본 연구는 LCD용 비정질 실리콘박막트랜지스터의 제조공정중 가장 중요한 식각 공정에서 각 박막의 특성에 맞는 습식 및 건식식각공정을 개발하여 소자의 특성을 안정시키고자 한다. 본 연구의 수소화 된 비정질 실리콘 박막 트랜지스터는 Inverted Staggered 형태로 게이트 전극이 하부에 있다. 실험 방법은 게이트전극, 절연층, 전도층, 에치스토퍼 및 포토레지스터층을 연속 증착한다. 스토퍼층을 게이트 전극의 패턴으로 남기고, 그 위에 n+a-Si:H 층 및 NPR(Negative Photo Resister)을 형성시킨다. 상부 게이트 전극과 반대의 패턴으로 NPR층을 패터닝하여 그것을 마스크로 상부 n+a-Si:H 층을 식각하고, 남아있는 NPR층을 제거 한다. 그 위 에 Cr층을 증착한 후 패터닝 하여 소오스-드레인 전극을 위한 Cr층을 형성시켜 박막 트랜지스터를 제조한다. 여기서 각 박막의 패터닝은 식각 공정으로 각단위 박막의 특성에 맞는 건식 및 습식식각 공정이 필요하다. 제조한 박막 트랜지스터에서 가장 흔히 발생되는 문제는 주로 식각 공정시 over 및 under etching 이며, 정확한 식각을 위하여 각 박막에 맞는 식각공정을 개발하여 소자의 최적 특성을 제공하고자한다. 이와 같이 공정에 보다 엄격한 기준의 건식 및 습식식각 공정 그리고 세척 등의 처리공정을 정밀하게 실시하여 소자의 특성을 확실히 개선 할 수 있었다.
사업자간의 협정이 법률상 명백하게 카르텔에 해당하는 경우에는 이를 엄격하게 규제하여야 할 것이나 이의 법률상 요건이 성숙되지 않은 경우에 이를 규제하는 것은 규제가 오히려 실패할 가능성이 있다는 점에서 카르텔의 성립요건 중 확인할 사항은 충분하게 확인하여야 할 것이고 법리에 보다 충실하게 적용하여 규제하여야 할 것이다. 또한 공모를 직접 입증할 수 없는 경우에도 단순하게 당해 시장에서의 공동행위 참여자의 시장점유율에 의한 경쟁제한성과 참여자 상호간의 경쟁제한성만의 요건 충족으로 위법성을 인정하는 것이 종래의 위법성 판단방법이었으나 시장에 따라 다양한 요소를 고려하는 것이 필요하며, 경제학적인 요소를 계량화한 법적 판단기준을 확립하는 것이 필요하다.
최근 정보통신산업의 발전에 따른 첨단 정보통신기기의 사용증가와 정밀제어기기, 연속공정기기의 증가는 이전의 고전적인 품질규제나 신뢰도 규정보다 더욱 엄격한 전력품질 관리기준을 요구하고 있으며, 또한 전력산업구조개편을 통한 경쟁체제 도입은 전력품질을 기반으로 한 전력거래와 계약을 요구하고 있다. 본 논문에서는 이러한 전력품질을 측정하기 위한 계측 장비들의 최근 기술 동향 및 새롭게 대두되고 있는 전력품질 모니터링 및 알고리즘에 대해 살펴본다. IEEE 1159표준을 중심으로 한 전력품질 표준에 대해 살펴보고 이를 측정하기 위한 소프트웨어와 알고리즘을 분석하도록 한다. 마지막으로 현재 (주)LG산전이 공동 개발하고 있는 전력품질 분석시스템과 소프트웨어의 구조와 기능에 대해 살펴보기로 한다.
