in thermal expansion coefficients. The mismatch in thermal properties between the polymeric layer and the substrate results in significant residual stresses. In this study, the thermal deformation is measured by a curvature measurement method using laser scanning, and the elastic modulus is calculated by an analytic model.

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Cure Reaction and Thermal Stability of DGEBA/MDA/MN/HQ System (DGEBA/MDA/MN/HQ계의 경화반응과 열적 안정성)

  • Sim, Mi-Ja;Kim, Sang-Uk
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.5 no.5
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    • pp.606-610
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    • 1995
  • Diglycidyll ether of bisphenol A(DGEBA)/4, 4'-methylene dianiline(MDA)계에 반응성 첨가제 malononitrile(MN)을 첨가하면 내충격성은 크게 향상되나 반응속도는 감소하게 된다. 에폭시 수지의 경화반응은 에폭시기가 개환되어 생성되는 히드록시기가 촉매로 작용하는 자촉매 반응이며, 외부에서도입된 히드록시기도 같은 효과를 나타낸다. 따라서 본 연구에서는 DGEBA/MDA/MN 계의경화 반응속도를 증가시키기 위해 히드록시기를 가진 촉매로서 hydroquinone(HQ)을 도입하였고 이들 계의경화특성 및 열적성질을 고찰하였다. HQ가 첨가됨으로 인해 활성화 에너지는 감속하고 속도상수는 증가하였으며, 발열곡선에서 반응 시작온도가 낮아졌다. 이 결과로부터 HQ가 반응 가속제로 작용하고 있음을 알 수 있다.

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고집적회로에서 TiN/Ti Diffusion Barrier의 열처리에 따른 계면반응 및 구조변화에 대한 연구

  • Yu, Seong-Yong;Choi, Jin-Seog;Paek, Su-Hyon;Oh, Jae-Eung
    • ETRI Journal
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    • v.13 no.4
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    • pp.58-69
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    • 1991
  • 고집적회로에서 A1 금속공정의 diffusion barrier로 널리 사용되는 titanium nitride의 성질을 조사하였다. 실제 회로 구조의 열적 안정성을 관찰하기 위하여 준비된 TiN/Ti다층 barrier를 $600^{\circ}C$까지 열처리하여 x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), cross-sectional transmission electron microscopy(XTEM) 등으로 분석하였다. 열처리 온도가 증가됨에 따라 oxygen은 TiN 층의 표면과 pure-Ti 층에 pile up 된다. TiN 층의 표면에서는 $600^{\circ}C$열처리시 TiN이 분해되어 완전히 $TiO_2$가 형성되며, TiN 층 내에서는 oxygen 함량은 열처리 온도의 증가에 따라 커지고 이때 형성되는 Ti-oxide는 $TiO_2$ 보다 TiO, $Ti_2$$O_3$ 상태로 존재하게 된다. Pure-Ti 층은 열처리시 두개의 층으로 나누어 지는 데, 표면에서 침투하는 oxygen과 pure-Ti이 반응하여 Ti-oxide 층이 생기며 실리콘 기판과의 반응으로 Ti-silicide를 형성한다. $600^{\circ}C$에서 모든 Ti 층이 반응으로 소모되고 열적 stress, Ti-silicide의 grain growth, oxygen의 침입으로 TiN 층에 blistering이 발생한다.

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Effects of Ar sputtering pressure on magnetic properties in Co/Pd multilayered perpendicular media (Co/Pd 다층박막 수직기록매체에서 Ar 스퍼터링 압력이 자기적 성질에 미치는 영향)

  • 신재남;홍대훈;이택동
    • Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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    • 2002.12a
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    • pp.196-197
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    • 2002
  • 보편적으로 알려진 CoCr합금 수직기록매체의 경우, 기록매체에서 출력되는 신호의 크기가 작고 열적안정성이 떨어지는 문제점이 있다. 이러한 CoCr합금 수직기록매체를 대체할 기록 매체로 Co/Pd 다층박막에 관한 연구를 수행하였다. Co/Pt 및 Co/Pd계 다층박막은 수직배향성을 가지며 일찍부터 Magneto-optical 매체로 연구되었다. Co/Pd 다층박막은 자성재료와 비자성재료를 약 2~3개 원자층의 박막 두께(10$\AA$이하)로 번갈아 가며 진공증착한 것으로. CoCr합금계 수직기록매체에 비해 열적안정성이 뛰어나고 수직방향의 잔류 자화가 큰 장점을 가지고 있다. (중략)

