• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2003.05a
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• pp.14-14
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• 2003

Silicon carbide (SiC)는 높은 power 영역과 높은 온도영역에서도 작동 가능한 우수한 반도체 물질이다. 또한 우수한 열적 화학적, 안정성을 가지고 있어 가흑한 조건에서의 소자로써도 사용 가능하다. 현재 SiC 적용분야로는 우수한 전기적, 기계적 성질을 이용한 미세소자(MEMS)와 GaN 와 거의 유사한 격자상수를 가지는 것을 이용한 GaN epitaxial 성장의 기판으로도 사용되어진다. 그러나 SiC 는 기존의 습식식각 용매에 대해 화학적 안정성을 가지고 있기 때문에 전자소자의 제작에 있어서 플라즈마를 이용한 건식식각의 중요성이 대두되어지고 있다. 소자제작에 있어 이러한 건식식각시 식각 단면의 제어, 이온에 의한 낮은 손상 정도, 매끄러운 식각 표면, 그리고 고속의 식각 속도둥이 요구되어진다. 본 실험에서는 식각 속도의 증가와 수직한 식각 단면둥을 획득하기 위하여 SF6 플라즈마에서 Source power, dc bias voltage, 그리고 외부에서 인가되는 자속의 세기를 변화시쳐가며 식각 속도, 식각 마스크와의 식각 션택비, 식각 단면둥과 같은 SiC 의 식각 특성을 관찰하였다. 식각 후 식각 단면은 주사전자 현미경(SEM)을 통해 관찰하였다. 본 실험에서의 가장 높은 식각 속도는 분당 1850n 로써 이때의 공정조건은 1400W 의 inductive power, -600V 의 dc bias voltage, 20G 의 외부자속 세기이었다. 또한, 높은 inductive power 조건과 낮은 dc bias voltage 조건에서 Cu는 $SF_6$ 플라즈마 내에서 식각부산물의 증착으로 인해 SiC 와 무한대의 식각선택비를 보였다. 이러한 Cu 마스크를 사용한 SiC 의 식각에서는 식각 후 수직한 식각 단변을 관찰할 수 있었다. 것올 알 수 있다. 따라서, 기존의 pve 보다 세라믹 기판의 경우가 수분 흡수율이 높아 더 오랫동안 전류를 흐르게 하여 방식성이 개선된 것으로 판단된다.을 통해 경도가 증가한 시편의 경우 석출상의 크기가 5nm 이하로 매우 작고 대체로 기지와 연속적인 계면을 형성하나, 열처리가 진행될수록 석 출상의 크기가 커지고 임계크기 이상에 이르면 연속적인 계면은 거의 발견되지 않고, 대부 분 불연속적이고 확연한 계면을 형성함을 관찰 할 수 있었다. 알루미나(${\alpha}-Al_2O_3$) 기판 위에 증착한 $(Ti_{1-x}AI_{x})N$ 피막은 마찬가지로 (200) 우선 방위를 나타내었으나, 그 입자의 크기가 수십 nm로 고속도강위에 증착한 피막에 비해 상당히 크게 형성되었다. 또한 열처리 후에 AIN의 석출이 진행됨에도 불구하고 경도 증가는 나타나지 않고, 열처리가 진행됨에 따라 경도가 감소하는 양상만을 나타내었다. 결국 $(Ti_{1-x}AI_{x})N$ 피막이 열처리 전후에 보아는 기계적 특성의 변화 양상은 열역학적으로 안정한 Wurzite-AlN의 석출에 따른 것으로 AlN 석출상의 크기에 의존하며, 또한 이러한 영향은 $(Ti_{1-x}AI_{x})N$ 피막에 존재하는 AI의 함량이 높고, 초기에 증착된 막의 업자 크기가 작을 수록 클 것으로 여겨진다. 그리고 환경의 의미의 차이에 따라 경관의 미학적 평가가 달라진 것으로 나타났다.corner$적 의도에 의한 경관구성의 일면을 확인할수 있지만 엄밀히 생각하여 보면 이러한 예의 경우도 최락의 총체적인 외형은 마찬가지로 $\ulcorner$순응$\lrcorner$의 범위를 벗어나지 않는다. 그렇기 때문에

• Information Systems Review
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• v.25 no.1
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• pp.129-143
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• 2023

In the era of big data, the field of artificial intelligence is showing remarkable growth, and in particular, the image classification learning methods by deep learning are becoming an important area. Various studies have been actively conducted to further improve the performance of CNNs, which have been widely used in image classification, among which a representative method is the Convolutional Recurrent Neural Network (CRNN) algorithm. The CRNN algorithm consists of a combination of CNN for image classification and RNNs for recognizing time series elements. However, since the inputs used in the RNN area of CRNN are the flatten values extracted by applying the convolution and pooling technique to the image, pixel values in the same phase in the image appear in different order. And this makes it difficult to properly learn the sequence of arrangements in the image intended by the RNN. Therefore, this study aims to improve image classification performance by proposing a novel hybrid method of CNN and RNN applying the concepts of encoder and decoder. In this study, the effectiveness of the new hybrid method was verified through various experiments. This study has academic implications in that it broadens the applicability of encoder and decoder concepts, and the proposed method has advantages in terms of model learning time and infrastructure construction costs as it does not significantly increase complexity compared to conventional hybrid methods. In addition, this study has practical implications in that it presents the possibility of improving the quality of services provided in various fields that require accurate image classification.

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.8 no.3
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• pp.245-252
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• 2017

The purpose of this study is to analyze the effects of mergers and acquisitions of domestic IT companies on strategic aspects of internal capacity enhancement. Empirical analysis applied to this study analyzed the business performance in the market through the merger of Daum Communications and Kakao Group. After Daum pursued the merger with Kakao, it showed that the platform business of kakao is expanding to the domain of the existing portal site. The merger was completed, and the total value of the stocks went up to the highest level, but soon its value declined. The merger shows that the growth potential of the enterprise is temporarily declining, which seems to be the internal cost of the merger. Even in the case of profitability, the merger did not show positive results. In the case of stability, the expectation due to the merger was reflected and slightly increased. The following two companies were interested in the kakao when they viewed the merger through a chronological analysis. However, after the merger, the interest of the next kakao was similar. This is seen as a result of the expansion of kakao's diverse platform business rather than the following search sites. From the results of this study, it is suggested that domestic IT companies should approach by analyzing the strategic factors that generate synergy when pursuing M & A to strengthen their resources or capabilities.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.26 no.3
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• pp.115-120
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• 2016

$CeO_2$ is used as a co-catalyst with $TiO_2$ to improve the catalytic activity of $MnO_x$ and characterization of nano-sized powder is identified with de-NOx efficiency. A comparison between $MnO_x-CeO_2/TiO_2$ and single $CeO_2$ was conducted in terms of microstructural analysis to observe the behavior of $CeO_2$ in the ternary catalyst. The $MnO_x-CeO_2/TiO_2$ catalyst was synthesized by sol-gel method and the average particle size of the single $CeO_2$ is about $285{\mu}m$ due to the low thermal stability, whereas the particle size $MnO_x-CeO_2/TiO_2$ is about 130 nm. The strong interaction between Ce and Ti was identified through the EDS mapping by transmission electron microscopy (TEM). The improvement about 20 % of $de-NO_x$ efficiency is observed in the low-temperature ($150^{\circ}C{\sim}250^{\circ}C$) and vigorous oxygen exchange by well-dispersed $CeO_2$ is the reason of catalytic activity improvement.