• 제목/요약/키워드: 열원장비

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위상잠금 적외선 현미경 관찰법을 이용한 다층구조 칩의 내부결함 위치 분석 (Internal Defect Position Analysis of a Multi-Layer Chip Using Lock-in Infrared Microscopy)

  • 김선진;이계승;허환;이학선;배현철;최광성;김기석;김건희
    • 비파괴검사학회지
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    • 제35권3호
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    • pp.200-205
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    • 2015
  • 현대의 컴팩트 반도체 소자들은 정확한 품질검사를 위해 비파괴, 고분해능의 검사 장비가 요구되고 있다. 검사 장비 중 고분해능 적외선 대물렌즈와 적외선 센서로 구성된 초정밀 열영상 현미경은 반도체 내부의 결함에서 발생되는 국소적 열원의 위치와 깊이 정보를 얻는데 유용하게 활용되고 있다. 본 연구에서는 위 상잠금기법이 적용된 적외선열영상 현미경을 이용하여 다층구조로 된 반도체 소자 내부 열원의 위치와 깊이 정보에 대해 분석하였다. 시편은 내부에 3개의 열원을 포함한 TSV(through silicon via technology) 기반 4단 적층구조로서 측정 표면으로부터 열원의 깊이는 $240{\mu}m$이다. 본 실험에서는 위상잠금기법을 통해 시편 내부열원의 위치와 깊이를 정확히 찾을 수 있는 초점면 위치, 노출시간 그리고 위상잠금주파수 등 최적의 조건을 찾고 그 조건에서 적외선 대물렌즈와 시편의 거리 변화에 따른 위상 변이와 깊이 정보에 대한 영향을 알아보았다. 이와 같은 반도체 내부결함에 의한 열원의 위치와 깊이 분석에 대한 연구는 품질검사용 열영상 분석장비 개발에 큰 도움을 줄 것으로 예상한다.

열원장비의 적정용량산정을 위한 장비가동현황 및 할증률 분석 - 공공업무시설 - (The analysis on the operation condition and premium proportion for estimating the appropriate capacity of Cooling Equipment - Public office-)

  • 신무경;박성훈;박은하;장종운;이지원;김세환
    • 대한설비공학회:학술대회논문집
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    • 대한설비공학회 2006년도 하계학술발표대회 논문집
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    • pp.506-511
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    • 2006
  • To today with the acceleration due to the preference actual condition of high-class energy national income level it is together improving. It follows hereupon and it is convenient and the neat heat source is increasing a tendency where it is. It investigates the government offices building in commerce portion from the research which it sees and from the draft it analyzes a coat dosage. And comparison it analyzes the movable present condition of thread use dosage and the freezer. It presents the improvement direction against enemy conditions heat source equipment selecting. Also, currently it produces the dosage of heat source equipment and application it tries. The result, the various safety rate and the premium rate which it uses universally are considered above thread using. The reappraisal for enemy conditions heat source equipment selecting which it follows hereupon is necessary.

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드릴십용 플레어 시스템의 설계승인을 위한 전산해석 절차 (FEA Procedure for Design Certification of Drillship Flare System)

  • 최주형;허태욱
    • 대한기계학회논문집 C: 기술과 교육
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    • 제1권1호
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    • pp.27-31
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    • 2013
  • 플레어 시스템은 해저 원유 시추 시 폐 가스 및 오일을 연소시키는 장비로 폐 연료 연소 시 발생하는 고 열원으로부터 선체, 장비 및 인명을 보호하기 위한 해양플랜트 기자재이다. 플레어 시스템은 유정 시험 장비 중의 하나로서 선급의 설계승인을 필수적으로 받아야 하는 주요 장비이다. 본 연구에서는 플레어 시스템의 설계 승인을 위한 작업 중 전산해석과 관련된 부분에 대해서 소개하고자 한다.

열원의 위치에 따른 평판형 히트파이프의 열적 성능 (Thermal Performance of Flat-strip Heat Pipe with Various Heat Source Locations)

  • 박수용;부준홍
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2004년도 춘계학술대회
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    • pp.1406-1411
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    • 2004
  • A series of experiments was conducted to examine characteristics of a grooved flat-strip heat pipe having multiple heat sources. The inner grooves of the heat pipe have the aspect ratio of 1 to $2.5(0.42{\times}1.05$ mm) whose pitch was 0.6 mm. Four block heaters ($10{\times}20$ mm) were placed in the evaporator section at intervals of 20 mm and six different heating modes were tested. The maximum surface heat flux of 80 $W/cm^2$ was achieved while the operating temperature was kept below $100^{\circ}C$, In the nearest heating mode (from the condenser location), the heat pipe exhibited more stable temperature distribution than the far heating mode where the heaters is located furthest from the condenser.