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Atomic Layer Deposition of ZnO Thin Films using Et2Zn:NEtMe2 precursor (Et2Zn:NEtMe2 전구체를 이용한 원자층 증착법 ZnO 박막)

  • Lee, U-Jae;Gwon, Se-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.05a
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    • pp.103-104
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    • 2015
  • 정확한 두께와 조성 제어, 훌륭한 재현성의 박막을 형성할 수 있는 Atomic layer deposition 방법으로 증착시킨 ZnO 박막은 여러 분야에 적용될 수 있기 때문에 최근 많은 주목을 받고 있다. ALD-ZnO 박막을 형성하기 위하여 가장 흔히 사용되는 전구체 (precursor)와 반응체 (reactant)는 DEZ(DiethylZinc)와 $H_2O$이다. 그러나 DEZ 전구체를 사용한 ALD-ZnO 박막은 낮은 열적 안정성이 문제로 지적되어져 왔으며, 또한 여러 분야의 적용 및 산업화를 위해서는 높은 증착률, 큰 범위의 전기적 저항, 높은 투과도가 필요로 한다. 본 연구에서는 atomic layer deposition 기법을 통해 열적 안정성을 가진 새로운 전구체인 DEZDMEA ($Et_2Zn:NEtMe_2$)을 사용하여 ZnO 박막을 증착하였다. DEZDMEA ($Et_2Zn:NEtMe_2$) 및 $H_2O$ 주입 시간에 따른 증착률와 전기적 성질, 투과도를 조사하였다.

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Adsorption Properties of U, Th, Ce and Eu by Myogi Bentonite Occurring in Japan (일본 묘기광산 벤토나이트의 물리화학적 성질 및 U, Th, Ce 및 Eu 흡착특성)

  • Song Min-Sub;Koh Sang-Mo;Kim Won-Sa
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.18 no.3 s.45
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    • pp.183-194
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    • 2005
  • The mineralogical, physicochemical and thermal properties of the Myogi bentonite occurring in Japan were measured. A adsorption properties of U, Th, Ce and Eu ions on the Myogi bentonite were also investigated in different solution concentrations and pH conditions. The Myogi bentonite showed a strong alkaline character (pH 10.4), very high swelling, viscosity property and CEC, and a slow flocculation behavior due to the strong hydrophilic property. By the thermal analysis, the dehydroxylation of crystal water in bulk and clay fractions of the Myogi bentonite occur at $591^{\circ}C$ and $658^{\circ}C$, respectively, The adsorption experiments of ions such as U, Th, Ce and Eu were conducted for 0.2 g bentonites with 20mL solutions of various concentrations and different pH conditions with pH 3, 5, 7, 9, and 11. As a result, the Myogi bentonite showed excellent adsorption capacities for Ce, Th and Eu ions, whereas U ion showed very low adsorption capacity. Generally, Ce, Th and Eu ions showed the similar adsorption properties for the different concentrated solutions and pH conditions. These adsorption properties seem to be affected by the formation of various forms of chemical species and precipitation as well as ionic exchange reaction and surface adsorptions on smectite. Some associated zeolite minerals perhaps have some effects on the adsorption of U, Th, Ce and Eu on Myogi bentonite.

Synthesis and Thermal Properties of PPS/PPSS Copolymer (PPS/PPSS 공중합체의 합성 및 열적 성질)

  • Park, Lee-Soon;Lee, Tae-Hyung;Kwak, Kyu-Dae;Haw, Jung-Rim
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.9 no.3
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    • pp.440-444
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    • 1998
  • Poly(phenylene sulfide-co-phenylene sulfide sulfone), PPS/PPSS copolymers were synthesized from p-dichlobenzene(DCB), p-dibromobenzene(DBB), p-diiodobenzene(DIB), 4-chlorophenyl sulfone(CPS) and sodium sulfide as comonomers under high temperature and pressure utilizing N-methyl-2-pyrrolidinone(NMP) as solvent. The yield of PPS/PPSS copolymer shoed maximum at $190^{\circ}C$ with [DBB]/[CPS] and [DIB]/[CPS] comonomer pair, while [DCB]/[CPS] pair exhibited maximum yield at $230^{\circ}C$. The change of yield is in the order of I>Br>Cl as leaving groups were in accordance with nucleophilic aromatic substitution reaction mechanism suggested for the synthesis of PPS type polymers. The molecular weight of PPS/PPSS copolymer was the highest($M_w=8,330g/mol$) with [DBB]/[CPS] comonomers in which [CPS] was 10 mole%. The PPS/PPSS copolymer made with 10 mole% of [CPS] showed about $15^{\circ}C$ higher $T_g$ and $15^{\circ}C$ lower $T_m$ than those of PPS homopolymer, which may be useful from the processing and thermal property point of view. The PPS/PPSS copolymer with 30 mole% of CPS or above did not exhibit Tm. The PPS/PPSS copolymer obtained with comonomer feed ratio of [DBB]/[CPS] = 95/5 mole% under $240^{\circ}C$ showed even higher molecular weight($M_w=10,300g/mole$) than PPS homopolymer made under similar reaction condition, retaining high crystallinity and thermal stability.

