• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1999.07d
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• pp.1710-1712
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• 1999

암모니아가스에 민감한 In이 도핑된 ZnO(ZnO:In) 박막을 In 박막$(100{\AA})$ 및 ZnO박막$(3000{\AA})$의 연속적인 증착과 열처리공정을 통하여 제조하고, 이와 같은 방법으로 Al과 In이 도핑된 ZnO (ZnO:Al, In) 박막을 In 박막과 ZnO:Al 박막의 연속적인 증착과 같은 조건에서의 열처리를 통하여 제조하였다. 기판은 $1000{\AA}$의 산화막이 열적으로 성장되어 있는 Si 기판을 사용하였다. In/ZnO 및 In/ZnO:Al 박막 이중층의 열처리온도에 따른 구조적 및 전기적 특성을 x-선회절기, 주사전자현미경, 오제전자분광법 및 4점측정시스템을 통하여 조사하였다. 이들 막에 대하여 열처리온도에 따른 암모니아가스에 대한 감도, 선택성 및 시간응답특성을 구하였다. 열처리온도 $400^{\circ}C$, 동작온도 $300^{\circ}C$에서 100 ppm의 암모니아가스를 주입한 결과 140 %의 최대감도를 나타내었으며 CO, $NO_x$ 가스에 대한 감도는 아주 낮은 것으로 나타났다.

• Plant Journal
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• v.14 no.4
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• pp.48-54
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• 2018

As the emission limits for NOx in power generation facilities were strengthened, HRSGs installed in the 1990s became necessary to install additional DeNOx system. However, since there is no space in the HRSG for installing the entire the catalyst and ammonia injection grid, as an alternative, the catalyst was installed inside of the HRSG and the ammonia injection device was installed in the exhaust duct of the gas turbine. Experiments were conducted in horizontal HRSG of Incheon combined cycle power plant. Experimental results show that the ammonia injection method in the gas turbine exhaust duct is 1.2 times higher than the HRSG internal ammonia injection method. However when operating a HRSG for 30 years as its life span, ammonia injection method in the gas turbine exhaust duct is more economical than the cost of new HRSG construction.

• Proceedings of the Korea Society of Poultry Science Conference
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• 2003.11a
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• pp.123-124
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• 2003

6개의 화학제제를 육계의 깔짚에 첨가한 후 6주간의 사육기간 동안 육계의 생산성, 계사 내의 암모니아 발생량을 측정하여 6개의 화학제제를 대조구와 비교하였다. 본 실험은 A계사와 B계사 각각에 대조구(4케이지)와 시험구(4케이지)를 배치하였으며 대구대학교 동물사육실에서 실시하였다. 시험은 각 방에서 4반복으로 실시하였다. A계사는 화학제제 I (T$_1$)을 깔짚에 첨가하고 나머지는 대조구로 하였다. B계사에는 화학제제II(T$_2$)를 깔짚에 첨가하고 나머지는 대조구로 하였다. 대조구와 실험구는 철저히 막아서 공기가 서로 내통되지 않게 하였다. 화학제제 I (T$_1$)과 II(T$_2$)의 실험이 끝난 후 같은 방법으로 화학제제III(T3)과 IV(T4)도 실시하였으며 계속해서 화학제제V(T$_{5}$)와 Ⅵ(T$_{6}$)이 실시되었다. 총 시험기간은 2002년 10월 31일부터 익년 3월 22일까지 143일간 계속되었다. 6개의 화학제제를 각각 깔짚에 첨가하였을 때 대조구에 비교하여 육계의 생산성에는 아무런 차이가 없었다. 암모니아 가스 농도는 화학제제 I (T$_1$)과 II(T$_2$)의 경우 2주에서 6주까지 처리구와 대조구간의 차이를 나타내었다. 화학제제III(T$_3$)의 처리구는 5주 동안 암모니아 가스발생은 거의 없었으며 대조구와는 큰 차이를 나타냈다. 화학제제IV(T$_4$)와 V(T$_{5}$) 그리고 Ⅵ(T$_{6}$)에서도 처리구와 대조구간에 차이가 인정되었으나 처리IV(T$_4$)와 Ⅵ(T$_{6}$)의 경우는 처리구에서도 5주와 6주의 경우 암모니아 농도는 25 ppm이거나 그 이상을 유지하였다. 모든 처리구에서 계사내 암모니아 가스농도는 25 ppm보다 낮았으나 화학제제III(T$_3$)에서는 계사내의 암모니아 가스 발생량은 거의 0에 가까웠다. 결론적으로 6개의 처리들간의 비교는 할 수 없지만 화학제제III(T$_3$)의 경우에서 처리구는 암모니아 가스 발생량을 다른 처리구에 비교하여 가장 낮게 나타났다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.11 no.4 s.33
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• pp.29-35
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• 2004

