• 제목/요약/키워드: 안정된 분위기

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$\textrm{RuO}_2$ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구 (Thermal Stability of $\textrm{RuO}_2$ Thin Film Annealed at High Temperature in Oxygen Atmosphere)

  • 오상호;박찬경;백홍구
    • 한국재료학회지
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    • 제8권12호
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    • pp.1090-1098
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    • 1998
  • Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법으로 $RuO_2$박막을 Si 및 Ru/Si 기판 위에 증착한 뒤 산소 분위기 (1atm)에서 열처리를 하여 RuO$_2$박막의 열적 안정성 및 확산방지 특성을 연구하였다.$ RuO_2$박막은 산소 분위기 $700^{\circ}C$에서 10분까지 안정하여, 산소와 실리콘에 대한 우수한 확산방지 특성을 나타내었다 $750^{\circ}C$ 열처리시, 우선 성장 방위에 관계없이 RuO$_2$박막 표면 및 내부에서 휘발 반응이 일어남과 동시에 확산방지 특성은 저하되었다. 그러나 80$0^{\circ}C$ 열처리 시에는 $750^{\circ}C$ 열처리와는 다른 미세구조를 나타내었다. 이러한 열처리 온도에 따른 휘발반응에는 RuO$_2$의 표면 결함구조인 $RuO_3$와 증착시 박막내 함유된 과잉산소에 의한 결함 구조가 영향을 주는 것으로 판단된다.

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정전기 방사에 의한 EDLC 전극용 폴리이미드계 활성탄소섬유 웹의 제조 (Preparation of Electrospun PI-based ACF Web for Electrode of Electric Double Layer Capacitior(EDLC))

  • 최영옥;김찬;양갑승
    • 한국섬유공학회:학술대회논문집
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    • 한국섬유공학회 2003년도 가을 학술발표회 논문집
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    • pp.134-137
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    • 2003
  • 탄소섬유나 활성탄소섬유(activated carbon fiber, ACF)는 일반적으로 출발물질에 따라 polyacrylonitrile(PAN)계, 아크릴(acryl)계, 피치(pitch)계, 페놀(phenol)계 등으로 분류할 수 있다. 보통 습식, 용융 혹은 용융분사(melt-blown) 방사 방법에 의해 섬유 형태로 형성한 다음 산화성 가스 분위기에서 불융화 과정을 거쳐 열에 대한 안정성을 부여하여 불활성 분위기에서 탄소화하여 탄소섬유를 제조하거나, 수증기나 이산화 탄소와 같은 산화성 분위기에서 활성화하여 활성탄소섬유를 제조한다. (중략)

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Post Olympic, 중국 부동산 시장-거품 빠진 후 안정세 보일 듯

  • 강구슬
    • 주택과사람들
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    • 통권220호
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    • pp.78-81
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    • 2008
  • 2008 중국 베이징 올림픽이 폐막했다. 얼마 전까지 폭설과 티베트 사태, 쓰촨성 대지진 등 연이은 악재로 비틀 거리던 13억 중국 대륙이 하나가 되어 축제 분위기에 휩싸였다 제자리로 돌아갔다. 수년간 유례없는 급성장으로 전 세계의 이목을 집중시켜온 중국. 올림픽맞이 경제 특수에 대한 기대감에 끝없이 솟아오르던 대도시들의 스카이라인은 올림픽 이후에도 드라마틱한 변화를 계속할 수 있을까? 최근 증시 폭락과 함께 냉각이 우려되고 있는 중국 부동산 시장을 들여다본다.

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전기의 생산과 공급

  • 한국전력기술인협회
    • 전기기술인
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    • 통권131호
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    • pp.14-15
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    • 1993
  • 손에 만져지지 않는 전기$\ldots$$\ldots$지금 우리는 누구도 큰 관심을 가져 주지 않습니다. 그러나 전기는 우리의 곁에 있는 다정한 벗입니다. 이에 우리는 올 여름 전력수급의 안정을 위해 소중한 전기가 어떻게 생산되어 공급되는지를 다시 생각하고 가정에서의 올바른 전기사용법을 익혀 범국민적으로 전기소비절약 분위기를 확산하고자 한다.

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화학적 구조 설계를 통한 수계 Cu-In-S 잉크와 액상셀렌화 법의 개발을 통한 고효율의 CISSe 태양전지 제작