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Thermal behavior of the layered structure of decanesulfonate intercalated into the hydrated nickel compound (데칸술폰이 삽입된 니켈 화합물의 층상 구조의 열적 성질)

  • 허영덕;전태현;박용준
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.9 no.6
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    • pp.580-584
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    • 1999
  • The synthesis and characterization of intercalated compound of decansulfonate into hydrated nickel is presented. The compound shows a layered structure as determined by high temperature powder X-ray diffraction (HTXRD). The layer distance of the product is increased from 24.7 $\AA$ to 30.5 $\AA$ by increasing the temperature which is in turn accomplished by changing the structure of the intercalated nickel compound. From the X-ray diffraction data and the decanesulfonate size, the orientation of the decanesulfonate onto the nickel layer is determined. The molecular axis of the decanesulfonate with bilayer structure is tilted to the perpendicular of the nickel layer.

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Prediction of Residual Stresses in Injection Molded Parts considering packing and cooling Stages (보압과 냉각 과정을 사출성형 제품의 잔류 응력 예측)

  • 윤재륜
    • The Korean Journal of Rheology
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    • v.9 no.1
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    • pp.16-26
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    • 1997
  • 사출 성형된 제품에서 발생하는 잔류응력은 최종 제춤의 기하학적 정밀도와 기계적 성질 및 열적 성질에 영향을 미친다. 사출성형된 제품의 잔류응력을 예측하기 위해서는 먼 저 열 및 유동장의 해석을 수행하여야 하고이를 위해서는 사출 성형의 세단계. 즉 충전, 보 압, 냉각을 모두고려해야한다. 검사체적 방법에 기초한 혼합 유한요소/유한차분방법을 사용 하는 수치 해석적 기법에 의하여 충전과정가 후충전 과정의 유동장 해서을 수행하였다. 일 반화된 헬레쇼 유동을 가정하였고 보압과 냉각과정시의 고본자의 압축성을 고려하였다. 점 도의 전단 변형률의 크기와 온도에 대한 의존성은 개선된 크로스 모델을 사용하여 나타내었 다. Tait에 의해 제안된 상태방정식은 고분자의 온도, 압력, 부피의 상호관계를 묘사하는 좋 은 방법을 제공하였다. 유동해석을 통하여 전 공정에 걸쳐서 온도와 압\ulcorner장의 변화에 대한 데이터를 얻었고 제품의 고체 응력해석의 입력 데이터로 사용하였다. 유한요소응력해석에는 평면 응력요소를 사용하였다. 다양한 형태의 금형에 대해서 공정 변수들을 달리하여 유동장 의 해석과 잔류응력의 계산을 수행하였다. 이로부터 공정조건과 유동장의 관계를 밝히고 최 종 제춤의 잔류 응력에의 영향을 고찰하였다.

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Synthesis and Characterization of Phenyl Modified Silicone Polymer (페닐기를 도입한 실리콘 고분자의 합성 및 물성)

  • Lee, Ha-Hyoung;Lee, Hae-Joon;Kim, Jung-Hyun
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.7 no.4
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    • pp.633-638
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    • 1996
  • The phenyl modified silicone polymer, 1,1-diphenyl-1-methyl-7-hydroxydodecamethylheptasiloxysilane, was synthesized to prepare the silicone polymer with good cold-proof and heart-proof properties. From the TGA analysis in the range of $100{\sim}800^{\circ}C$, the phenyl modified silicone polymer had good thermal properties than polydimethylsiloxane. And furthermore fluidity was maintained even below $0^{\circ}C$. Also, the silicone rubber blended with the phenyl modified silicone polymer had better mechanical properties than the silicone rubber.

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