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Thermal Spray Coating

  • 김종영
    • 전기의세계
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    • 제42권1호
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    • pp.5-11
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    • 1993
  • 금속이나 세라믹 입자를 용사하여 보호피막을 형성하는 기술은 화염을 사용하는 방법에서 시작했으며 용사재료는 분말, 선, 봉의 형태로 공급되었다. 1960년대에 상업적인 plasma 용사장비가 개발되었으며 여기서 사용된 D.C.plasma jet를 이용하여 분말형태의 용사재료를 용융하고 고속으로 피용사테에 용융입자를 분사하여 피용사체면에 충돌시켜 다층의 얇은 피막을 형성한다. 최근(1985년)에는 R.F.(Radio Frequency) Plasma를 이용하여 열전도도가 작은 재료나 산소와 반응성이 큰 재료를 용사하는 방법도 개발되고 있다. 용사피복법은 현재 여러가지 방법이 실용되고 있으며 재료를 용융하는 열원에 따라 분류하면 표1과 같다. 즉 산소와 연료 가스의 혼합에 의한 연소나 폭발에너지를 이용하는 가스식 용사법과 Arc, Plasma등의 전기 에너지를 이용하는 전기식 용사법으로 크게 나눌 수 있다.

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플라즈마 대면부품 성능 평가를 위한 고열부하시험시설(KoHLT-EB) 구축

  • 김석권;진형곤;신규인;이어확;윤재성;이동원;조승연
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.468-468
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    • 2014
  • 우리나라는 미국, EU, 러시아, 중국, 인도 등 다국간 협력 사업인 국제핵융합실험로(ITER) 사업에 참여하고 있으며, 블랑켓 일차벽 및 시험용 블랑켓 모듈(Test Blanket Module, TBM) 제작기술 개발에 필요한 고열부하 검증시험을 국내에서 자체적으로 실시하기 위한 고열부하시험 시설을 구축하였다. 한국원자력연구원에 설치된 고열부하시험 시설의 주요 사양은 다음과 같다. 열원으로는 전자빔을 사용하며, 빔출력은 최대 300 kW이고, 최대 출력밀도는 $10GW/m^2$이다. 전자빔의 최대 가속전압은 60 kV이고, 최대 조사 면적은 설계상 $70cm{\times}50cm$이다. 고열부하 장비는 핵융합환경과 유사한 고열부하를 시험대상물에 인가하여 접합 및 냉각 성능을 평가하는 장비이며, ITER 블랑켓 및 TBM 일차벽의 경우 약 $0.5MW/m^2$, 가속실험 혹은 사고 시 순간 시나리오 해석을 위해서 $5MW/m^2$까지 고려되기도 한다. ITER 블랑켓 일차벽 제작기술 개발 및 검증(2004~2011)에서는 외국장비(러시아 TSEFEY, 일본 JEBIS, 독일 JUDITH)를 활용하였으나, 고비용 문제와 장비 이용 시간의 제한에 따라 사용이 어려워, 국내에서는 KoHLT-1, 2 장비를 자체 구축하여 활용하여 왔다. 현재는 높은 열부하 인가조건, 약 $5MW/m^2$을 달성하기 위해서 전자빔을 이용한 고열부하시험 장치를 마련하였으며, ITER 블랑켓 일차벽 Semi-Prototype 검증시험, TBM, KSTAR 디버터 실험 등 핵융합로 일차벽 개발에 활용하고 있다. 전자빔, 전원 및 진공 chamber 등 전체 고열부하 시험장치를 구축하여 ITER 장치를 포함해서 토카막 디버터 등 핵융합 플라즈마 대면부품 (Plasma Facing Components, PFC) 재료 개발과 국방, 항공우주 분야의 열유속 게이지 측정법 향상 연구, 로켓 추진 엔진 연소실의 열유속 모니터링 연구, 항공기 프로펠러 연구 등에 활용할 수 있을 것으로 기대된다.