  • 오윤정;양우석;김지민;문주호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.428-428
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    • 2016
  • Copper indium sulfide (selenide) (CuIn(S,Se)2,CISSe)는 1.0~1.5 eV의 Direct band gap과 105 cm-1이 넘는 큰 광 흡수 계수를 가지고 있어 박막 태양전지의 흡수층으로써 연구되어 왔다. 최근 대량생산 및 저가 공정에 용이하다는 측면에서 용액 공정 기반 CISSe 태양전지 연구가 크게 주목 받고 있다. 용액공정 기반 중 하이드라진을 사용 한 경우 매우 높은 효율을 기록하였으나, 하이드라진 자체의 유독성과 폭발성 때문에 분위기 제어가 필요하고 여전히 저가화 및 대면적 제작에 한계가 있다. 따라서 알코올 솔젤 기반 CISSe 태양전지 제작 연구가 많이 진행되었으나, 결정립 성장 및 칼코겐 원자를 공급하기 위해 불가피하게 황화/셀렌화 후속 열처리 공정을 요구한다. 후속 열처리 공정은 폭발성의 황화수소/황화셀레늄 기체 분위기 제어와 고가의 장비를 필요로 한다. 본 연구에서는 매우 안정적이며 저가 용매인 물과 아민계 첨가제를 이용하여 Cu, In 전구체와 S, Se 이 포함된 Cu-In-S 잉크와 Se잉크를 제작하였다. 잉크 내에 S, Se을 첨가 함으로써 추가적인 후속공정 없이 비활성 가스 분위기에서 고품질의 CISSe 박막 제작을 가능케 하였다. 또한 Se 잉크 증착 횟수에 따른 결정 구조, 광학적 성질의 차이에 주목하였다. 따라서 수계 잉크를 대기 중에서 스핀코팅으로 박막을 제작한 후, Hot plate에서 건조하여 균일한 박막을 제조하고, 제작된 박막을 tube furnace에서 환원 분위기 및 비활성 가스 분위기에서 열처리 진행하여 $1.3{\mu}m$ 두께의 고품질의 CISSe 흡수층을 제작하였다. 이러한 흡수층에 대해 XRD, SEM, EDS 분석을 진행하여, 결정성, 미세구조, 및 조성을 확인하였으며, 제작된 흡수층 위에 버퍼층/투명전극층을 차례로 증착하여 CISSe 태양전지를 제작하여 셀 성능 및 양자 효율 특성을 파악하였다. 또한 액상 Raman 분석을 통해 결정립 성장 과정 메커니즘을 제시하였다.

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Simple Passivation Technology by Thermal Oxidation of Aluminum for AlGaN/GaN HEMTs

  • 김정진;안호균;배성범;문재경;박영락;임종원;민병규;윤형섭;양전욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.176-176
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    • 2012
  • 본 연구는 GaN 기반의 전자소자의 표면 패시베이션 방법으로 열산화 공정을 이용한 알루미늄산화막 패시베이션 공정에 대하여 연구하였다. 결정질의 알루미늄산화물은 경도가 크고 화학적으로 안정적이기 때문에 외부 오염에 대한 소자 표면을 효과적으로 보호할 수 있으며, 열적안정성이 뛰어나 공정중 또는 공정 후의 고온 환경에서의 열 손상이 적은 장점을 가진다. 결정질 알루미늄산화막($Al_2O_3$)을 소자 표면에 형성하기 위해서 일반적으로 TMA (trimethlyaluminium)와 오존($O_3$)가스를 이용한 ALD 공정법이 사용되고 있으나 공정 비용이 비싸고 열산화막에 비해 전자 trapping이 많이 발생하여 전자이동도가 저하되는 단점이 있어, 본 연구에서는 열산화 공정을 이용하여 소자의 전기적 특성 저하를 발생시키지 않는 알루미늄산화막 패시베이션을 수행하였다. 실험에 사용된 기판은 AlGaN/GaN 이종접합 구조가 증착된 HEMT 제작용 기판을 사용하였으며 TLM 구조를 제작하여 소자의 채널 면저항 및 절연영역간 누설전류 특성을 확인하였다. TLM 구조가 제작된 샘플 위에 알루미늄을 100 ${\AA}$ 두께로 소자위에 증착하고 $O_2$ 분위기에서 약 $525{\sim}675^{\circ}C$ 온도로 3분간 열처리하여 알루미늄 산화막을 형성한 후 $950^{\circ}C$ 온도로 $N_2$ 분위기에서 30초간 안정화열처리 하여 안정한 알루미늄 산화막 패시베이션을 형성하였다. 알루미늄산화막 패시베이션 후 소자의 절연영역 사이의 누설전류는 패시베이션 전과 비슷한 크기를 나타냈고 패시베이션 후 채널의 면저항이 패시베이션 전에 비해 약 20% 감소한 것을 확인하였다. 또한 패시베이션된 소자와 패시베이션되지않은 소자에 대해 $900^{\circ}C$ 온도로 30초간 열처리한 결과 패시베이션 되지 않은 소자는 74%만큼 채널 면저항이 증가하였으며, 절연영역 누설전류가 다섯오더 크기로 증가한 반면 알루미늄산화막 패시베이션한 소자는 단지 13%의 채널 면저항의 증가를 나타내었고 절연영역 누설전류는 100배 감소한 값을 보여 알루미늄산화막 패시베이션이 소자의 열적 안정성을 향상시키는 것을 확인하였다.

