• Title/Summary/Keyword: 압력 조절 장치

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The properties of diamond-like carbon(DLC) films prepared using ECR-PECVD and its dependence on deposition parameers

  • 손영호;박노길;박형국;정재인;김기홍;배인호;김인수;황도원
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.47-47
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    • 1999
  • 2.45 GHz 마이크로웨이브를 이용하는 electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition(ECR-PECVD)방법으로 다이아몬드성 탄소박막(diamond-like carbon, DLC)을 증착하였다. DLC 박막의 산업 응용을 위해서는 높은 경도와 밀착력이 필요하다. 그래서 본 실험에서는 DLC 박막의 산업 응용을 위하여 ECR-PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 분석결과로부터 DLC 박막의 물성과 증착조건의 관계를 조사하였다. 기판으로는 실리콘 웨이퍼와 실험용 SUS 판을 사용하였다. 아르곤 가스를 주입하여 ECR 마이크로 웨이브 플라즈마와 negative DC bias로 기판을 플라즈마 세척한 후, 수소와 메탄가스를 반응기체로 하여 DLC 박막을 증착하였다. 박막 증착시에 13.56MHz RF 전원 공급장치로 기판에 전원을 공급하였다. DLC 박막 증착의 변수는 반응기체의 호합율, 마이크로웨이브 파워, 프로세스 압력 및 RF 전원공급장치에서 유도되는 negative self DC bias 등이다. 이때 사용된 반응기체의 혼합율(메탄/수소)은 10~50%이고, 수소 가스 흐름율은 100sccm, 메탄은 10~50sccm이다. 마이크로웨이브의 크기는 360~900W, negative self DC bias는 -500~-10 V였다. 그리고 본 실험에서는 높은 증착율을 고려하여 프로세스 압력을 10~30mTorr까지 조절하였다. ER-PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막은 SEM으로 단면, $\alpha$-Step으로 두께, Raman 분광계로 탄소 결합구조, FTIR 분광계로 탄소와 수소 결합구조, Micro-Hardness로 경도 그리고 Scratch Tester로 밀착력 등을 분석하였다.

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Study on Characteristics of Vacuum Cooling for Agriculture Products (농산물의 진공예냉 특성에 관한 연구)

  • Lee, W.O.;Yun, H.S.;Chung, H.;Lee, H.D.;Cho, K.H.;Lee, K.H.
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.202-208
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    • 2002
  • 진공냉각장치의 효율적인 설계를 위하여 파일럿 규모의 진공냉각장치에서 진공압력에 따른 작물별 냉각특성과 운전조작에 따른 냉각특성을 구명하는 요인실험을 실시한 결과 가. 배추와 같이 조밀하게 결구되어 있는 작물은 프레시 포인트로부터 습구온도와 품온에 따라 진공압을 조절함으로서 표면과 심부의 온도편차를 줄일 수 있고 버섯, 상추와 같이 개체가 작은 작물은 진공압력에 따른 온도편차가 거의 나타나지 않았다. 나. 포장방법에 따른 냉각 특성에서는 무개공 및 개공율 5% 골판지상자, PE 상자, 6mm 통기공이 있는 필름 포장에서의 냉각속도는 유사한 경향을 나타냈으나 0.8mm의 통기공을 가지고있는 필름 포장에서는 냉각속도가 현저히 낮게 나타나 필름 포장을 했을 경우 최소 개공율의 구명이 필요한 것으로 나타났다. 다. 예냉전 농산물 표면에 가수를 했을 경우 배추와 같은 결구성 농산물은 감모율 저하에는 효과적이었으나 무가수에 비해 냉각균일도와 냉각속도가 낮게 나타났으며 버섯에서는 감모율 저하 및 냉각속도 향상에 효과가 있는 것으로 나타났다.

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Production of Ag Nanopowders using Discharge Plasma (방전 플라즈마를 이용한 은(Ag) 나노분말의 제조)

  • 정용훈;김종수;이홍식;임근희
    • Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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    • 2003.04a
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    • pp.34-34
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    • 2003
  • 전기설()폭발(Electric Wire Explosion)법은 고밀도 전류를 금속와이어에 인가시키면 저항 발열에 의해서 금속와이어가 빠르게 가열되고, 수$\mu$sec 이내에 초기체적에 비해 2~3배나 팽창한 후 폭발하는 현상을 이용하여 나노분말을 제조하는 방법으로써, 다른 제조방법에 비해 값싼 비용으로 1~50$\mu$sec의 짧은 시간동안 극히 높은 온도($10^4~10^6K$)에 도달하기 때문에, 와이어 전체가 동시에 기화하여 원재료의 조성을 갖는 분말의 합성이 가능하며, 공급되는 에너지와 시간, 챔버의 용적과 압력을 제어함으로써 평균 분말 크기를 조절할 수 있다는 잇점이 있다. 또한, 금속 와이어 주위의 분위기를 조절함으로써 금속나노분말뿐만 아리나 산화물$\cdot$질화물$\cdot$탄화물 분말, 합금 분말, 화학적 화합물이나 복합재료 나노분말들을 만들 수 있어서 여러 산업분야에 대한 응용이 크게 기대되고 있다. 본 연구에서는 전기선()폭발 챔버(Fig. 1) 와 최대 20kV까지 제어 가능한 고출력 펄스 전원장치를 자체 제작하고, 이를 이용하여 은(Ag)나노분말 합성에 대한 실험을 행하였다. 이렇게 제조된 분말은 SEM, XRD, PSA, BET 등을 이용하여 비교분석 하였다.

