• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.31 no.1
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• pp.29-34
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• 2009

This study was performed under four operational conditions for nitrogen removal in metal finishing wastewater. The conditions include electrode gap, reducing agent, the recycling of treated wastewater in 1st step and the simultaneous treatment of nitrate and other materials. Result showed that the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$ was highest at the electrode gap of 10 mm. As the electrode gap was shorter than 10 mm, the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$ decreased due to increasing in concentration polarization on electrode. And, in case that the electrode gap was longer than 10 mm, the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$ increased with an increase in energy consumption. Because hydrogen ions are consumed when nitrate is reduced, reducing reaction of nitrate was effected more in acid solution. As 1.2 excess amount of zinc was injected, the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$ increased due to increasing in amount of reaction with nitrate. As the effluent from 1st step in the reactor was recycled into the 1st step, the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$ increased. Because the zinc were detached from the cathode and concentration-polarization was decreased due to formation of turbulence in the reactor. The presence of $NH_4{^+}-N$ did not affect the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$ but the addition of heavy metal decreased the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$. As chlorine is enough in wastewater, the simultaneous treatment of nitrate and ammonia nitrogen may be possible. The problem that heavy metal decrease the removal efficiency of $NO_3{^-}-N$ may be solved by increasing current density or using front step of electrochemical process for heavy metal removal.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.21 no.1
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• pp.717-724
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• 2020

In general, the factors affecting the heat transfer of asphalt pavement are divided into weather factors and pavement materials. Among them, material factors include the thermophysical and surface properties. An experiment was conducted on the thermal-physical factors of asphalt, which are the basis for the pavement failure model. The thermal conductivity, specific heat capacity, thermal diffusivity, and thermal emissivity were evaluated as the thermo-physical properties of asphalt. The specimens (WC-2 & PA-13) used in the experiment were compacted with a Gyratory Compactor. The experimental results of WC-2 and PA-13 showed a thermal conductivity of 1.18W/m·K and 0.9W/m·K, specific heat capacity of 970.8J/kg·K and 960.1J/kg·K, thermal emissivity of 0.9 and 0.91, and thermal diffusivity of 5.15㎡/s and 4.66㎡/s, respectively. Experiments on the heat transfer characteristics (thermo-physical properties) of asphalt pavement that can be used for thermal failure modeling of asphalt were conducted.

• Polymer(Korea)
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• v.37 no.6
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• pp.744-752
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• 2013

The miscibility between poly(L-lactide) (PLLA) and poly(methyl methacrylate) (PMMA) was investigated using thermal analyses for the purpose of developing birefringence-free material at oriented state. The effect of methyl acrylate (MA) units as comonomer of PMMA on the miscibility was also studied. All the blends prepared in this study show composition-dependent single $T_g$'s between those of blend components and high transparency over the visible region, indicating the miscibility at molecular level and no discernible effect of MA units on it. No phase separation was observed at elevated temperature of $280^{\circ}C$, higher than the degradation of PLLA and PMMA. The interaction energy density in PLLA/PMMA blends with 17 mol% of MA was measured to be $-0.74J/cm^3$ from the equilibrium melting temperature depression based on the Hoffman-Weeks method. The blends show zero-${\Delta}$n behavior at a specific mixing ratio and the drawing ratio of 3 due to compensation of intrinsic orientation birefringence. Birefringence dispersion of PLLA/PMMA5 blends was also measured to examine the possibility for quarter-wave plates or polarizer protective films.

