Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.13
no.7
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pp.1393-1398
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2009
Conventionally, etching is first considered for microelectronics fabrication process and is specially important in process of a-Si:H thin film transistor for LCD. In this paper, we stabilize properties of device by development of wet and dry etching process. The a-Si:H TFTs of this paper is inverted staggered type. The gate electrode is lower part. The gate electrode is formed by patterning with length of 8 ${\mu}$m${\sim}$16 ${\mu}$m and width of 80${\sim}$200 ${\mu}$m after depositing with gate electrode (Cr) 1500 ${\AA}$under coming 7059 glass substrate. We have fabricated a-SiN:H, conductor, etch-stopper and photo resistor on gate electrode in sequence, respectively. The thickness of these thin films is formed with a-SiN:H (2000 ${\mu}$m), a-Si:H(2000 ${\mu}$m) and n+a-Si:H (500 ${\mu}$m), We have deposited n-a-Si:H, NPR(Negative Photo Resister) layer after forming pattern of Cr gate electrode by etch-stopper pattern. The NPR layer by inverting pattern of upper gate electrode is patterned and the n+a-Si:H layer is etched by the NPR pattern. The NPR layer is removed. After Cr layer is deposited and patterned, the source-drain electrode is formed. In the fabricated TFT, the most frequent problems are over and under etching in etching process. We were able to improve properties of device by strict criterion on wet, dry etching and cleaning process.
사업자간의 협정이 법률상 명백하게 카르텔에 해당하는 경우에는 이를 엄격하게 규제하여야 할 것이나 이의 법률상 요건이 성숙되지 않은 경우에 이를 규제하는 것은 규제가 오히려 실패할 가능성이 있다는 점에서 카르텔의 성립요건 중 확인할 사항은 충분하게 확인하여야 할 것이고 법리에 보다 충실하게 적용하여 규제하여야 할 것이다. 또한 공모를 직접 입증할 수 없는 경우에도 단순하게 당해 시장에서의 공동행위 참여자의 시장점유율에 의한 경쟁제한성과 참여자 상호간의 경쟁제한성만의 요건 충족으로 위법성을 인정하는 것이 종래의 위법성 판단방법이었으나 시장에 따라 다양한 요소를 고려하는 것이 필요하며, 경제학적인 요소를 계량화한 법적 판단기준을 확립하는 것이 필요하다.
최근 정보통신산업의 발전에 따른 첨단 정보통신기기의 사용증가와 정밀제어기기, 연속공정기기의 증가는 이전의 고전적인 품질규제나 신뢰도 규정보다 더욱 엄격한 전력품질 관리기준을 요구하고 있으며, 또한 전력산업구조개편을 통한 경쟁체제 도입은 전력품질을 기반으로 한 전력거래와 계약을 요구하고 있다. 본 논문에서는 이러한 전력품질을 측정하기 위한 계측 장비들의 최근 기술 동향 및 새롭게 대두되고 있는 전력품질 모니터링 및 알고리즘에 대해 살펴본다. IEEE 1159표준을 중심으로 한 전력품질 표준에 대해 살펴보고 이를 측정하기 위한 소프트웨어와 알고리즘을 분석하도록 한다. 마지막으로 현재 (주)LG산전이 공동 개발하고 있는 전력품질 분석시스템과 소프트웨어의 구조와 기능에 대해 살펴보기로 한다.
Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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2002.02a
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pp.269-275
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2002
미곡종합처리장 (RPC)에서 수행되고 있는 쇄미선별공정의 개선을 통해, 국내산 백미제품의 쇄립 혼입상태를 보다 더 정밀하게 관리하기 위한 기초 연구로서, 실험 결과를 바탕으로하여 국내 유통백미 제품의 등급판정에 사용할 수 있는 쇄립 기준을 결정하여 제시하였다. 연구결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 백미제품 중의 쇄립 허용 혼입율에 관한 우리나라의 규격은, 일본백미 1등 표준품의 기준 및 미국백미 1등급 제품의 기준에 비견될 정도였지만, 쇄립의 정의 자체는 엄격하지 않았다. 또한, 미국과 일본과는 달리, 쇄립 혼입율 차이에 따른 백미 제품의 등급 체제가 존재하지 않았다. 이러한 사실을 종합하여 일본과 미국의 규격과 비교했을 때, 쇄미 혼입에 관한 한 우리나라는 매우 관대한 규격을 적용하고 있다고 판단된다. 2. 국내 유통백미 제품의 경우, 완전립 길이의 3/4 이상인 낟알들이 차지하는 중량 구성비는 93.5%였다. 완전립 길이의 $\frac{1}{4}$∼1/3, 1/3∼$\frac{1}{2}$, $\frac{1}{2}$∼2/3 및 2/3∼$\frac{3}{4}$에 해당하는 길이를 가진 낟알들의 중량비는 각각 0.3, 2.8, 2.7 및 0.6%이어서, 쇄립들의 길이는 2.5mm를 중심으로 주로 분포되어 있었다. 쇄립 혼입정도에 따른 국내 유통백미 제품의 등급은 한국과 일본의 기준을 적용할 경우, 쇄립의 총량 면에서는 만족할만한 수준이었다. 그러나, 한국의 잔싸라기 기준, 일본의 이물 함유비 기준, 미국의 6호체 통과분 기준이 적용될 경우, 국내 유통백미 제품의 등급은 매우 불량하였다. 3. 거의 모든 RPC에서는 쇄미선별설비로 로타리 시프터를 채택, 사용하고 있었으며, 로타리시프터 사용상의 문제는 회전몸체를 지지하는 rod spring의 파손 등 구조와 관련된 것이었다. 로타리 시프터에 의한 쇄립의 선별과 제거정도는 만족할 만한 수준은 아니었다. 4. 국내 유통백미 완전립의 길이, 폭, 두께는 각각 5.02mm, 2.93mm, 2.03mm이었으며, 산물밀도와 천립중은 각각 745.3kg/m3 및 20.46g이었다. 5. RPC 백미제품의 품질경쟁력 향상을 유도하고자 현행 쇄미의 정의와 기준을 보다 강화하여 다음과 같은 쇄미 기준과 계급을 설정, 제시하였다. "완전립" - 길이가 3.75mm이상인 미립 "준완전립" - 길이가 2.5∼3.75mm인 미립 "쇄미" - 길이가 1.75∼2.5 mm인 미립 "이물" - 길이가 1.75mm이하인 미립.
SOFC는 사용되는 셀의 디자인에 따라 튜브형, 평판형으로 구분되어진다. 평판형의 경우에는 전해질 지지형(ESC), Anode 지지형(ASC) 및 금속 지지형(MSC)로 크게 나눌 수 있다. SOFC 스택은 이와 같은 셀과 밀봉재, 집전체, 분리판의 구성요소를 여러 장으로 적층하여 이루어진다. SOFC 발전시스템은 SOFC 스택과 EBOP, MBOP로 구성되는데, SOFC 발전시스템의 상용화를 위해 선행되어야 할 것은 스택의 안정적 출력 및 신뢰성 확보이다. 즉, 셀, 밀봉재, 분리판 및 집전체로 대변되는 구성요소들이 스택에 장착되었을 때 그 기능을 최대한 발휘하면서도 점진적 또는 급격한 품질저하가 발생되지 말아야 한다. 특히, 밀봉재의 경우 SOFC에 사용되는 연료와 공기의 혼합(Cross-over)을 방지하는 중요한 기능을 담당하고 있으며 여러 장 적층된 분리판의 전기적 단락을 방지해야 한다. 또한 SOFC의 특성상 $700^{\circ}C$ 이상의 고온에서 다른 구성요소와 화학적 반응이 없어야하고 열싸이클(Thermal cycle)을 견딜 수 있도록 충분한 기계적 강도가 보장되어야 하는 등 요구되는 품질기준이 엄격하다. SOFC의 밀봉재는 접합형(Brazing), 압착형(Compressive), 용융-고정형(Glass-ceramic)이 대표적으로 적용되고 있다. 이 중에서 Brazing 물질과 방법은 현재 활발히 연구가 수행 중에 있지만 범용적으로 사용되고 있지는 않은 상태이고 Compressive 밀봉재와 Glass-ceramic 밀봉재가 대면적 SOFC 스택에 사용되어 적용 가능성을 평가받고 있다. 본 연구에서는 SOFC 구성요소의 국산화를 추진하는 지경부과제의 결과물 중 (주)써모텍에서 개발한 Glass-ceramic 밀봉재(RC1) 단품에 대한 특성평가와 실제 단전지 평가를 통해 SOFC 스택 적용 가능성을 평가하였다. 밀봉재 단품에 대한 특성평가는 용융특성, 상분석, 열팽창계수 등의 물리적, 화학적 평가 외에 가스 누설 정도를 평가하는 기밀도 평가와 SOFC의 작동 온도인 $700^{\circ}C$와 상온 분위기를 주기적으로 인가하는 Thermal cycle 특성을 평가하였다. 셀을 한 장 사용하는 단전지(Unit cell) 평가는 RIST에서 자체 제작한 $100{\times}100mm^2$ 평판형 ASC 셀을 사용하여 수행하였으며, 밀봉재는 Dispensing 공정을 통해 구성되었다.