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밀봉수주입 열교환기의 비정상 열전달 특성

  • 장근선;진승령;손용수
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1995.10a
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    • pp.352-357
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    • 1995
  • 원자력발전소 화학 및 체적제어계통의 일부인 밀봉수주입계통은 원자로 냉각재펌프 밀봉장치로 일정한 온도 범위의 밀봉수를 공급하여 밀봉장치의 건전성 및 원자로 냉각재 계통의 압력경계를 유지한다. 그러나 발전소 과도상태시 밀봉수 주입온도가 허용범위를 벗어나게 되면 온도조절기 폐쇄신호에 의해 밀봉장치로의 밀봉수 주입이 차단될 수 있다. 본 연구에서는 발전소 과도시에도 밀봉수 주입이 지속적으로 가능한 설계개선 방안으로 밀봉수주입 열교환기 주위에 우회라인을 설치하는 방안을 제시하고 밀봉수주입 열교환기 내에서의 비정상 열전달 현상을 수치해석을 이용하여 분석하였다. 계산은 속도장을 정상 상태인 power-law분포로 가정하고 시간 t=0에서 입구온도가 급격히 변하는 과도시 우회 유량 및 시간 변화에 대한 온도분포, 국부 Nusselt 수, 평균온도 등을 구하였다.

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Performance Improvement of Clutch Actuating Hydraulic Control System at Semi-Automatic Transmission for Construction Vehicles (건설차량용 반자동 변속기 유압제어계의 성능 개선)

  • 이일영;윤소남;양경욱;이덕규
    • Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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    • v.4 no.3
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    • pp.10-21
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    • 1996
  • In this study, as a strategy to improve shift characteristics, the authors developed a new style pressure modulator which can reduce shock torque during power shift by modulating the pattern of pressure increase in the cylinder for actuating the clutch. The remarkable merits of this new pressure modulator lie in its structural simplicity and durability, because the modulator is only composed of a poppet type valve and a few orifices. The usefulness of the new pressure modulator is confirmed by experiments and numerical analyses on a clutch control hydraulic system simplified for easy test. Also, the excellency of the transmission with the new pressure modulator is verified by experiments on a test bench for simulating the running power train of an excavator.

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Study on the blanking characteristics for smooth edged blanks by conventional hydraulic press (범용 유압 프레스에서의 파인 블랭킹 가공 특성에 관한 연구)

  • 최지수;김종호;류제구;정완진
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1994.10a
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    • pp.757-762
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    • 1994
  • 본 연구에서는 정밀진단가공을 위한 파인 블랭킹 기술 개발을 위한 파인 블랭킹용 전용 프레스를 사용 하지 않고 범용 유압 프레스에서 조보 유압 장치에 의해 압력을 조절해가면서 가공특성에 관한 실험적 연구와 이론 해석을 수행한다. 실험을 위해 파인 블랭킹 금형과 유압 장치를 설계 제작하고, 정밀진단 특성에 제일 큰 영향을 미치고 있는 V-돌기( Vee-ring)의 유무와 위치 그리고 스트리핑력 및 카운터 펀 칭력 변화에 따른 제품 정밀도를 조사해 가면서 최적의 정밀도 예측 수단으로 적절함을 확인할 수 있었으며, 실험결과는 작업 조건에 관계없이 모든 제품이 깨끗한 전단면을 나타내고 있으며, 일반적으로 스트리핑력이 감소할수록, 그리고 카운터 펀칭력이 증가할수록 캠버량이 감소하고 특히 카운터 펀칭력에 큰 영향을 받고 있음을 알 수 있었다. 이와같은 현상은 유한 요소해석에 의한 캠버량의 예측에섣고 정성적으로 잘 일치하고 있는 것으로 나타났다.

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Fault Diagnosis for High Pressure Turbine Valve using Fuzzy Logic (퍼지 논리를 이용한 원자력 발전소 고압터빈 밸브 고장진단)