• Journal of Korea Water Resources Association
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• v.44 no.1
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• pp.9-22
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• 2011

A 1D numerical model for steady flow, based on the energy equation, was developed for natural rivers with emergent vegetations on floodplains and banks. The friction slope was determined by the friction law of Darcy-Weisbach. The composite friction factor of the each cross section was calculated by considering bottom roughness of the main channel and the floodplains, the flow resistance of vegetations, the apparent shear stress and the flow resistance caused by the momentum transfer between vegetated areas and non-vegetated areas. The interface friction factor caused by flow interaction was calculated by empirical formulas of Mertens and Nuding. In order to verify the accuracy of the suggested model, water surface elevations were calculated by using imaginary compound channels and the results of calculations were compared with that of the HEC-RAS. The sensitivity analysis was performed to confirm changed friction factors by vegetations density etc. The suggested model was applied to the reach of the Enz River in Germany, and estimated water surface elevations of the Enz River were compared with measured water surface elevations. This model could acceptably compute not only water surface elevations with low discharge but also that with high discharge. So, the suggested model in this study verified the applicability in natural rivers with emergent vegetations.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.195-195
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• 2000

TFT-LCD의 제조공정은 박막층의 식각 공정에 대해 기존의 습식 공정을 대치하는 건식식각이 선호되고 있다. 건식 식각 공정은 반도체 공저에 응용되면서 소자의 최소 선폰(CD)이 감소함에 따라 유도결합셩 프라즈마를 비롯한 고밀도 플라즈마 이용한 플라즈마 장비 사용이 증가하는 추세이다. 여기에 평판디스플레이의 공정을 위해서는 대면적과 사각형 기판에 대한 균일도를 보장할 수 있는 고밀도의 균일한 플라즈마 유지가 중요하다. 본 실험에서는 자장강화된 유도결합형 플라즈마의 플라즈마 밀도 및 균일도를 살펴보고 TFT-LCD에 gate 전극으로 사용되는 Al-Nd 박막의 식각을 통하여 식각균일도와 식각속도 및 식각 선택도 등의 건식 식각 특성을 보고자 한다. 영구자석 및 전자석의 설치는 사각형의 유도결합형 플라즈마는 소형 영구자석을 배열하여 부착하였으며, 외부에는 chamber와 같이 사각형태의 전자석을 500mm$\times$500mm의 크기를 갖는 z축 방향의 Helmholtz형으로 제작하였다. 더. 영구자석 배열에 대해서는 자석간의 거리와 세기 변화를 조합하여 magnetic cusping의 변화를 주었으며 전자석의 세기는 전류값을 기준으로 변화시켜 보았다. 실험을 통하여 플라즈마 균일도를 5% 이하로 개선하고 이러한 균일도를 유지하며 플라즈마 밀도를 높일 수 있는 조건을 찾을 수 있었다. 이러한 적합화된 조건에서 저장강화된 유도결합형 프라즈마를 Al-Nd 박막 식각에 응용한 결과, Al-Nd의 식각속도 및 식각 선택도는 유도결합형 프라즈마에 비해 크게 증가하였으며, 식각균일도가 개선되는 것을 관찰하였다. 또한 electrostatic probe(Hiden, Analytical)를 이용하여 Al-Nd 식각에 사용된 반응성 식각가스에 대한 저장강화된 유도결합형 플라즈마의 특성 분석을 수행하였다.c recoil detection, Rutherford backscattering spectroscopy, X-ray diffraction, secondary electron microscopy, atomic force microscoy, $\alpha$-step, Raman scattering spectroscopu, Fourier transform infrared spectroscopy 및 micro hardness tester를 이용하여 기판 bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 분석결과 본 연구에서 제작된 DLC 박막은 탄소와 수소만으로 구성되어 있으며, 비정질 상태임을 알 수 있었다. 기판 bias 전압의 증가에 따라 박막의 두께가 감소됨을 알 수 있었고, -150V에서는 박막이 거의 만들어지지 않았으며, -200V에서는 기판 표면이 식각되었다. 이것은 기판 bias 전압과 ECR 플라즈마에 의한 이온충돌 효과 때문으로 판단되며, 150V 이하에서는 증착되는 양보다 re-sputtering 되는 양이 더 많을 것으로 생각된다. 기판 bias 전압을 증가시킬수록 플라즈마에 의한 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 (dehydrogenation) 현상을 확인할 수 있었으며, 이것은 C-H 결합에너지가 C-C 결합이나 C=C 결합보다 약하여 수소 원자가 비교적 해리가 잘되므로 이러한 현상이 일어난다고 판단된다. 결합이 끊어진 탄소 원자들은 다른 탄소원자들과 결합하여 3차원적 cross-link를 형성시켜 나가면서 내부 압축응력을 증가시키는 것으로 알려져 있으며, hardness 시험 결과로 이것을 확인할 수 있었다. 그리고 표면거칠기는 기판 bias 전압을 증가시킬수록 더 smooth 해짐을 확인하였다.인하였다.을 알 수 있