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다단계 온도프리스트레싱 공법의 현장적용을 위한 실험적 연구 (Experimental Study on Application of Multi-Stepwise TPSM)

  • 안진희;김준환;김상효;이상우
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제12권1호
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    • pp.91-100
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    • 2008
  • 다단계 온도프리스트레싱 공법은 기존의 프리스트레싱 공법과 단면접합공법의 장점을 이용한 새로운 개념의 프리스트레싱 공법으로 프리스트레싱용 커버플레이트를 다단계로 가열하여 거더의 하부플랜지에 고장력볼트로 접합한 뒤, 열원을 제거하여 발생하는 다단계 수축력을 보강에 필요한 프리스트레싱력으로 이용한 공법이다. 본 연구는 다단계 온도프리스트레싱 공법의 실제적인 적용성 평가를 위하여 다단계 가열을 위한 가열 장비의 가열성능 평가 실험을 실시하였으며, 라멘형 강거더 임시교량을 제작하고 다단계 온도프리스트레싱 공법을 적용하여 도입 프리스트레싱력을 확인하였다. 또한, 트럭을 이용한 하중재하 실험을 실시하여 구조해석 결과와 비교하였다.

다수의 열원을 가진 채널의 경사각이 전자장비의 열적 안정성에 미치는 영향 (The effect of Inclined angle of Channel with multi heat source on Thermal Stability of Electronic Equipment)

  • 방창훈;김정수;예용택
    • 한국안전학회지
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    • 제16권3호
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    • pp.12-18
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    • 2001
  • The objective of the present work is to examine the effect of inclined angle of channel with multi heat source on thermal stability of electronic equipment. The heat sources are mounted on both sides of channel walls by two kinds of configuration such as the zig-zag md symmetric on. Conductive heat transfer was estimated by using of thermocouples and heat flux sensor. Thus, convective heat transfer and mean Nusselt number could be obtained. With increased inclined angle, the convective heat transfer coefficient was decreased. When inclined angle was smaller than 30 degree, The average Nusselt number of Big-zag configuration was larger than that of symmetric. Furthermore, when protruding ration was 0.082, the temperature was strongly affected by inclined angle. whereas, when protruding ration was 0.25, the temperature was strongly affected by heat source configuration.

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탄소중립 확보를 위한 친환경 동절기 대체 열원 성능 검증 (Performance Verification of Curing Method in Cold-Weather with Using Energy Saving Electronic Heater for achieving Korean Carbon Neutra)

  • 조만기;김상균;홍성민;박종훈
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
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    • 한국건축시공학회 2021년도 가을 학술논문 발표대회
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    • pp.192-193
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    • 2021
  • Recently, the need to strengthen the Air Environment Conservation Act and secure alternative heat sources during the winter by carbon neutrality policies has been raised. Accordingly, winter construction, which has safety and quality measures, is emerging as an essential factor. It is believed that eco-friendly tropical type electric hot air heaters will be able to solve most of the problems of winter construction at construction sites, especially prevention of suffocation and fire accidents. In addition, as a result of on-site performance verification, it has secured more than the same performance as the existing curing method, and the curing technology can create an eco-friendly and pleasant working environment while considering safety and construction.

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냉각탑 병용 하이브리드 지열 히트펌프 시스템의 성능 분석 (Performance Analysis of Cooling Tower-Assisted Hybrid Ground-Coupled Heat Pump (HGCHP) System)

  • 손병후;이두영;최재호;민경천
    • 대한기계학회논문집 C: 기술과 교육
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    • 제4권1호
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    • pp.19-26
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    • 2016
  • 하이브리드 지열 히트펌프 시스템은 열원을 안정적으로 유지하기 위해 보조 히트싱크나 보조 열원을 활용한다. 본 연구에서는 병원 건물에 설치한 지열-냉각탑 하이브리드 시스템의 냉난방 성능을 분석하였다. 시스템에 각종 센서와 계측 장비를 설치하였으며, 2014년 2월부터 2015년 2월까지 측정한 데이터를 이용하여 성능을 분석하였다. 냉방 기간 중, 냉수 공급 온도는 평균 $11.7^{\circ}C$이었으며, 설계 온도인 $12^{\circ}C$를 넘지 않았다. 또한 난방 기간 중에는 일평균 $39^{\circ}C{\sim}40^{\circ}C$의 온수를 공급하였다. 지열 히트펌프만의 월 평균 성능지수는 3.8에서 8.4의 범위에서 변하였다. 반면 냉각탑을 포함한 하이브리드 지열시스템의 월 평균 성능지수는 2.6에서 6.6 사이에서 변하였다.