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A Study on the Prediction of Plate Temperature in Indirectly-Fired Continuous Heat Treatment Furnace (간접 가열방식의 연속식 열처리로내 판(Plate) 온도해석에 관한 연구)

  • Kim Young-Deuk;Kang Deok-Hong;Kim Woo-Seung
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.30 no.6 s.249
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    • pp.514-522
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    • 2006
  • This study has been performed to predict the transient thermal behavior of the plate in indirectly-fired continuous heat treatment furnace. The temperature profiles in the plate are determined solving the transient one-dimensional heat conduction equations. To verify the validity of the present numerical results, the present results obtained from the transient analysis are compared with those of experiments. Extensive parametric investigations are performed to examine the effects of the emissivities of the plate and refractory, plate thickness and velocity, as well as the gas temperature, on the thermal behavior of the plate.

"Crystallized Quantum Dot (Ge)" in Dielectric Matrix Synthesised by Metallic Ion Implantation

  • Jeon, Jun-Hong;Choe, Jin-Yeong;Park, Won-Ung;Im, Sang-Ho;Han, Seung-Hui
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.270-270
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    • 2010
  • 4족 반도체 원소 양자점들은 원소가 가지고 있는 반도체적 성질과, 양자점에서 나타나는 quantum confinements 적인 특성 때문에 전자재료나 광학적 분야, 특히 태양전지 분야에서 그 쓰임이 대두되고 있다. 이러한 4족 반도체 원소의 양자점들을 만들기 위한 여러 방법들이 시도되고 있는데, 그 중에서 특히 절연체 박막에 4족 반도체 원소의 양자점들을 만드는 방법에는 이온주입, PVD, 그리고 CVD 를 통한 multi-layer 증착후 열처리 과정을 반드시 포함하는 Stranski- krastanov 방법이 주로 사용되고 있다. 본 실험에서는 고체원소 이온주입이라는 방법을 통해 절연체 박막의 증착과 이온주입이 한 진공용기 내에서 연속공정으로 이루어 지면서, 별도의 열처리 과정 없이 결정화된 게르마늄 양자점을 만들어 보았다. 이는 (X-ray diffraction) XRD와 Raman spectroscopy로 결정화된 게르마늄을 확인할 수 있었으며, (X-ray photoelectron spectroscopy)XPS 데이터로도 순수한 게르마늄이 표면에서 깊이 방향으로 약 $1,000\;{\AA}$ 만큼 게르마늄 양자점들이 만들어 짐을 알 수 있었다. 마지막으로 (High resolution transmittance electron microscopy) HRTEM으로 그 양자점의 크기와 분포도 그리고 결정성을 알아 보았다.

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롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 ITO 투명 전극 특성 연구

  • Kim, Dong-Ju;Kim, Bong-Seok;Kim, Han-Gi
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.306-306
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    • 2013
  • 본 연구에서는 저가격, 대면적화를 위한 롤투롤 스퍼터를 이용하여, Index matching (히가시 야마 $125{\mu}m$)의 PET 기판 위에 ITO 박막을 성막 시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 투명 전극에 대하여 전기적, 광학적, 구조적, 표면적 특성을 분석하였다. ITO 타겟은 미쓰이사(일본의) 주석 함량 5 wt%을 사용하였으며, 롤투롤 스퍼터는 degassing챔버와 스퍼터 챔버가 한 시스템에 구성되었고, Degassing 챔버는 좌우측의 Rewinder/Unwinder 롤러에 의해 감고 풀어지는 PET 기판의 수분 및 가스를 중앙부에 위치한 히터를 통해 제거하며, 수분 제거 후 스퍼터 챔버로 옮겨진 1,250 mm폭의 PET기판을 Unwinder/Rewinder 롤러에 장착하며, Unwinder 롤러로부터 풀려진 PET 기판은 guide 롤러를 거쳐 cooling drum과의 물리적 접촉에 의해 PET 기판의 냉각이 일어나게 된다. ITO 캐소드 전에 장착된 할로겐 히터 상부로 기판이 지나가면서 열처리가 진행되고 열처리 후 두 개의 ITO 캐소드 상부를 지나면서 연속적으로 ITO 박막이 PET 기판에 성막 되게 된다. ITO 박막의 주요 성막 변수인 DC Power, Ar/$O_2$ 가스 유량비, 기판의 속도는 최적으로 고정하고, 성막된 ITO박막의 필름을 각각 고온 챔버에서 $150^{\circ}C$도에서 10 min에서 60 min 동안 각각 열처리를 통한 내열성 테스트를 진행하여 ITO 필름의 특성 향상을 비교 분석하였다. 분석을 위해 전기적 특성은 four-point probe로 측정했고, 투과도는 Nippon Denshoku사(社)의 COH-300A를 이용해 가시광(550 nm)에서 분석했고, FE-SEM으로 ITO박막의 표면 상태를 분석하였다. 또한 Rolling Tester (Z-300)를 이용하여 기계적 안정성을 분석하였다.