We have deposited the W-N diffusion barrier on Si substrate with $NH_3$ pulse plasma enhanced atomic layer deposition (PPALD) method by using $WF_6$ and $NH_3$ gases. The $WF_6$ gas reacts with Si that the surface corrosion occurs severely, but the $NH_3$ gas incorporated with pulse plasma and $WF_6$ gas are easily deposited W-N thin film without Si surface corrosion. Because the $NH_3$ with pulse plasma can be active species dissociated and chemisorbed on Si. Thus the Si surface are covered and saturated with nitrogen, which are able to deposit the W-N thin film. We also examine the deposition mechanism and the effect of $NH_3$ pulse plasma treatment.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.233.1-233.1
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• 2016

화학적 방법에 의한 NTE graphite의 박리 또는 전도도 개선을 위한 도핑공정을 수행할 경우, 결함 및 불순물 생성에 의해 재결정화 공정 및 순도 개선을 위한 별도의 공정을 필요로한다. 본 연구에서는 건식 방법으로써 10,000K 이상의 초고온 RF 열플라즈마를 이용하여 in-situ 방법으로 흑연의 박리, 결함 제거, 결정성 향상 및 도핑 공정을 수행하고, 도핑특성을 평가하였다. 질소 도핑을 위하여 암모니아 가스를 첨가하여 NTE graphite를 도핑 처리하였으며, 시뮬레이션을 통하여 반응기 내부의 온도분포를 파악하고, 도핑을 위한 암모니아가스가 분해되어 도핑공정이 수행될 수 있는 투입위치를 결정하였다. 질소 도핑율은 암모니아 가스의 주입위치에서의 온도 및 가스 주입 유량 등의 공정조건에 따라 변화됨을 확인하였고, XPS 분석결과 최대 14.87 atomic%의 도핑율의 결과를 얻었다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.96-98
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• 2000

암모니아는 대기 중에서 가장 대표적으로 존재하는 염기성 미량기체로서 SOx나 NOx와 같은 산성기체와 반응하여 대기중 산성도를 중화시키고 2차적 에어로졸을 생성한다. 암모니아가스는 이 반응에 의하여 에어로졸 내에서는 암모늄 이온(${NH_4}^{+}$)으로 존재하게 된다. 산성기체를 중화시킨다는 입장에서 염생성 반응은 산성기체의 제거 기작이 될 수 있으나 이 때 생성된 에어로졸은 주로 PM2.5 이하의 2차적 에어로졸로 존재하여 호흡기장애, 건물 부식, 시정 감소 등의 피해를 주는 오염물질이 된다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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• 2002.07a
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• pp.321-326
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• 2002

축산업의 규모가 커짐에 따라 가축분뇨의 발생이 집중화되고 있으며 이 축산폐기물은 올바르게 처리하지 않을 경우 대기 및 수질환경의 오염원이 될 수 있다. 축산농가에서는 분뇨처리의 문제가 가축사육의 중요한 부분으로 대두되고 있다. 가축분뇨를 퇴비화 처리하는 과정에서 발생하는 암모니아가스는 악취의 주요성분을 이루고 있을 뿐만 아니라 퇴비 내에 존재하는 질소성분을 밖으로 유출하는 결과를 초래한다. 따라서 퇴비화하는 과정에서 악취발생의 저감과 또한 발생된 악취의 탈취는 퇴비 내에 포함되어 있는 질소 비료성분의 유출을 방지하고 작업장의 불쾌감과 환경오염을 방지한다는 측면에서 매우 중요한 과제이다. (중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2002.11a
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• pp.70-71
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• 2002

암모니아 가스는 일반환경에서 뿐만 아니라 첨단 산업인 반도체 제조공정에서도 가장 주목하여 관리하여야 할 대상이다. 반도체 공정에서 암모니아 가스는 T-Topping, 광학 현미경의 헤이즈 현상 등을 일으키는 원인으로써 꾸준한 농도 관리가 요구되고 있다. 또한 관리 기준 농도가 점점 강화되면서 일부 공정에서는 sub ppbv까지 신뢰성 있는 측정치 요구되고 있다. 현재 클린룸에서의 암모니아 농도 관리는 일부 자동화 기기를 사용하고 있으나, 대부분의 경우 임핀저 샘플링을 이용한 불연속적인 농도 관리가 이루어지고 있다. (중략)

• KOREAN POULTRY JOURNAL
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• v.4 no.6 s.32
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• pp.62-65
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• 1972

저농도의 암모니아가스가 부로일러와 산란계능력수행에 파괴효과를 가져오며 사람도 괴롭힌다는 사실이 최근 연구에 의해서 입증되었다.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.27 no.3
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• pp.35-40
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• 2023

In order to prevent an ammonia container from bursting under conditions such as overcharging and abnormal temperature rise, it is necessary to prepare accident prevention measures through analysis of the operating mechanism of the Thermally Activated Pressure Relief Devices (TPRD) attached to the container. In this study, stress analysis acting on the ammonia container under pressurized conditions, density change analysis according to temperature change, and correlation between container filling amount and temperature and pressure change were presented. In addition, the maximum filling amount of the ammonia container was calculated, and the temperature and pressure at the filling amount were calculated through the phase equilibrium diagram. Based on this, the appropriate melting point of the Thermally Activated Pressure Relief Devices was derived and verified through a melting temperature experiment. Based on the results of this study, conditions for preventing ammonia container rupture accidents were suggested.