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.456-456
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• 2010

CMOS 소자가 서브마이크론($0.1\;{\mu}m$) 이하로 스케일다운 되면서 단채널 효과(short channel effect), 게이트 산화막(gate oxide)의 누설전류(leakage current)의 증가와 높은 직렬저항(series resistance) 등의 문제가 발생한다. CMOS 소자의 구동전류(drive current)를 높이고, 단채널 효과를 줄이기 위한 가장 효율적인 방법은 소스 및 드레인의 얕은 접합(shallow junction) 형성과 직렬 저항을 줄이는 것이다. 플라즈마 도핑 방법은 플라즈마 밀도 컨트롤, 주입 바이어스 전압 조절 등을 통해 저 에너지 이온주입법보다 기판 손상 및 표면 결함의 생성을 억제하면서 고농도로 얕은 접합을 형성할 수 있다. 그리고 얕은 접합을 형성하기 위해 주입된 불순물의 활성화와 확산을 위해 후속 열처리 공정은 높은 온도에서 짧은 시간 열처리하여 불순물 물질의 활성화를 높여주면서 열처리로 인한 접합 깊이를 얕게 해야 한다. 그러나 접합의 깊이가 줄어듦에 따라서 소스 및 드레인의 표면 저항(sheet resistance)과 접촉저항(contact resistance)이 급격하게 증가하는 문제점이 있다. 이러한 표면저항과 접촉저항을 줄이기 위한 방안으로 실리사이드 박막(silicide thin film)을 형성하는 방법이 사용되고 있다. 본 논문에서는 (100) p-type 웨이퍼 He(90 %) 가스로 희석된 $PH_3$(10 %) 가스를 사용하여 플라즈마 도핑을 실시하였다. 10 mTorr의 압력에서 200 W RF 파워를 인가하여 플라즈마를 생성하였고 도핑은 바이어스 전압 -1 kV에서 60 초 동안 실시하였다. 얕은 접합을 형성하기 위한 불순물의 활성화는 ArF(193 nm) excimer laser를 통해 $460\;mJ/cm^2$의 에니지로 열처리를 실시하였다. 그리고 낮은 접촉비저항과 표면저항을 얻기 위해 metal sputter를 통해 TiN/Ti를 $800/400\;{\AA}$ 증착하고 metal RTP를 사용하여 실리사이드 형성 온도를 $650{\sim}800^{\circ}C$까지 60 초 동안 열처리를 실시하여 $TiSi_2$ 박막을 형성하였다. 그리고 $TiSi_2$의 두께를 측정하기 위해 TEM(Transmission Electron Microscopy)을 측정하였다. 화학적 결합상태를 분석하기 위해 XPS(X-ray photoelectronic)와 XRD(X-ray diffraction)를 측정하였다. 접촉비저항, 접촉저항과 표면저항을 분석하기 위해 TLM(Transfer Length Method) 패턴을 제작하여 I-V 특성을 측정하였다. TEM 측정결과 $TiSi_2$의 두께는 약 $580{\AA}$ 정도이고 morphology는 안정적이고 실리사이드 집괴 현상은 발견되지 않았다. XPS와 XRD 분석결과 실리사이드 형성 온도가 $700^{\circ}C$에서 C54 형태의 $TiSi_2$ 박막이 형성되었고 가장 낮은 접촉비저항과 접촉저항 값을 가진다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.9 no.12
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• pp.1196-1204
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• 1999