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Magnetic Properties of NdFeB Powders Prepared by Mechanical Alloying (기계적합금법으로 제조한 NdFeB계 분말의 자기적 성질)

  • Kim, Taek-Soo;Hwang, Yeon;Lee, Hyo-Sook
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.8 no.4
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    • pp.210-215
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    • 1998
  • $Nd_{15}Fe_{77}B_8$ and $Nd_{16}Fe_{76}B_8$ powders were prepared by mechanical alloying in Ar atmosphere, and their phases and magnetic properties were investigated with as a function of the annealing temperature. It was found that the mechanical alloyed $Nd_{16}Fe_{76}B_8$ powder for 450 hours was amorphous phase with a part of $\alpha$-Fe crystallites. The obtained powders at 700 $^{\circ}C$ for 30 minute resulted in two phase of $Nd_2Fe_{14}B$ and $NdB_6$ by the solid-state reaction. The mechanical alloyed $Nd_{16}Fe_{76}B_8$ powder for 450 hour and annealed at 700 $^{\circ}C$ for 30 minute was showed $_iH_c\;of\;9.91\;kOe,\; B_{max}\;of\;12.93\;kG,\;Br\;of\;7.6\;kG\;and\;(BH)_{max}\;10.1\;MGOe$.

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Stress - Strain Curve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구

  • Lee, Gyu-Yeong;Kim, Su-In;Park, Sang-Jae;Lee, Dong-Gwan;Jeong, Yong-Rok;Jeong, Jun;Lee, Jong-Rim;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.172-172
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    • 2011
  • 현대 반도체 금속배선 연구에서는 기존에 쓰이던 Al (Aluminium) 금속배선 대신에 Cu(Copper) 금속배선 연구가 진행 되고 있다. Cu는 Al 보다 비저항이 낮고, 녹는점도 Al보다 높다는 장점이 있지만 저온에서 기판인 Si (Silicon) 과 반응하고 접착력이 우수하지 못 하다는 단점이 있다. 이런 문제를 해결하기 위하여 확산방지막을 기판과 금속배선 사이에 삽입하는 방법이 제시 되었다. 확산방지막으로는 기존에 쓰이던 Ti (Titanium) 계열의 확산방지막과 W (Tungsten) 계열의 확산방지막이 있다. 이번 연구에서는 W 계열의 확산방지막에 불순물 C (Carbon), N(Nitrogen)을 첨가한 W-C-N 확산방지막 시편을 제조하였고, N2의 비율을 변화시키며 $600^{\circ}C$ 열처리를 하였다. 실험 결과 질소의 포함 농도에 따라 확산방지막의 안정도가 변화한다는 결과를 얻었으며, 질소 첨가량에 따라 시편의 표면 보다는 시편의 중간층의 물성 변화율이 큰데 이는 시편 표면의 질소는 열처리 중 확산에 의한 시편과의 분리 현상이 일어나지만 시편의 중간층은 trap현상에 의하여 시편에 남아있어 질소의 영향을 받아 시편의 중간층이 더욱 질소 유량에 따른 영향이 큰 것을 확인하였다. 이 결과로부터 W-C-N 박막은 첨가된 질소의 유량에 따라 박막의 안정도가 결정된 다는 것을 알았다. 본 연구에서 시편은 rf magnetron sputtering 방법으로 제작하였고 연속압입 실험은 Hysitron사의 Triboindenter를 이용하였다. Indenting에 사용된 압입팁은 Berkovich tip을 사용하였다.

