$\textrm{RuO}_2$ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구
(Thermal Stability of $\textrm{RuO}_2$ Thin Film Annealed at High Temperature in Oxygen Atmosphere)
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- 한국재료학회지
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- 제8권12호
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- pp.1090-1098
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- 1998