미곡종합처리장 (RPC)에서 수행되고 있는 쇄미선별공정의 개선을 통해, 국내산 백미제품의 쇄립 혼입상태를 보다 더 정밀하게 관리하기 위한 기초 연구로서, 실험 결과를 바탕으로하여 국내 유통백미 제품의 등급판정에 사용할 수 있는 쇄립 기준을 결정하여 제시하였다. 연구결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 백미제품 중의 쇄립 허용 혼입율에 관한 우리나라의 규격은, 일본백미 1등 표준품의 기준 및 미국백미 1등급 제품의 기준에 비견될 정도였지만, 쇄립의 정의 자체는 엄격하지 않았다. 또한, 미국과 일본과는 달리, 쇄립 혼입율 차이에 따른 백미 제품의 등급 체제가 존재하지 않았다. 이러한 사실을 종합하여 일본과 미국의 규격과 비교했을 때, 쇄미 혼입에 관한 한 우리나라는 매우 관대한 규격을 적용하고 있다고 판단된다. 2. 국내 유통백미 제품의 경우, 완전립 길이의 3/4 이상인 낟알들이 차지하는 중량 구성비는 93.5%였다. 완전립 길이의 $\frac{1}{4}$∼1/3, 1/3∼$\frac{1}{2}$, $\frac{1}{2}$∼2/3 및 2/3∼$\frac{3}{4}$에 해당하는 길이를 가진 낟알들의 중량비는 각각 0.3, 2.8, 2.7 및 0.6%이어서, 쇄립들의 길이는 2.5mm를 중심으로 주로 분포되어 있었다. 쇄립 혼입정도에 따른 국내 유통백미 제품의 등급은 한국과 일본의 기준을 적용할 경우, 쇄립의 총량 면에서는 만족할만한 수준이었다. 그러나, 한국의 잔싸라기 기준, 일본의 이물 함유비 기준, 미국의 6호체 통과분 기준이 적용될 경우, 국내 유통백미 제품의 등급은 매우 불량하였다. 3. 거의 모든 RPC에서는 쇄미선별설비로 로타리 시프터를 채택, 사용하고 있었으며, 로타리시프터 사용상의 문제는 회전몸체를 지지하는 rod spring의 파손 등 구조와 관련된 것이었다. 로타리 시프터에 의한 쇄립의 선별과 제거정도는 만족할 만한 수준은 아니었다. 4. 국내 유통백미 완전립의 길이, 폭, 두께는 각각 5.02mm, 2.93mm, 2.03mm이었으며, 산물밀도와 천립중은 각각 745.3kg/m3 및 20.46g이었다. 5. RPC 백미제품의 품질경쟁력 향상을 유도하고자 현행 쇄미의 정의와 기준을 보다 강화하여 다음과 같은 쇄미 기준과 계급을 설정, 제시하였다. "완전립" - 길이가 3.75mm이상인 미립 "준완전립" - 길이가 2.5∼3.75mm인 미립 "쇄미" - 길이가 1.75∼2.5 mm인 미립 "이물" - 길이가 1.75mm이하인 미립.