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Ion doping effect on the $Nd:YVO_4$ CW laser crystallized poly-Si film ($Nd:YVO_4$ CW 레이저로 결정화한 다결정 실리콘 박막의 이온도핑 연구)

  • Kim, Eun-Hyun;Kim, Ki-Hyung;Park, Seong-Jin;Ku, Yu-Mi;Kim, Chae-Ok;Jang, Jin
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2005.05a
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    • pp.76-79
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    • 2005
  • $Nd:YVO_4$ 연속발진 레이저(CW laser:Continuous wave laser)로 제작한 다결정 실리콘 박막의 이온도핑 효과를 조사하였다. PECVD로 증착한 비정질 실리콘 박막을 CW 레이저를 조사하여 결정화한 후 $B_2H_6$ 플라즈마 이온 도즈량을 변화시켜 이온 도핑을 하고 급속열처리 방법과 퍼니스 어닐링 방법으로 도펀트 활성화를 하였다. 이온 도핑된 CW 다결정 실리콘 박막의 이온 도즈량에 따른 판저항 변화를 비교하고, 급속열처리(RTA: Rapid Thermal Annealing)와 퍼니스 어닐링(FA: Furnace Annealing) 전후의 결정성 변화를 라만 스펙트럼(Raman spectrum) 을 통하여 분석하였다. 이온 도즈량이 증가함에 따라 판저항은 감소하고, 어닐링 후 이온 도핑에 의해 손상된 박막이 복원됨을 확인 할 수 있다.

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나노트로볼로지를 이용한 질화 텅스텐 박막의 열적 안정성 연구

  • Choe, Seong-Ho;Kim, Ju-Yeong;Lee, Gyu-Yeong;Han, Jae-Gwan;Kim, Su-In;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.184-184
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    • 2010
  • 반도체 집적도의 비약적인 발전으로 각 박막 층간의 두께는 더욱 줄어들었고 이는 각 박막 층간의 확산에 대한 문제를 간과할 수 없게 하였다. 따라서 각 층간의 확산을 방지하기 위하여 두께가 수십 nm size의 확산방지막의 연구에 대한 관심도는 증가하게 되었다. 본 연구에서 분석을 위하여 사용된 Nano-indentation은 박막 표면에 다이아몬드 팁을 이용하여 압입을 실시하여 이때 시표의 반응에 의한 팁의 위치(Z-축)를 in-situ로 측정하여 인가력과 팁의 위치에 대한 연속 압입곡선을 측정하게 된다. 이를 통하여 박막의 hardness와 elastic modulus를 측정하게 되고, 연속 압입곡선 분석을 통하여 박막의 표면응력 변화를 측정한다. 이 논문에서는 반도체의 기판으로 사용되는 Si기판과 금속배선 물질인 Cu와의 확산을 효과적으로 방지하기 위한 W-C-N 확산 방지막을 제시하였고, 시료 증착을 위하여 RF-magnetron sputter를 사용하여 동일한 증착조건에서 질소(N)의 비율을 다르게 하여 박막 내 질소비율에 따른 확산방지막을 제작하였다. 이후 시료의 열적 안정성 측정을 위하여 상온, $600^{\circ}C$, $800^{\circ}C$로 각각 질소 분위기에서 30분간 열처리 과정을 실시하여 열적 손상을 인가하였다. 고온에서 확산방지막의 물리적 특성을 알아보기 위해 Nano-indentation을 이용하여 분석하였고, WET-SPM을 이용하여 표면 이미지와 거칠기를 확인하였다. 그 결과 질화물질이 내화물질에 비해 고온에서 물성변화가 적게 나타나는 것을 알 수 있었고, 균일도와 결정성 또한 질화물질에서 더 안정적이었다.