The aim of research is the evaluation of the $Cr^{6+}$ emission features of the liquid injection through emission experiments in varying conditions, based on a field-mixing ratio. The results showed that the content of $Cr^{6+}$ content in cement measured had an Ordinary Potland Cement (OPC) of 25.3 mg/kg, which constitute the largest portion among the other materials. Likewise, the emission experiment of homo-gel and sand-gel generally satisfied the standard of KSLT (Korea Standard Leaching Test) in waste of 1.5 mg/L, but in case of the standard of KSLT in soil the emission of OPC $Cr^{6+}$ of 4.85 mg/kg. These conditions is a little exceeded the criteria in the ‘Ga’ area in terms of Korea Soil Environmental Preservation Law. In addition, results generated by the mock-up injection facilities revealed that $Cr^{6+}$ emission increased as Water/Cement and injection pressure increased. At injection pressure higher than 4 kg/㎤, $Cr^{6+}$ emission exceeded the water preservation standard of 0.5 mg/L. Similarly, a pattern experiment of C $r^{6+}$ emission according to pH was conducted, in order to evaluate the $Cr^{6+}$ emission features of grout materials in leachate below pH 5 such as pH 4 acid rain or landfill. Results show that $Cr^{6+}$ emission dramatically increased in high acidic or basic state. It indicates that $Cr^{6+}$ emission will probably increase in an environment where grout materials are injected. On the other hand, concentration of leachate was determined in areas where grout materials are used. The results show that the concentration of emission in an ultra purity condition does not manifest intensity, and is affected in the OPC>MC>SC order. It means that the pollutants or $Cr^{6+}$ emission increases with decreasing concentration. As such, $Cr^{6+}$ emission will probably exceed the countermeasure criteria according to the types of gout materials. Similarly, high pressure or injection will cause increased $Cr^{6+}$ emission. Therefore, the selection of materials or mixing ratio should be considered in general as well as according to specific industries, based on the strength and pH of $Cr^{6+}$ emission.
The purpose of this study was to examine how medical personnels in the field of dentistry perceived the introduction of the yearly income system in an effort to determine some of the right directions for that and find out in which way that could be vitalized. For that purpose, literature concerned and relevant materials were reviewed, and a survey was conducted on 95 medical personnels, who were working at dental hospitals and clinics throughout the nation, for approximately five months from April through August 2002. After the collected data were analyzed, the following findings were acquired; (1) Regarding their awareness of the yearly income system by the type of institute, the workers from the dental hospitals found the yearly income system, more than the others from the dental clinics did, to enlarge their sense of involvement in management (p<.001), further work productivity(p<.01), awake their target-oriented sense of mission(p<.01) and make them feel uneasy about their future(p<.05). (2) As to differences between the dentists and dental hygienists, the former group had a higher opinion about that system(p<.01) and its effect on impartial performance appraisal(p<.01), encouraging medical personnels to deploy their abilities(p<.01), furthering work productivity(p<.001), intensifying a target-oriented sense of mission(p<.001). (3) Concerning their perception by career, those who had longer experience to work in that field considered it to strengthen work severity(p<.05) more than the others who had shorter experience did, and the former group thought that system was more likely to concentrate on a short-term achievement (p<.05). The workers who had been working for three to five years were more conscious of change in office hours (p<.01), and those who had been working for two or less years viewed that system most favorably(p<.05). (4) In order for that system to be successful, impartial performance appraisal was most widely called for(31.6%), followed by trust between labor and management(26.3%), worker's positive attitude toward that system(16.8%), CEO's firm belief in that(12.3%), and setting up a feasible target. The workers from the dental hospitals put more stress on medical personnel's favorable attitude toward that system(p<.05) than the others from the dental clinics did. And the dentists placed more stock in setting up a feasible target, which was a criteria of determining the amount of annual income, than the dental hygienists did.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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