• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2001.11a
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• pp.435-436
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• 2001

대기 중 에어로졸 입자의 크기 분포를 측정하는 기기 중 광학적 입자 계수기(Optical Particle Counter)는 0.3$\mu\textrm{m}$에서 25$\mu\textrm{m}$ 사이의 입자의 크기를 개개의 입자에 대한 산란광의 강도를 측정하여 그 강도와 미리 정해진 강도와의 관계에 의해 입자의 크기를 추정한다(Chun et al., 2001). 본 연구에서는 2001년 4월 제주 고산에서 실시된 ACE-Asia(Asian Pacific Regional Aerosol Characterization Experiment) 집중 관측 기간 중 광학적 입자 계수기(Optical Particle Counter; HIAC/ROYCO 5230)를 이용하여 측정한 이 기간 중 에어로졸 입자의 크기 분포의 특성을 황사시와 비황사시, 그리고 강수시와 비강수시로 나누고 그 특징을 비교하여 보았다. (중략)

• 한국지구과학회:학술대회논문집
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• 2010.04a
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• pp.37-37
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• 2010

2008년 동아시아 대륙에서 발생기원이 다른 황사와 인위적 오염입자의 광역적 이동 사례를 NOAA위성 RGB 합성영상과 지상 TSP, PM10, PM2.5 질량농도 관측으로 구별하였다. 또한 Terra/Aqua 위성MODIS (MODerate Imaging Spectroradiometer) 센서의AOD (Aerosol Optical Depth)와 FW (Fine aerosol Weighting)를 통해 동아시아 지역에서 발생기원이 다른 대기 에어로졸의 분포와 입자 크기 특성을 분석하였다. 중국 북부와 몽골, 그리고 중국 황토고원에서 모래폭풍이 발생하여 광역적으로 이동하여 청원에 먼지입자(황사)로 영향을 주는 6 사례를 분석했다. 질량농도 TSP중 PM10 은 70%, PM2.5 는 16% 로 조대입자 (> $2.5{\mu}m$)의 비율이 큰 것은 사막과 반사막의 자연적 발생원에서 생성되었기 때문이다. 그러나, 모래 폭풍이 이동 과정에서 중국 동부의 산업 지역을 거쳐 유입 되는 사례에서는 TSP 중 PM2.5 가 23% 까지 증가하기도 했다. 중국 동부로부터 황해를 거쳐 한반도로 유입하고 있는 다른5사례는 TSP 중 PM10, PM2.5가 각각 82%, 65% 로 PM2.5 의 비율이 높았는데 인위적 오염입자의 영향 때문이다. 동아시아 지역에서 인위적 오염입자의 광역적 이동 사례에 대한 평균 AOD는 $0.42{\pm}0.17$로 황사에 의한 AOD ($0.36{\pm}0.13$)와 비교하여 대기 에어로졸에 대한 비율이 높게 나타났다. 특히, 중국 동부에서 황해, 한반도, 동해에 이르는 광역적 지역에 높은 AOD값이 분포했다. 인위적 오염입자의 사례는 FW가 평균 $0.63{\pm}0.16$로 모래폭풍의 이동 사례의 $0.52{\pm}0.13$ 보다 높은 값을 보이고 있어, 대기 에어로졸에 대한 인위적 미세 오염입자의 기여가 크게 나타나고 있었다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.429-431
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• 2000

에어로졸의 물리적, 화학적 특성은 주로 입자의 크기 분포와 밀접한 관련이 있다. 따라서 시간에 따른 입자의 크기분포의 변화를 아는 것은 중요한 문제로서, 입자에 작용하는 중력이나, 전기적인 힘, 입자간의 상대속도 등에 의해 입자의 크기분포는 달라질 수가 있다. 이러한 입자간의 상호작용으로 인해 서로 충돌하여 합쳐지는 것으로 이를 응집(Coagulation)이라 한다. (M.M.R. Williams, 1988) (중략)

• Particle and aerosol research
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• v.10 no.4
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• pp.137-154
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• 2014

Prediction of the behavior of radioactive aerosol particles in a containment is of importance for the assessment of the consequences of nuclear power plant severe accidents because most radioactive air pollutants are emitted as aerosol particles upon severe accident. The performance of engineering safety features (ESFs) is also influenced by the characteristics of the aerosol particles. In this article, the characteristics of aerosol particles in reactor containments reported by previous studies were reviewed. The results of the experiments for postulated accidents in test reactors, for aerosol behavior analysis using artificial test aerosols, and for ESF performance evaluation were summarized. The summary of this article will be of use in designing and performance-evaluating ESFs.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.482-482
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• 2013

