• 제목/요약/키워드: 연구장비산업

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항해통신장비산업과 연구개발현황 (Current Activities of Navigation & Communication Equipments Industry and R&D)

  • 문성미;손주영
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제35권4호
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    • pp.512-518
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    • 2011
  • 우리나라는 1980년대 초반부터 조선산업과 더불어 조선기자재업체의 동반 성장을 추구해왔다. 그러나 조선산업발전 추이를 보면 중국이나 동남아시아로 시장이 옮겨갈 것이라는 전망이 나오고 있고, 국제해사기구(IMO)에서는 e-navigation 실현을 예고하는 등 국내외적 여건에 따른 산업계의 신속한 변화뿐만 아니라 국가적 대책과 학계의 연구개발 노력이 절실하다. 본 논문에서는 항해통신장비산업의 특징과 국내외동향, 그리고 연구개발분야를 서술하고, 대표적인 연구개발현황을 소개한다.

반도체 공정용 소재 및 부품 성능 평가 연구

  • 임성규;박상현;임종연;강상우
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.72-72
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    • 2015
  • 메모리 반도체 세계 시장 점유율 1위 뿐만 아니라 국내 전체 산업 가운데 가장 중추적인 역할을 하는 반도체 산업의 지속적인 성장과 국가 경제의 발전을 위해서 소자 업체 뿐만 아니라 장비, 소재, 부품 산업의 동반 성장은 반드시 필요하다. 그 중에서 특히 소재, 부품 산업을 발전시키는 것이 국산 반도체 장비의 시장 점유율이 낮은 현 시점에서 가장 필요한 선택이다. 반도체 소재, 부품 산업의 발전을 위해서 제일 먼저 해야할 일은 영세한 국내 반도체 소재, 부품 산업을 활성화 시키는 것이며, 지속 적인 연구 개발, 성능 평가 방안 확보, 수요 업체와의 연계 방안 확보 등이 주요 현안이다. 반도체 소자 업체, 장비 업체에서 원하는 소재 및 부품의 성능을 만족하는 제품을 만들기 위해서는 우선 소재 및 부품의 기본 특성을 만족하는지에 대한 평가가 필요하고, 더 나아가서는 디바이스의 특성을 만족시켜줄 수 있는 한 단계 상향된 수요자의 요구 조건을 만족 시켜줄 수 있어야 한다. 본 연구에서는 그 중 특히 중요한 요소인 성능 평가에 대해서 논하고자 한다. 우선 반도체 공정용 소재에 대해서 살펴 보면 대표적인 반도체 소재로 증착용 Precursor, Photo Resistor, Sputter Target 등이 있다, 평가 방법으로는 ALD용 Precursor의 경우 대기 노출시 폭발, 화염 발생 등의 위험 요소를 안고 있어 특별한 주의가 요구 된다. PR이나 Sputter Target은 상대적으로 위험성은 적으며, 다양한 성능 평가 들이 가능하다. 다음으로 부품 평가에 대해서 살펴 보자. 본 원에서 가장 많이 진행된 부품 평가는 개발된 Pump의 성능 평가이다. 개발된 Pump는 1차적으로 KRISS 진공센터 에서 기본 Pumping 능력 평가를 실시하고, 다음으로 공정 평가를 실시한다. Pump마다 특성이 달라서 각 펌프의 성능 평가에 적합한 공정과 장비를 우선 선정하고 그에 합당한 공정을 진행하여 평가를 실시한다. 고 진공용인 Cryo Pump는 순수한 물질의 증착이 중요한 Metal Sputter 공정 장비에 장착하여 공정용 Gas를 흘리면서 Pump의 구동에 따른 성능 평가를 하고, 다음으로 실제로 Metal Sputter를 실시해서 Wafer에 증착된 물질의 특성을 확인한다. 다음으로 Turbo Pump의 경우 Etch 장비에 장착하여 Etch Uniformity, Etch Rate, By-product 배출 정도에 대해서 평가를 한다. Dry Pump는 비교적 공정 압력이 낮은 PECVD 공정 장비에서 평가를 진행 한다. 마지막으로 공정 진단, 챔버 상태 진단 등을 할 수 있는 별도의 부품 또는 장치로 PBMS, PCDS, OES 등의 평가에 대해서 논한다. 본 장치들은 실제 반도체 공정 장비와 환경에서 평가가 되어야지만 최종 사용자 입장에서 신뢰를 가지고 결과에 대해서 접근할 수 있다. 위에 논의된 장치들은 현재 공정 장비에 부착되어서 판매 되고 있는 것이 아니라 수요가 많지 않으나, 자체 성능 개선과 적합한 평가를 통해서 장치의 성능이 인정되면 300 mm 이상 Wafer 공정에서 반드시 필요한 실시가 공정 진단을 위해서 폭발적인 수요를 창출할 수 있으리라 본다.