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P-side-down mounting by using AuSn alloy solder of semiconductor laser (반도첼 레이저의 AuSn 합금 솔더를 사용한 p-side-down방식의 마운팅)

  • Choi, S.H.;Heo, D.C.;Bae, H.C.;Han, I.K.;Lee, C.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.273-275
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    • 2003
  • 본 실험은 고출력 반도체 레이저의 p-side-down 마운팅용 솔더로서 AuSn 합금 솔더(80wt%:20wt%)의 적합성에 대해 연구하였다. $1{\mu}m$이하의 균일도로 폴리싱 된 Cu heat sink의 표면에 두께 $1{\mu}m$의 Ni로 코팅을 한다음, AuSn 다층박막은 e-beam 증착기로 AuSn 합금 솔더는 열증착기로 각각 증착하였다. 열처리는 산화 방지를 위해 $N_2$ 분위기에서 행하였으며, 동일한 압력으로 마운팅을 하였다. 표면의 거칠기와 형상은 AFM(Atomic Force Microscope)과 SEM(Scanning Electron Microscopy)으로 그리고 Au와 Sn의 성분비는 AES(Auger Electron Spectroscopy) 로 비교하였다. 또한 CW(연속발진)을 통한 L-I(Light-Current)측정을 통해 본딩상태를 비교하였다.

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Capsaicin과 규소수지 처리가 튀김유의 가열산화 억제에 미치는 영향

  • 이미숙;이근보
    • Proceedings of the Korean Journal of Food and Nutrition Conference
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    • 2000.12a
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    • pp.56-56
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    • 2000
  • 대두유를 기초로한 튀김유에 capsicum, butter flavor, 규소수지를 각각 0.20, 0.15%(w/w) 및 10ppm 처리하여 가열안정성의 향상 및 육두향 약화에 효과가 있는 것으로 확인 되었다. 즉, capsicum과 규소수지를 병행처리한 튀김유는 185$\pm$2$^{\circ}C$의 온도조건 하에서 3시간 동안 연속적으로 열처리할 경우 AV 및 SP가 각각 무처리군의 0.385, 22$0^{\circ}C$에 비하여 크게 향상된 0.301, 232$^{\circ}C$를 나타내었다. 이러한 효과는 capsicum의 항산화 효과와 함께 소포제의 일종인 규소수지의 작용에 따라 가열처리에 따른 튀김유의 표면적 팽창을 방지하여 유리지방산 생성 및 연기발생을 억제한데 따른 효과인 것으로 판단 되었다. 또한. 0.15%(w/w)의 butter flavor 처리에 따라 튀김유 및 튀김물에서 발생하는 육두향 및 기름타는 냄새를 막아주는 효과가 인정되어 새로운 형태의 튀김유제품 생산이 가능할 것으로 기대 되었다.

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The study on increasing of biodegradability by pre-treatment of municipal wasted sludge in anaerobic digestion process (도시하수슬러지의 전처리에 따른 혐기성 소화공정의 생분해율 향상에 관한 연구)

  • Kang, Chang-Min
    • Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association
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    • v.10 no.1
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    • pp.87-95
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    • 2002
  • The slow degradation rate of sludge in anaerobic digestion is due to rate-limiting step of sludge hydrolysis. To upgrading of sludge hydrolysis and biodegradabiliry, the pre-treatment had been carried out using acidlc (pH 1.5, 3, 4, 5) and alkaline (pH 9, 10, 13), thermal (50, 100, 150, $200^{\circ}C$), and ultrasonic treatment (400W, 20kHz, 15, 20, 25, 30, 40, 50, 60, 90min). In the best conditions of each treatment, the Soluble SCOD Ratio(%)of treated/untreated sample were increased 102% in acid (pH5), 986% in alkali (pH 13), 595% in thermal ($200^{\circ}C$) and 1123% in ultrasonic (35min) treatment. As the result, the ultrasonic treatment was most effective, followed by alkali, thermal, acid treatment. In the effects of total gas productivity in vial test, the thermal ($200^{\circ}C$) pre-treatment was the highest, followed by thermal ($150^{\circ}C$), ultrasonic (90min), alkaline (pH 9), and ultrasonic (50min). We compared untreated samples and the most efficient pre-treatment samples(at $200^{\circ}C$, for 30min) on gas productivity with changes of HRT in continuous experiments IN thermal treated samples were 2.5 times in SCOD, 2 times in soluble protein and 3.3 times high in soluble carbohydrate than untreated ones. In gas productivity, the thermal treated samples were average 2 times high than untreated ones. And HRT 7 days was most effective. followed by HRT 10, HRT 15 days. But The gas productiviry of HRT 2.5 days was less than untreated, the reason of low gas productivity was come from high organic acids accumulation within reactor.

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