• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.71-71
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• 2015

반도체 및 디스플레이 소자 제조를 위한 진공 플라즈마는 다양한 공정 조건하에서 다양한 공정 가스의 물리화학적 반응에 의한 박막의 형석 및 식각 반응을 유도한다. 실 공정 하에서 기체 성분의 환경 조건에 의하여 박막층 및 식각 구조 형성에 심각한 영향이 발생할 수 있으며, 공정 조건에서 기체 압력을 완벽하게 컨트롤 하는 것은 현실상 불가능하므로 기체 부분압력이 실시간으로 반드시 모니터링 되고 이를 피드백으로 하여 압력 변수가 조정되어야 완벽하게 공정을 제어할 수 있다. 이를 위하여 현장에서 플라즈마 공정을 실시간 in-situ 모니터링 할 수 있는 다양한 진단 방법이 도입되고 있으며 접촉신 진단 방법은 플라즈마와 섭동으로 인한 교란을 유발하고, 이온에너지 측정의 한계가 존재하며 비접촉식 방법 중의 하나인 유도형광법(LIF)은 측정 물질의 제한으로 인하여 플라즈마 내에 존재하는 다양한 가스 종의 거동을 살필 수 없는 등 현실 적용 측면에서 실 공정에 적용하는데 단점이 존재한다. 공정 상태 및 RF에 의한 영향을 주고받지 않고, 민감한 공정 변화의 감지 및 혼합가스를 사용하는 실시간 공정 진단을 위하여 비접촉 광학 측정 방식인 발광 분광 분석법(optical emission spectroscopy, OES)이 각광받고 있으며, 본 강습에서는 분광학의 기본 개념 및 OES를 이용한 진공 플라즈마 진단 방법에 관한 전반적인 개요를 설명하도록 한다

• Composites Research
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• v.18 no.4
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• pp.1-7
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• 2005

In-situ structural health monitoring of filament wound pressure tanks were conducted during water-pressurizing test using embedded fiber Bragg grating (FBG) sensors. We need to monitor inner strains during working in order to verify the health condition of pressure tanks more accurately because finite element analyses on filament wound pressure tanks usually show large differences between inner and outer strains. Fiber optic sensors, especially FBG sensors can be easily embedded into the composite structures contrary to conventional electric strain gages (ESGs). In addition, many FBG sensors can be multiplexed in single optical fiber using wavelength division multiplexing (WDM) techniques. We fabricated a standard testing and evaluation bottle (STEB) with embedded FBG sensors and performed a water-pressurizing test. In order to increase the survivability of embedded FBG sensors, we suggested a revised fabrication process for embedding FBG sensors into a filament wound pressure tank, which includes a new protecting technique of sensor heads, the grating parts. From the experimental results, it was demonstrated that FBG sensors can be successfully adapted to filament wound pressure tanks for their structural health monitoring by embedding.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.11 no.2
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• pp.225-229
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• 2011

In this study, capacitive type pressure sensors based on low temperature co-fired ceramics (LTCC) technology for environmental monitoring were demonstrated. The LTCC is one of promising technology than is based one since it has many advantages (e.g., low cost production, high manufacturing yields and easy realizing 3D structure etc.) for sensor application. Especially, it has good mechanical and chemical properties for robust environmental application. The 3D LTCC diaphragm with thickness of 400 ${\mu}m$ were fabricated by laminating 4 green sheets using commercial powder (NEG, MLS 22C). To evaluate the sensing properties of the different cavity areas, two types of diaphragm which had different cavity areas with 25, 49 $mm^2$ respectively, were fabricated. To realize capacitive type pressure sensor, the Au top electrode was fabricated using thermal evaporator and the bottome electrode was compressed using aluminium foil. The sensing properties of the fabricated sensors showed linear characteristic under different pressure (0~30 psi) using pressure measurement system.

• Spatial Information Research
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• v.16 no.2
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• pp.263-278
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• 2008

Nowaday, local governments have planned to manage intelligent underground facilities through the u-City project. But, the intelligent underground facilities are in need of the progressive approach because of the required huge financial resources. Therefore, the objectives of this research are (1) to prioritize the monitoring items of sensing technology developments, (2) to study technological feasibilities, and (3) to discover the killer application which expands ripple effects on economy. To achieve these objectives, final monitoring items were derived from the business analysis of the water supply, the local government survey, the hearing expert opinions and so on. The priority order of final monitoring items were technology developments of (1) the flowmeter flux, (2) the water leakage/crack, (3) the pressure of water supply pipes, and (4) the flux of filtration plants. The research significance is obtained from the derivation and the evaluation of the priority order and the actual demand for the water supply facility management. And, the research results will contribute to the strategic planning for the underground facility intelligence.