We have carried out copper MOCVD(metalorganic chemical vapor deposition) onto the reactive sputtered PVD-TiN and rapid thermal converted RTP-TiN substrates using direct liquid injection for effective delivery of the (hfac)Cu(vtmos) [$C_{10}H_{13}O_{5}CuF_{6}$Si: 1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4- pentadionato (vinyltrimethoxysilane) copper (I)] precursor. Especially, the influences of deposition conditions and the substrate type on growth rate, crystal structure, microstructure, and electrical resistivity of copper deposits have been discussed. It is found that the film growth with 0.2ccm precursor flow rate become mass-transfer controlled up to Ar flow rate of 200sccm and pick-up rate controlled at a vaporizer above 1.0Torr reactor pressure. The surface-reaction controlled region from 155 to 225$^{\circ}C$ at 0.6Torr reactor pressure results in the apparent activation energies of 12.7~14.1kcal/mol, and above 224$^{\circ}C$ the growth rate with $H_2$ addition could be improved compared to the pure Ar carrier. The Cu/RTP-TiN structures which have high copper nucleation density in initial stage of growth show more pronounced (111) preferred orientations and lower electrical resistivities than those on PVD-TiN. The variation of electrical resistivity with substrate temperature reflects the three types of film microstructure changes, showing the lowest value for the deposit at 165$^{\circ}C$ with small grains of good contacts.

• Weed & Turfgrass Science
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• v.5 no.4
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• pp.230-235
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• 2016

Miscanthus are perennial rhizomatous grasses and considered as an ideal cellulosic bioenergy crop. Recently, it was reported that Miscanthus was damaged by the larvae of rice stem borer, Chilo suppressalis Walker, one of the most destructive pests of rice in Korea since the 1960s. This study was thus conducted to evaluate the insecticidal effects against rice stem borer in the Miscanthus cultivation fields for two years. The experiment consisted of four chemical agent plots, one environment-friendly agent plot, and untreated plot. Untreated plot showed significantly high damage of 50%, while Buprofezin Tebufenozide and Carbosulfan Methoxyfenozide treatment plots showed low damage rate of 2% with low larvae density of 1 and $2.3larvae\;m^{-2}$, respectively. Damage rates of Tebufenozide, ChlorantraniliproleIndoxacarb, and environment-friendly agent(MatrineWood vinegar solution) were 15, 26, and 18%, respectively, which were lower than that of untreated plot but higher than those of Buprofezin Tebufenozide and Carbosulfan Methoxyfenozide. In conclusion, rice insecticides were effective against rice stem borer in Miscanthus field. In particular, the treatments with Buprofezin Tebufenozide and Carbosulfan Methoxyfenozide showed excellent control effects with control value of 93.3 and 95.2. However, further studies with different types of insecticides should be carried out for the selection of insecticides with more effective control of rice stem borer.

• Proceedings of the Korean Society for Bio-Environment Control Conference
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• 2001.04b
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• pp.100-102
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• 2001