SOFC는 사용되는 셀의 디자인에 따라 튜브형, 평판형으로 구분되어진다. 평판형의 경우에는 전해질 지지형(ESC), Anode 지지형(ASC) 및 금속 지지형(MSC)로 크게 나눌 수 있다. SOFC 스택은 이와 같은 셀과 밀봉재, 집전체, 분리판의 구성요소를 여러 장으로 적층하여 이루어진다. SOFC 발전시스템은 SOFC 스택과 EBOP, MBOP로 구성되는데, SOFC 발전시스템의 상용화를 위해 선행되어야 할 것은 스택의 안정적 출력 및 신뢰성 확보이다. 즉, 셀, 밀봉재, 분리판 및 집전체로 대변되는 구성요소들이 스택에 장착되었을 때 그 기능을 최대한 발휘하면서도 점진적 또는 급격한 품질저하가 발생되지 말아야 한다. 특히, 밀봉재의 경우 SOFC에 사용되는 연료와 공기의 혼합(Cross-over)을 방지하는 중요한 기능을 담당하고 있으며 여러 장 적층된 분리판의 전기적 단락을 방지해야 한다. 또한 SOFC의 특성상 $700^{\circ}C$ 이상의 고온에서 다른 구성요소와 화학적 반응이 없어야하고 열싸이클(Thermal cycle)을 견딜 수 있도록 충분한 기계적 강도가 보장되어야 하는 등 요구되는 품질기준이 엄격하다. SOFC의 밀봉재는 접합형(Brazing), 압착형(Compressive), 용융-고정형(Glass-ceramic)이 대표적으로 적용되고 있다. 이 중에서 Brazing 물질과 방법은 현재 활발히 연구가 수행 중에 있지만 범용적으로 사용되고 있지는 않은 상태이고 Compressive 밀봉재와 Glass-ceramic 밀봉재가 대면적 SOFC 스택에 사용되어 적용 가능성을 평가받고 있다. 본 연구에서는 SOFC 구성요소의 국산화를 추진하는 지경부과제의 결과물 중 (주)써모텍에서 개발한 Glass-ceramic 밀봉재(RC1) 단품에 대한 특성평가와 실제 단전지 평가를 통해 SOFC 스택 적용 가능성을 평가하였다. 밀봉재 단품에 대한 특성평가는 용융특성, 상분석, 열팽창계수 등의 물리적, 화학적 평가 외에 가스 누설 정도를 평가하는 기밀도 평가와 SOFC의 작동 온도인 $700^{\circ}C$와 상온 분위기를 주기적으로 인가하는 Thermal cycle 특성을 평가하였다. 셀을 한 장 사용하는 단전지(Unit cell) 평가는 RIST에서 자체 제작한 $100{\times}100mm^2$ 평판형 ASC 셀을 사용하여 수행하였으며, 밀봉재는 Dispensing 공정을 통해 구성되었다.
그동안 고분자계열 약액에 비하여 상대적으로 독성이 약한 시멘트 계열 약액이 환경에 미치는 영향을 경미하게 다루어졌으나 최근 일본에서 시멘트계열 약액을 사용한 공사현장에서 발암물질인 6가 크롬의 용출로 일본 건설성에서는 이에 대한 규정을 발효하고 시행하여 엄격히 관리하고 있으나 우리나라에서는 상대적으로 이에 대한 연구가 부족한 실정이다 본 연구에서는 다양한 현장조건에서의 시멘트계 그라우트재에서의 6가 크롬 용출특성을 파악하기 위해, 현장 배합비를 기초로 하여 다양한 현장조건에 따른 용출실험을 통하여, 시멘트계 그라우트재의 6가 크롬 용출 특성을 파악하였다. 먼저 원재료인 시멘트의 6가 크롬 함유량 실험을 한 결과 보통 포틀랜트 시멘트에서 22.1 mg/kg으로 다른 재료에 비해 가장 많이 함유되어 있었으며, 호모겔 그리고 샌드겔에서의 용출실험 결과 폐기물 공정시험법에 의할 경우 규제기준인 1.5 kg/L를 대체적으로 만족하였으나, 토양오염공정시험법에 의할 경우 특히 보통 포틀랜트 시멘트가 4.85 mg/kg으로 ‘가’ 지역의 우려기준인 4 mg/kg보다 높은 값을 나타내었다. 모의 주입장치를 이용한 실험결과 물시멘트 비와 주입압이 증가함에 따라 몰드 밖으로 나오는 배출액 중의 6가 크롬의 용출량이 커지는 경향을 나타내었으며, 주입압이 4 이상일 경우 수질오염보전법상의 규정인 0.5 mg/L를 초과하여 검출되었다. 