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2012.07a
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• pp.411-412
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• 2012

본 논문에서는 인간의 가장 기본적이며 기초적인 운동인 걸음걸이로부터 검출할 수 있는 걸음 수 및 보행분석을 위해 전도성 섬유를 이용한 전기용량성압력 센서를 깔창형태로 개발하였다. 개발된 깔창 형태의 센서는 보행시의 압력을 측정하여 보행신호를 검출하고, 검출된 신호를 이용하여 걸음 수 및 보행 분석을 실시하였다. 개발된 센서의 성능 검증을 위하여 상용 만보계 및 관찰자의 수계로 도출된 보수를 비교하였으며, 자세에 따른 압력차이를 측정하였다. 기존의 상용 만보계는 저속(1 Km/h)으로 걸었을 때 보수가 잘 측정되지 않은 반면 개발된 센서는 저속에서도 관찰자 수계대비 정확한 보수를 도출 할 수 있었다. 또한 자세에 따라 압력 값을 토대로 사용자의 자세를 모니터링 할 수 있음을 보였다. 본 연구는 향후 스마트폰과 무선 연동하는 스마트 보행관리 시스템을 개발하기 위한 기초연구이다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.06a
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• pp.467-468
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• 2007

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2012.05a
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• pp.353-357
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• 2012

요즘 모든 분야에서 실세계의 상황정보 인지를 통해 전자공간과 물리공간을 결합할 수 있는 유비쿼터스 컴퓨팅의 기반 기술을 사용하여 센서와 무선 통신 기술을 결합한 무선 센서 네트워크에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있는 추세이다. 또한 선박에서도 유무선 기술을 융합하여 지능형 선박에 적합한 Ship Area Network(SAN) 연구가 진행되고 있으나, 다양한 유무선 네트워크 연동 SAN-브릿지 기술, 이종 센서, 제어기기를 자율적으로 구성관리하거나 상호연동, 원격제어 하는 자율 SAN 구성관리 기술 등의 필요성이 제기되고 있는 실정이다. 선박에서의 모니터링 분야인 구조적 안전과 화물 관리를 위한 모니터링 외에도 선원을 포함한 모든 주변 환경을 안전하게 유지하는 것이다. 이에 본 논문에서는 기후 변화에 대한 감지나 여러 구조물에 대한 온도, 압력 등의 모니터링 시스템을 효율적으로 설계하기 위해 무선 센서 네트워크에서의 에너지 효율을 이용한 라우팅 및 데이터 병합을 위한 기술 동향을 파악하고 자기 구성 클러스터링 방법을 분석하여 선내의 무선 센서 네트워크 구성에 대해 연구하였다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.14 no.4
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• pp.1568-1575
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• 2013

There has been an increasing interest in the market of vehicle maintenance and repair equipments to decrease air pollution. However, most of the existing air conditioning system equipment in Korea have poor performance as well as non-protection against air pollution. The purpose of this paper is to develop the monitoring technology of recovering and recharging refrigerant for air conditioning system, and also to develop its related diagnostic system. This technology and system can supply the exact amount of refrigerant from the charger to the air conditioning system by precisely diagnosing and monitoring their statuses. This technology can also control recovering and recharging of refrigerant exactly by altering the recovering pressures of refrigerant according to circumstance temperatures.

• 한국지구물리탐사학회:학술대회논문집
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• 2008.10a
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• pp.141-144
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• 2008

Geological storage of carbon dioxide has been studying in advanced countries to reduce greenhouse gases and a pilot site for geological storage is also in operation in the deep saline aquifer. Seismic wave and electrical resistivity tomography methods are applicable to monitoring techniques and they are used to evaluate the distribution range and behavior of the carbon dioxide injected in the porous sandstone formations. This paper describes the construction of an experimental apparatus which consists of a high pressure vessel and a measurement system for geological storage of carbon dioxide. The experiment apparatus will be used to measure seismic velocities and resistivities during the injection of carbon dioxide at the supercritical phase in the porous sandstones.

• The Journal of the Korea Contents Association
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• v.6 no.11
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• pp.310-316
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• 2006

Leakage of waterworks pipe line net cause loss of water resources, additional foundation of pressurization facilities from pressure loss and soil weakening near leaked pipe line, etc.. This makes it difficult to maintain and manage waterworks pipe line net and so cause serious economic loss. The rate of accounted water can be improved by monitoring always water pressure and flux, and so on. from isolated region, preparing positively against leakage accident and preventing leakage from occurring. Actually after isolating region, average rate of accounted water in this region went up 88.94% by continuously monitoring control of water pressure and inflow rate. It is about 9.44% higher than that of Busan metropolitan city in 2003, 79.5%.