본 연구에서는 온실의 난방에 사용되는 열풍식 난방기 등의 배기 연통에 부착하여 배출되는 가스로부터 열을 회수할 수 있는 장치를 개발함에 있어서 연통과 열회수 장치간의 열 교환 성능을 3가지 상이하게 설계된 열 교환 장치(Fig. 1 참조)에 대하여 실험적으로 비교 분석하였다. Fig. 1-(a)는 열 교회수기 개발을 위해 기존에 사용한 장치로서 회수용 공기의 흐름방향이 배기 연통과 직각을 이룬 형식이며, Fig. 1-(b) 및 (c)는 열 회수 성능 개선을 위해 새로 설계된 형식으로서 각각 열 교환 파이프의 배치형식이 상이하나 회수용 공기의 흐름방향이 180도로 굴곡되는 U-자형 흐름이 이루어지도록 하였다. 실험에 사용된 공기 순환 펜의 용량은 AB-형의 경우에는 최대 25㎥/min이고, C-형 및 D-형의 경우는 공히 최대 42㎥/min으로서 송풍전압 조절장치를 이용하여 풍량을 연속적으로 조절할 수 있도록 하였다. U-자형 흐름형식인 C-형 및 D-형의 경우 흐름 방향의 굴곡으로 인한 마찰저항이 있을 것으로 예상은 했으나 당초 예상했던 것에 비해 마찰 저항이 지나치게 큰 것으로 밝혀졌다. 비록 설계된 열교환 튜브의 배열형식별 열 교환기의 외부 모양이 달라 회수기의 표면을 통한 대류 열 교환이 다소 차이를 보일 것으로 예상되지만 본 연구에서는 열 회수장치에 내장된 열 교환 튜브부분만을 통한 열 회수율을 중심으로 형식간의 성능을 비교하였다. 실험을 통하여 측정된 자료중 대표적인 예는 Fig-2와 같으며, 측정자료를 기준으로 분석된 열회수 성능에 대한 설계형식별 비교 결과는 Table-1과 같으며, 분석된 결과를 요약하면 다음과 같다: 1. AB-형 열회수시스템의 경우, 초기 투자비용과 현재의 농용 전력요금 하에서 에너지 절감규모를 비교하면, 대체로 1년을 전후하여 투자에 대한 보상이 충분히 가능할 것으로 판단된다. 2. C-형 및 D-형 열회수시스템의 경우, 열 회수용 공기의 흐름방향이 동일 공간내에서 180도 굴절됨으로서 저항이 크게 발생되어 송풍 펜의 전압 증가에 따른 유속증가가 미미하였으며, 굴절형의 열교환장치는 비록 열교환면적은 직선형과 유사하더라도 송풍 펜의 공기저항이 커져서 결국 열 회수성능이 기대했던 것만큼 크게 개선되지는 못했다. 3. 송풍펜의 용량은 AB-형에 사용된 용량인 25㎥/min 전후가 적절할 것으로 판단되며, 적정 송풍 펜용량 하에서 열 회수성능은 굴절형이 직선형보다 효과적인 것으로 나타났다. 다만, 곡선형은 물론 직선형에서도 열교환 튜브의 배치밀도, 튜브 길이 및 두께 등의 변화에 따른 최적화 연구가 수반되어야 할 것으로 판단된다.

• Journal of the Mineralogical Society of Korea
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• v.32 no.3
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• pp.201-211
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• 2019

The particle size and crystallinity of fault gouge generally decreases with slip. Phyllosilicates including talc are known to be present in fault gouge and play an important role in fault weakening. In particular, the coefficient of friction varies depending on the presence of a water molecule on the surface of mineral. The purpose of this study is to investigate the effect of talc on fault weakening by changing the water content and dehydration behavior of talc before and after grinding, which systematically varied particle size and crystallinity using high energy ball mill. Infrared spectroscopy and thermal analysis show that the as-received talc is hydrophobic before grinding and the water molecule is rarely present. After grinding up to 720 minutes, the particle size decreased to around 100 ~300 nm, and in talc, where amorphization proceeded, the water content increased by about 8 wt.% and water molecule would be attached on the surface of talc. As a result, the amount of vaporized water by heating increased after grinding. The dihydroxylation temperature also decreased by ${\sim}750^{\circ}C$ after 720 minutes of grinding at ${\sim}950^{\circ}C$ before grinding due to the decrease of particle size and crystallinity. These results indicate that the hydrophobicity of talc is changed to hydrophilic by grinding, and water molecules attached on the surface, which is thought to lower the coefficient of friction of phyllosilicates. The repeated slip throughout the seismic cycle would consistently lower the coefficient of friction of talc present in fault gouge, which could provide the clue to the weakening of matured fault.