최근 pH4의 산성비 및 매립지의 산생성 단계에서 pH 5이하의 침출수에 의한 그라우트재에서의 6가 크롬의 용출특성을 알아보기 위한 pH에 따른 6가 크롬의 용출경향을 실험한 결과 강산성 및 강염기 상태에서 6가 크롬의 용출량이 급격히 증가하는 경향을 보여 그라우트재가 주입되는 환경에 따라 6가 크롬의 용출량이 증가할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 또한 그라우트재가 해안 또는 매립지에 적용될 경우 해수와 침출수에 의한 강도의 변화를 살펴보기 위해 실험한 결과 초순수 중에서 양생 시켰을 때 보다 강도발현 현저히 저하되었으며, 시멘트 종에 따라서는 ‘보통포틀랜트 시멘트>마이크로 시멘트>슬래그’ 시멘트의 순으로 영향을 받는 것으로 나타났다. 이는 강도의 저하로 인한 오염물질의 누출 및 6가 크롬의 용출을 증가시킬 수 있다는 것을 짐작할 수 있다. 이와 같은 결과를 통하여, 그라우트재의 종류에 따라 6가 크롬의 용출량은 현재 규제치를 초과하여 용출되어 질 수 있는 가능성이 있으며, 과압 또는 과량의 주입이 6가 크롬의 용출량을 증가시킬 수 있다고 할 수 있었다. 또한 일반 현장과 다른 특수한 현장에서는 강도 및 pH에 따른 6가 크롬의 용출량을 고려한 재료 선택 및 배합비가 마련되어져야 할 것으로 판단되어진다.
치과의료 종사자의 연봉제 도입에 대한 의식 고찰을 통하여 연봉제에 대한 바람직한 방향 설정과 활성화 방안을 모색하는 계기를 마련하고자 문헌과 자료를 조사하고, 전국 치과 병, 의원에 종사는 구성원 95명을 대상으로 2002년 4월부터 8월까지 약 5개월 동안 설문조사를 실시하여 분석한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 근무하는 병원의 형태에 따라 연봉제에 대한 인식을 살펴본 결과, 치과병원의 종사자가 치과의원의 종사자보다 연봉제 실시로 인한 경영참여의식(p<.001)과 업무생산성의 향상(p<.01), 목표달성에 대한 사명감(p<.01), 장래에 대한 불안감(p<.05)에 대해 더 높은 인식을 보였다. 2. 연봉제에 대한 치과의사와 치과위생사의 인식을 살펴본 결과, 치과의사가 치과위생사보다 연봉제 실시로 인한 성과평가의 공정성(p<.01)과 능력발휘 풍토변화(p<.01), 업무생산성의 향상(p<.001), 목표달성에 대한 사명감(p<.001), 그리고 연봉제에 대해 높은 인식(p<.01)을 보이고 있음을 알 수 있다. 3. 근무경력에 따라 연봉제에 대한 인식을 살펴본 결과, 근무경력이 오래될수록 업무의 엄격성 강화정도(p<.05)와 단기 업적주의 치중 가능성(p<.05)에 대해 높은 인식을 보였으며, 3~5년 종사자가 다른 종사자보다 근무시간의 변화(p<.01)에 대해 높은 인식을 보였고, 2년 이하의 종사자가 연봉제에 대해 가장 높은 인식(p<.05)을 보이고 있음을 알 수 있다. 4. 연봉제가 성과를 거두기 위한 전제조건으로 평가결과의 공정성이 전제되어야 한다고 인식하는 치과의료 종사자가 31.6%로 가장 많았으며, 다음으로 노사 상호간의 이해와 신뢰구축 26.3%, 연봉제의 구성원들에 대한 긍정적인 태도 16.8%, 연봉제에 대한 최고경영자(주체)의 확고한 신념 12.3%, 연봉산정의 기준이 되는 목표치의 달성가능 10.5% 순으로 나타났다. 또한 치과의원 종사자가 치과병원 종사자보다 연봉제가 성과를 거두기 위해서는 연봉제의 구성원에 대한 긍정적인 태도(p<.05)가 전제되어야 한다고 인식하였고, 치과의사가 치과위생보다 연봉산정의 기준이 되는 목표치의 달성가능(p<.001)이 전제되어야 한다고 인식하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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