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Offshore Oil & Gas산업에서의 장비 국제표준화 추진에 관한 접근방법 및 추진 사례 (Approach and case study on promotion of international standardization of equipment in offshore oil & gas industry)

  • 한성종;서영균;정정열;박범
    • 플랜트 저널
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    • 제16권1호
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    • pp.28-33
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    • 2020
  • 본 연구는 Offshore Oil & Gas 산업에서의 장비 및 벌크자재 국제표준화 추진에 대한 접근방법에 대한 연구로 국제표준화를 위한 요구사항을 분석하고 표준화 장비의 우선순위 선정 및 1단계 표준화 결과를 설명한다. 현재 국제적으로 진행되고 있는 표준화활동은 크게 3개의 활동들로 구분할 수 있으며 첫째로 국내 대형 조선3사가 주도하여 진행하는 벌크자재 국제표준화활동, 둘째로 IOGP의 주도하에 진행되는 JIP33 장비표준화 활동 및 마지막으로 선급을 중심으로 이루어지는 UEJIP 장비표준화활동으로 구분될 수 있다. 본 연구는 Offshore Oil & Gas산업에서 적용되는 각종 국제표준을 분류하고 이를 기반으로 하여 진행되고 있는 선급 주도의 장비 표준화 활동 및 실제 프로젝트의 적용사례를 소개한다.

반도체장비유지보수 자격개발에 관한 연구 (A Study on the Development of Qualification for Semiconductor Machine Maintenance)

  • 강석주
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제13권6호
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    • pp.2472-2478
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    • 2012
  • 본 연구는 반도체 산업에서 반도체장비 유지보수에 사용되어지는 반도체장비 유지보수 분야의 전문기술인력을 효과적으로 양성할 수 있는 반도체장비 유지보수의 자격종목을 개발하고자 하는데 그 목적이 있다. 연구의 목적을 달성하기 위하여 반도체장비 유지보수 분야의 국내외 실태 조사, 문헌조사를 통하여 반도체장비 유지보수 관련 교육훈련기관 및 검정 수요 예상 인력을 파악했으며, 유사자격제도(전자부품장착기능사, 전자부품장착산업기사, 생산자동화기능사, 생산자동화산업기사)를 분석하였고, 직무분석을 통하여 반도체장비유지보수기능사의 직무 및 교육내용을 분석하였다. 또한 반도체장비 유지보수 자격종목 신설에 대한 설문조사를 실시했으며, 반도체장비유지보수기능사 자격종목의 출제기준 및 채점 방법을 제시했고, 필기시험과 실기시험에 대한 모의 검정시험도 실시하였다. 이러한 결과를 토대로 반도체장비유지보수기능사에 대한 교육프로그램을 만들었으며, 자격검정을 실시할 수 있는 출제기준을 제시하였다.