  • Kim Yeon-Tae;Jeong Byeong-Uk;Baek Gyeong-Dong;Kim Seong-Sin
    • Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.79-82
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    • 2006
  • 본 논문은 원자력 발전소의 주요 제어계통 중에서 터빈 조속기 제어계통에 관련한 성능평가를 목적으로 한다. 터빈 조속기 계통은 고압의 유압계통으로 구성되어 있어 구동설비가 복잡하다. 복잡한 기계설비는 운전 중 많은 오동작에 의한 고장을 일으키고, 유지보수에 어려움이 있다. 이러한 복잡한 기계설비에 있어 운전원에 의한 기계성능 평가는 불리한 점이 많다. 예를 들어 서로 다른 시간에서 일어나는 같은 상황에 대해 다른 판단을 내릴 수 있다는 점이다. 터빈 조속기 계통의 기계설비에 있어서 터빈 밸브 유압공급 및 구동장치는 각 터빈벨브 자체에 부착되어 있어 터빈벨브를 동작시킨다. 터빈벨브들은 구동기 유압 서보실린더(Actuator Hydraulic Servo Cylinder)에 의해 열리고 압축된 스프링에 의해 닫힌다. 이러한 시스템을 진단하기 위해서 본 논문에서는 밸브의 내부 압력의 특징정보를 입력으로 하는 퍼지이론을 적용하여 터빈 밸브 구동설비의 성능을 판단하고자 한다. 퍼지이론에 적용하기위해 터빈 조속기 제어계통의 고압 터빈 조절 벨브와 고압 터빈 정지 밸브의 압력변화 데이터를 이용한다. 퍼지이론의 적용과정에서 퍼지 Rule은 실제 운전원이 압력변화 데이터에 대한 판단기준을 근거로 하여 정하기로 한다. 그리고 퍼지이론에 적용한 결과를 분석하고 실제 터빈 조속기 계통의 전문가가 판단 결과와 비교하였다.

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냉음극 변압기 플라즈마와 액체 소스를 이용한 p-SiO2 박막 증착

  • No, Gang-Hyeon;Park, Dong-Gyun;Song, Hyo-Seop;Park, Yong-Ho;Sin, Ju-Yong;Lee, Je-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.129-129
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    • 2011
  • 냉음극 변압기 전원 소스를 이용하여 저진공에서 플라즈마를 발생시키는 시스템을 개발하였다. 또한 이 장치를 이용하여 도핑된 산화막 증착 기술을 연구하였다. 이 때 도핑 전구체는 액체 소스였으며 이를 기화시켜 사용하였다. 특히 p 타입이 도핑된 이산화규소 박막 증착을 상온에서 실시하였다. 공정 압력은 400~1,000 mT였으며, 전압은 약 1,100~2,100 V 범위에서 조절하였다. 증착된 박막은 박막 두께와 홀 측정을 실시하였다. 홀 측정을 위한 인듐 금속 접합을 400 C에서 실시하였다. 결과를 요약하면, 플라즈마 공정 압력이 400에서 1,000 mTorr로 증가함에 따라 박막 증착 속도는 약 240~440 ${\AA}$/min이었다. 또한 증착된 p-SiO2의 벌크 농도는 같은 압력 증가에 따라 약 $1.2{\times}10^{19}$에서 $6.5{\times}10^{18}/cm^3$으로 절반 정도 감소하였다. 그에 따라 도핑된 산화막의 비저항은 $~1.4{\times}10^{-3}$에서 $2.5{\times}10^{-3}{\Omega}{\cdot}cm$로 증가하였다. 홀 이동도는 약 380~400 $cm^2/V{\cdot}s$를 유지하였다. 또한 전압이 1,100 에서 2,100 V로 증가함에 따라 산화막의 증착 속도는 약 330에서 410 ${\AA}$/min으로 증가하였다. 그러나 전압이 증가해도 벌크 농도는 약 8,9~$6.6{\times}10^{18}/cm^3$의 범위였다. 보다 자세한 결과는 발표를 통해 설명할 것이다.

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A Study on the Performance of Ramp Tabs Asymmetrically Installed in the Supersonic Nozzle Exit (초음속 노즐 출구에 비대칭적으로 설치한 램프 탭의 성능 연구)

  • Kim, Kyoung-Rean;Ko, Jae-Myoung;Park, Jong-Ho
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.35 no.10
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    • pp.934-939
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    • 2007
  • Thrust vector control(TVC) is the method which generates the side force and moment by controlling the exhausting gas directly from the supersonic nozzle to change the trajectory of a missile quickly. In this paper, performance study on the tapered ramp tabs asymmetrically installed in the supersonic nozzle exhaust for the thurst vector control has been carried out using the supersonic cold flow system. To study the shock wave structure and location of the oblique shock wave produced by the ramp tab, the flow field visualization using the schlieren system is conducted. This paper provides the thrust spoilage, three directional forces and moments and distribution of surface pressure on the region enclosed by the tapered ramp tabs.

A Parametric Study on Double-Slit-Type Rupture Disc of Pulse Separation Device (펄스분리장치의 이중 슬릿형 파열판 매개변수 연구)

  • Han, Houk-Seop;Cho, Won-Man;Lee, Won-Bok;Koo, Song-Hoe;Lee, Bang-Eop
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.14 no.5
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    • pp.101-110
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    • 2010
  • Dual pulse rocket motor is a solid motor with two grains separated by a bulkhead and rupture disc. The elasto-plastic explicit dynamic analysis for the rupture disc was conducted by finite element method. The effect of the slit geometry of a rupture disc was parametrically analyzed in terms of rupture time and shape. The results can be used to control the rupture pressure by changing the slit geometry of rupture disc.