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Li, K과 Na-흑연 층간화합물의 stage 전이특성 (Stage transformation characteristice of Li, K and Na-graphite intercalation compounds)

  • 오원춘;임창성;오근호;고영신
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.83-90
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    • 1998
  • Li, K과 Na-흑연 층간화합물의 stage 전이 특성을 탄소층사이에 존재하는 intercalants의 deintercalation 메카니즘을 고려하여 제시하였다. 온도와 압력을 조절하여 합성된 Li-GICs(graphite intercalation compounds)를 분위기하에서 자발적으로 분해시켰다. 이들 화합물을 XRD 분석한 결과 1, 2 stage의 d001-값이 각각 3.71, 7.06 $\AA$으로 나타났다. 분위기하에서 Li-GiCs를 deintercalation 반응을 시킨 6주 후에 잔유화합물이 형성됨을 알 수 있었다. 또한, two-bulb 법으로 K-GICs를 합성하였으며, K-GDICs(graphite deintercalation compounds)의 구조적 안정성과 stage 전이에 대하여 조사하였다. X-선회절 결과로부터 K-GDICs는 10주 동안 안정한 K-흑연 잔유 화합물을 형성하였다. 그리고 고온, 고압법을 이용하여 합성된 1, 2stage의 Na-GICs의 deintercalation 반응과 열적 안정성에 대한 온도 의존성에 대하여 논하였다. 열적 안정성과 관련하여 Na-GICs의 구조변화를 XRD에 의하여 확인하였다. 이들 과정에 따르면 stage 전이는 무질서한 stage를 가진 GDICs의 불규칙적인 deintercalation에 의하여 형성됨을 제시할 수 있었다.

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다문화가족 자녀 어머니의 개인변인에 따른 가정환경 (Mother's Personal Variables in Multicultural Family on Home Environment)

  • 오성숙;이은경
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제13권11호
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    • pp.714-725
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    • 2013
  • 본 연구는 만 3세에서 6세 다문화가족 자녀 어머니의 개인변인에 따라 가정에서 자녀에게 제시하는 가정환경에 차이가 있는지를 알아보고자 하였다. 연구결과는 첫째, 국적에 따른 가정환경의 차이를 살펴보면 정서적 분위기, 경험의 다양성, 놀이 자료에서 통계적으로 유의한 차이가 있는 것으로 나타났다. 둘째, 연령에 따른 가정환경의 차이에서는 허용성, 독립성의 육성, 정서적 분위기, 경험의 다양성, 물리적 환경에서 통계적으로 유의한 차이가 있는 것으로 나타났다. 셋째, 학력에 따른 가정환경의 차이에서는 안정된 환경, 발달을 돕는 자극, 언어적 환경의 질, 독립성의 육성, 정서적 분위기, 경험의 다양성, 물리적 환경, 놀이 자료에서 통계적으로 유의한 차이가 있는 것으로 나타났다. 넷째, 가정 내 의사소통방법에 따른 가정환경의 차이에서는 모든 변인에서 통계적으로 유의한 차이가 있는 것으로 나타났다. 다섯째, 직업유무에 따른 가정환경의 차이에서는 모든 변인에서 통계적으로 유의한 차이가 없는 것으로 나타났다.

Creep 저항성이 향상된 Ni-Cr anode의 미세조직 형성 mechanism 및 구조 안정성에 관한 연구 (A study on formation mechanism of a microstructure and on morphological stability of a Ni-Cr anode improved creep resistance)

  • 정도원;이인성;이덕열;임희천
    • 한국전기화학회:학술대회논문집
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    • 한국전기화학회 2002년도 연료전지심포지움 2002논문집
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    • pp.251-258
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    • 2002
  • [ $Ni-10wt.\%Cr$ ] green sheet를 불활성분위기로 $900^{\circ}C$까지 승온시킨 다음 부분산화$(P_{H2}/P_{H2O}=10^{-2})$$1100^{\circ}C$에서 3시간 환원처리를 시키는 소결공정으로 Ni-Cr 고용체 기지 주변에 작은 $Cr_2O_3$ 알갱이가 고르게 분포하는 anode(Anode Sintered in Partial oxidation - Reduction atmosphere; ASPR)를 제조하였으며, creep 변형률이 $2.8\%$로서 미세구조에 따른 creep 특성의 비교를 위해 기존의 환원분위기에서만 소결시킨 anode(Anode Sintered in Reduction atmosphere only; ASR)의 $11\%$보다 우수한 creep 저항성을 나타내었다. $Cr_2O_3$ 알갱이가 분산된 미세구조른 부분산화 시 Cr과 Ni의 산화속도 및 확산속도의 차이로 인해 형성되는 것으로 사료되며, creep 전${\cdot}$후 ASPR 시편의 SEM 및 기공률 분석결과 매우 안정적으로 그 형상 및 구조를 유지하고 있음을 확인할 수 있었다. 또한 ASPR 시편의 전기전도도는 약 $15\times10^6\;S/m$로서 기존 ASR 시편의 전기전도도와 유사함을 알 수 있었다.

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