산업용 자동화 장비를 위한 스마트 제어 시스템 설계 (A Design of the Smart Control System for Industrial Automation Equipment)

  • 김보헌;김황래
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권4호
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    • pp.677-684
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    • 2017
  • 스마트 기기는 휴대하기 편리하고 애플리케이션이 개발이 쉬운 장점으로 다양한 산업 분야에 적용되고 있다. 그러나 산업용 장비 분야에서는 장비에서 제공되는 정보에 대한 보안 문제 및 원격지에서 장비의 액추에이터를 제어할 경우 사고가 발생할 수 있다. 본 논문에서는 위 문제에 대한 해결 방법과 스마트 제어 시스템을 산업용 자동화 장비에 적용할 경우 장점에 관한 연구를 수행하였다. 이런 문제 해결을 위해 장비 조작 시 발생할 수 있는 사고에 대해 질의를 이용한 매뉴얼 조작 방법과 스마트 기기를 이용한 장비 제어 시 스마트 제어 접근 허용 절차를 제안하였으며, 통신 데이터 보호 및 사용자 인증 방법으로 다중 암호화 프로토콜을 이용한 데이터 전송 방법과 단말기 고유 정보 및 Q&A를 이용한 사용자 인증 방법 제안하였다. 구현된 스마트 제어 시스템의 성능을 평가하기 위해 스마트 제어 시스템의 동작 실험과 사용자 인증 비교 실험을 하였으며, 장비에 적용 시 장점을 파악하기 위한 실험에서 스마트 제어 시스템은 티칭 팬던트 보다 편리하게 티칭 조작이 가능하였고, 다양한 정보 취득과 하드웨어 조작이 가능하였다. 또한, 스마트 제어 시스템 적용 시 장비의 에러 조치 시간을 약 13% 단축할 수 있었다.

산업용 및 군수산업 부품단종 정보체계에 관한 연구 (A Study on Information Management Systems for Discontinuity of Industrial and Military Components)

  • 백원철;신승중
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제19권3호
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    • pp.201-206
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    • 2019
  • 본 연구의 목적은 산업용과 군사용 장비의 전자 부품단종 문제를 해결하기 위한 정보체계 구축 구현을 바탕으로 향후 부품단종 문제를 인식하고 사전 관리함으로써 장기간 운용 하는 중공업 장비 군사용 체계 운용에 있어 부품단종문제 해결뿐만 아니라 장비의 노후화로 인한 과도한 군수지원 정비 비용 지출을 줄이고 부품생산자들의 생산 정보 현상을 주기적으로 정보화 하여 Up data 함으로 미래의 부품단종을 미연에 예방함을 목적으로 한다. 산업체 및 연구기관의 개발을 보다 효율적으로 관리와 생산 장비의 부품을 선정 지원 하고 방대한 부품정보를 정보화함으로 후속 지원 정비 서비스의 질과 편리성을 확보 할 수 있다.

World Class 300 지원사업의 산업군별 경제적 성과분석

  • 오한석;최경현
    • 한국벤처창업학회:학술대회논문집
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    • 한국벤처창업학회 2020년도 춘계학술대회
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    • pp.203-210
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    • 2020
  • 본 연구에서는 대표적인 국내 중소·중견기업 육성사업인 "World Class 300 프로젝트" 수혜기업을 대상으로 R&D 지원사업의 성과를 측정하고자 한다. 특히, 수혜기업을 산업군(소재·부품·장비·모듈·소비재 기업)별로 세분화해 R&D 지원사업이 산업군별 특성에 따라 어떻게 차별화되는지에 대해 실증분석하였다. 분석은 2011년부터 2017년까지 World Class 300 프로젝트에 선정된 총 272개 기업을 대상으로 수행되었으며, 패널회귀 방법론을 통해 얻은 분석결과는 R&D 지원이 산업군에 따라 기업의 성과(당기순이익)에 상이한 영향을 미치는 것으로 확인되었다. 소재, 부품, 장비 기업 표본에서는 성과에 통계적으로 유의한 영향을 미치지 못했고, 모듈 기업 표본에서는 성과에 부정적인 관계가 있는 것으로 나타났으나, 소비재 기업 표본에서는 성과에 긍정적인 영향을 미친 것으로 분석되었다. 본 연구는 향후 R&D 지원효과를 극대화하기 위해서는 산업군별 특성에 맞는 차별화된 지원정책의 기획·집행이 필요하다는 점에서 기존 연구들과의 차별성을 확보할 수 있다.