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 본 연구에서는 가스클러스터 장치를 이용한 세정 특성 평가에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상을 최소화 하고 상대적으로 높은 효율로 오염입자를 제거하게 된다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 평가하기 위하여 이러한 변수에 따라서 오염 입자의 종류, 크기에 따른 PRE (particle removal efficiency)를 평가하고 다양한 선폭의 패턴을 이용하여 손상 실험을 수행하였다. 제거 효율에 사용된 입자는 $CeO_2$와 $SiO_2$이며, 각각 30, 50, 100, 300 nm 크기를 정량적으로 오염시킨 쿠폰 웨이퍼를 제조하여 세정 효율을 평가하였다. 정량적 오염에는 SMPS (scanning mobility particle sizer)를 이용한 크기 분류와 정전기적 입자 부착 시스템이 사용되었다. 또한 패턴 붕괴 평가에는 35~180 nm 선폭을 가지는 Poly-Si 패턴을 이용하였다. 실험 결과 클러스터 형성 조건에 따라 상대적으로 낮은 패턴 붕괴에서 95% 이상의 높은 오염입자 제거효율을 전반적으로 보이는 것을 확인할 수 있었다. 따라서 이론적 계산에 기반하여 세정에 요구되는 클러스터 크기를 가정하고, 이를 통하여 세정에 적용할 경우 높은 기존 세정 방법의 단점을 보완하면서 높은 세정 효율을 가지는 대체 세정 방안으로 이용할 수 있음을 확인하였다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.21.2-21.2
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• 2011

에어로졸 데포지션(Aerosol deposition) 기술은 상온에서 초음속 유동을 통해 분사된 미세 입자가 기판에 충돌하면서 강력한 결합을 형성하는 방식으로 코팅이 이루어진다. 이 방법은 별도의 소결과정 없이 상온에서도 조밀하고 균일한 박막을 형성할 수 있다. 또한 세라믹, 금속 재질의 다양한 입자를 사용할 수 있을 뿐만 아니라 금속, 유리 기판등에 적용이 가능하다. 본 논문은 이러한 에어로졸 데포지션 기술을 이용하여 광촉매 효과가 뛰어난 $TiO_2$ 입자를 대면적 코팅에 적용가능한 초음속 노즐을 통해 분사하여 ITO기판 위에 박막을 형성하였다. $TiO_2$ 입자의 크기, 기판의 이송 속도와 왕복횟수, 공급 유량 등이 코팅면의 특성과 조성 등에 미치는 영향을 분석하였다. $TiO_2$ 박막층의 형상과 두께는 주사전자현미경(SEM)을 통해 확인하였고, X-ray diffraction (XRD)를 이용하여 코팅 입자와 박막 층의 조성을 각각 확인하였다. 에어로졸 데포지션을 이용한 $TiO_2$ 코팅층은 염료감응형 태양전지(DSSC), 자정작용(self-cleaning), 살균작용(antibacterial effect) 등의 적용분야에 적용 가능할 것으로 판단된다.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.55 no.2
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• pp.204-207
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• 2011

A particle counting system that can also provide sensitive, specific chemical information, while consuming very less power, occupying less space, and being inexpensive has been developed. This system uses a microwave plasma torch (MPT) as the excitation source for atomic emission spectrometry (AES). Emission from a single particle can be detected, and the wavelength at which the emission is observed indicates the elements present in the particle. It is believed that correlating the particle size and emission intensity will allow us to estimate the particle size in addition to abovementioned capabilities of the system. In the long term, this system can be made field-portable, so that it can be used in atmospheric aerosol monitoring applications, which require real-time detection and characterization of particles at low concentrations.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.05b
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• pp.203-204
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• 2003

광화학 스모그 현상은 전 세계를 비롯하여 서울에서도 새로운 사회 현안으로 부각되고 있다 (Ghim and Chang, 2000). 광화학 반응에 의해 오존 농도가 증가할 수 있고, 광화학 반응으로 생성된 이차 에어로졸은 시정을 악화시킨다. 광화학 반응에 의해 생성된 이차 에어로졸은 대부분이 미세입자이다. 이차 에어로졸과 오존은 NOx와 VOCs (volatile organic compounds)같은 전구물질 사이의 복잡한 반응으로부터 생성된다. 그러므로 서울의 광화학 스모그 발생을 제어하기 위해서는 오존과 미세입자의 특성을 이해하는 것이 필수적이다. (중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.04a
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• pp.294-296
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• 2000

대기에어로졸의 화학적 조성은 대기화학과정 및 에어로졸의 기후변화 (climate forcing)를 이해하는데 필요한 중요한 변수이다 대기에어로졸 군 입자크기가 2.5 $\mu\textrm{m}$보다 작은 미세입자들은 인간의 건강과 사회복지에 악영향을 미치는 것으로 알려져 있다 (U.S. EPA, 1996). 시화지역은 크게 공단지역과 주거지역으로 구분되어 있으며 공단지역에서 발생한 대기오염물질이 대기확산을 통해 주거지역으로 이동하면서 주거지역에 살고있는 주민들에게 많은 악영향을 미치는 것으로 알려져 있다. (중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2002.11a
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• pp.350-351
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• 2002

대기 중 부유 입자상물질(에어로졸)은 지구 대기 환경과 기후, 그리고 인체 건강에 영향을 미치는 까닭에, 에어로졸을 효과적으로 분석하는 방법을 개발하는 연구는 매우 중요하다. 특히 한국과 일본에서는 매년 봄 중국에서 발원하여 동북부 아시아로 이동하는 황사(Asian Dust) 현상이 매우 중요한 관심 대상이다. 이것은 황사 입자가 중국의 공업단지인 중국 북동부를 거쳐오면서, 황산염이나 질산염, 해염 입자와 반응하여 한국이나 일본, 태평양으로 이동시킬 수 있다는 점에서 중요하게 여겨진다. (중략)