• 제목/요약/키워드: 연자성

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비정질 연자성 합금 개발 동향

  • 정효연;김소연;염재훈;한종수;송지연;정명재;이상원;배석
    • 한국자기학회:학술대회 개요집
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    • 한국자기학회 2015년도 자성 및 자성재료 국제학술대회
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    • pp.4-4
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    • 2015
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Fe-Zr-N 연자성 박막의 자기적 성질 (Magnetic Properties of Fe-Zr-N Soft Magnetic Thin Films)

  • 김택수;김종오;이중환;윤선진;김좌연
    • 한국자기학회지
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    • 제6권5호
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    • pp.317-322
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    • 1996
  • RF magnetron reactive sputtering 법으로 Fe-Zr-N 박막을 제작하여 열처리 온도와 질소 분압의 변화에 따른 포화자화, 보자력, 고주파에서의 투자율 그리고 열적 안정성을 조사하였다. Fe-Zr-N 박막은 비정질과 결정질의 경계 조성인 $Fe_{72-78}Zr_{7-10}N_{15-18}$의 조성범위에서 연자성을 나타내었다. 이러한 박막은 포화자속밀도 1.55 T, 1 MHz에서의 실효 투자율은 3000 이상의 연자성을 나타내고 열처리 온도 $550^{\circ}C$ 까지도 실효투자율 2500 정도의 열적 안정성을 나타내었다. X-선 회절 분석 결과 열처리에 의해서 ZrN 미결정이 석출하여 $\alpha-Fe$ 결정 성장이 억제되어 우수한 연자기적 성질이 나타난다고 판단된다. 이때 $\alpha-Fe$ 입자 크기는 $40~50\AA$, ZrN의 입자 크기는 $10~15\AA$이었다.

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