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대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰

  • 정준영;이우영;임경화;진경복;최성주;지이권;정준영
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
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    • pp.201-207
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    • 2005
  • 디스플레이 장치를 제조함에 있어 Lithography 공정은 매우 중요한 공정으로 인식되고 있으나 아직까지 Lithography 장비의 국내 기술개발 수준은 선진사에 비해 많이 뒤져있다고 볼 수 있다. 최근 디스플레이 산업의 폭발적인 성장과 더불어 보다 확실하고 안정적인 생산을 위해서는 Lithography 장비의 국산화 기술개발이 시급한 상황이다. 본 연구는 Lithography 장비를 구성하는 핵심기술요소 중 Stage 최적화에 대하여 현재 국내외에서 개발된 또는 개발중인 제품들을 비교 분석하고, 최적화 설계를 위해 필요한 조건들에 대하여 고찰해보았다.

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지뢰제거 장비의 발전추세와 운용방안(2)

  • 신용복
    • 국방과기술
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    • 7호통권233호
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    • pp.78-87
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    • 1998
  • 비무장지대에 매설되어 있는 100만여개의 지뢰와 북괴의 호전적인 태도를 감안한다면 전시에 전투력 발휘를 보장하기 위한 전력화 측면에서 그리고 인도주의적 측면에서 우리군도 정책적으로 추가적인 지뢰제거장비의 연구개발에 관심을 기울여야 하겠다. 지뢰제거장비는 1종류만 사용한다면 100% 지뢰제거에는 제한이 따르며 기계식, 전자기식, 폭파식, 비폭파식 장비를 종합적으로 운용하여 전시 기동부대에 기동성을 보장하고 또한 군사작전지역이 아닌 지역에서 지뢰로 인한 민간 사상자를 방지하고 통일에 대비할 수 있도록 지뢰탐지 및 제거장비개발 획득에 박차를 가해야 하겠다.

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스마트항만 구축을 위한 항만장비산업 육성 방안 연구 (A Study on fostering strategy for Port Equipment industry)

  • 김보경;한승훈;안승현
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
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    • 한국항해항만학회 2023년도 춘계학술대회
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    • pp.108-109
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    • 2023
  • 본 연구는 최근 발표된 국내 장비산업 육성 전략에 따라 이를 구체적으로 추진할 수 있는 정책을 설정하고, 이를 추진할 수 있는 방안을 제시하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해 항만장비산업에 대한 신기술 인증제도와 신기술 시험검증영역 운영 및 활성화 방안 두가지를 대안으로 설정하고, 이에 대한 구체적 수요와 도입방안을 도출하기 위해 기술개발을 수행하는 기업을 대상으로 설문조사를 수행하였다. 설문조사 결과 신기술 인증제도 및 시험검증영역의 활용 수요가 높은 것으로 파악되었으며, 장비산업 육성을 위해 항만장비와 연계한 실증 지원, 공인검증기관과 연계한 시험 및 평가, 전담기관 마련 등의 대안이 도출되었다. 이를 바탕으로 항만 장비에 특화된 신기술 인증제도 신설 및 이를 제도화 할 수 있는 방안을 제시하였다. 또한 설문조사 결과 및 인증제도와 연계하여 신기술 시험검증영역의 기본적 기능과 역할을 정립하고, 향후 활성화를 위해 인증비용 면제, 실적확인서 발급 등의 실효서 있는 인센티브 제공, 전담조직 및 인증센터 운영을 통한 효율적 관리 등의 방안을 제시하였다.

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