Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.10
no.10
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pp.2609-2614
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2009
Portable ultrasonic detectors are useful for detection of electrical discharge phenomena like as partial discharge, corona, arching and tracking occurring in an electric system. But the general potable ultrasonic detectors have drawbacks that the results are under the influence subjective reaction of users and it is difficult to determine the type of problem by listening to sound properties and estimate results. So a new analysis method distinguishing ultrasonic characteristics is required. This paper presented ultrasonic wave analysis program to visualize ultrasonic sound of corona, arching and tracking measured by ultrasonic detector. While depending on sound properties alone can be subjective, by incorporating analytical method using the developed program, users are able to increase the accuracy of their ultrasonic diagnosis results.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.82.2-82.2
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2013
반도체 및 디스플레이 소자를 생산 하기 위하여 다양하고 많은 공정 기술이 사용 되며 그 중에서 플라즈마를 이용하는 제조공정이 차지 하는 부분은 상당한 부분을 차지 하고 있습니다. 전체 반도체 공정 중 48%가 진공공정이며, 진공공정 중 68% 이상이 플라즈마를 이용하고 있으며, 식각과 증착 장비 뿐만 아니라 세정과 이온증착 에 이르기 까지 다양하며 앞으로도 더욱 범위가 늘어 날 것으로 보입니다. 이러한 플라즈마를 이용한 제조 공정들은 제품의 생산성을 향상 하기 위하여 오염제어 기술을 비롯한 공정관리기술 그리고 고기능 센서기술을 이용한 공정 모니터링 및 제어 기술에 이르기 까지 다양한 기술들을 필요로 합니다. 플라즈마를 이용한 제조 장비는 RF파워모듈, 진공제어모듈, 공정가스제어모듈, 웨이퍼 및 글래스의 반송장치, 그리고 온도제어 모듈과 같이 다양한 장치의 집합체라 할 수 있습니다. 플라즈마의 생성과 이를 제어 하기 위한 기술은 제조장비의 국산화를 위한 부단한 노력의 결실로 많은 부분 기술이 축적되어 왔고 성과를 거두고 있습니다. 그러나 고기능 모니터링 센서 기술 개발은 그 동안 활발 하게 이루어져 오고 있지 않았으며 대부분 외산 기술에 의존해 왔습니다. 세계 반도체 시장은 현재 300 mm 웨이퍼 가공에서, 추후 450 mm 시장으로 패러다임이 변화될 예정이며, 미세화 공정이 더욱 진행 됨에 따라 반도체 제조사들의 관심사가 "성능 중심의 반도체 제조기술"로부터 "오류 최소를 통한 생산성 향상"에 더욱 주목 하고 있습니다. 공정미세화 및 웨이퍼 대구경화로 인해 실시간 복합 센서를 이용한 데이터 처리 알고리즘 및 자동화 소프트웨어의 기능이 탑재된 장비를 요구하고 있습니다. 주식회사 레인보우 코퍼레이션은 플라즈마 Chemistry상태를 정성 분석 가능한 OES (Optical Emission Spectroscopy)를 이용한 EPD System을 상용화 하여 고객사에 공급 중이며, 플라즈마의 광 신호를 실시간으로 고속 계측함과 동시에 최적화된 알고리즘을 이용하여 플라즈마의 이상 상태를 감지하며 이를 통하여 제조 공정 및 장비의 개선을 가능하게 하여 고객 제품의 생산성을 향상 하도록 하는 기술을 개발 하고 있습니다. 본 심포지엄에서는 주식회사 레인보우 코퍼레이션이 개발 중인 "실시간 고속 플라즈마 광 모니터링 기술" 의 개념을 소개하고, 제품의 응용 범위와 응용 방법에 대하여 설명을 하고자 합니다.
The effect of Si content in welding wires on th arc stability was investigate, in the region of short circuit transfer and spray transfer. In the region of short circuit transfer, with increasing Si content, average arcing time and average short circuit time were increased. Therefore, droplet transfer frequency was decreased, due to the increase of arcing time and peak current at the moment of arc-reiginition was increased, due to the increase of short circuit time. In the region of spray transfer, the fluctuations of arc current and arc voltage was the most stable in wire with Si content of about 00.60 wt.%.
Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.18
no.4
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pp.73-82
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2004
This paper investigates a lightning multi-phase flashover on extra high voltage transmission line, which has influence on power systems very much, by the use of ATP. Especially we validated an arcing horn model represented by the nonlinear inductance and resistance which is the most important on the simulation for a multi-phase flashover. We also study relationships between lightning parameters and flashover phases in 765(㎸) double circuit transmission system.
최근 15년간의 우리나라에 발생했던 낙뢰데이터를 분석해 보면 매년 낙뢰빈도와 낙뢰크기가 증가하고 있다. 154kV 송전선로의 경우 낙뢰고장률이 '01년도 0.93건/c-km 년에서' 10년도 2.75건/c-km 년으로 급증하였다. 이에 낙뢰고장을 저감하기 위한 다방면의 검토가 요구되고 있다. 본 논문에서는 낙뢰고장 저감 대책 중 하나로 낙뢰고장의 다수를 차지하고 있는 역섬락을 감소시키기 위하여 역섬락을 발생시키는 절연거리를 증가시키는 방안을 검토해보고자 한다. 또한 현재 운영 중인 아킹혼 설치기준 및 애자련 보호효과 등에 대해서도 체계적인 검토가 필요한 시점이다.
The effect of S content in welding wires on the arc stability was investigated, in the region of short circuit transfer and spray transfer. In the region of short circuit transfer, with increasing S content, average arcing time and average short circuit time were decreased. Therefore, droplet transfer frequency was increased, due to the reduction of arcing time and peak current at the moment of arc-reiginition was decreased, due to the decrease of short circuit time. In the region of spray transfer, the fluctuation degree of arc current and arc voltage became more stable, with increasing S content.
Owing to the strike of lightning a breakage of insulator would happen. This breakage may give rise to many problems such as increment of reclosing failure, a drop for reliance and a hardship of maintenance and repair. To solve those problem, this study develop a protected equipment for insulator which is suitable to 22.9kV distribution line towers and is purposed to investigation for a proper adaption, protection efficiency of insulator and effect of adaption.
송전용 피뢰장치의 공극 및 정격을 설계하는 기술을 검토하였다. 공극형 피뢰기를 설계하기 위해서는 먼저 공극의 길이를 결정하는 것이 우선되어야한다. 공극의 길이는 주변 아킹흔 및 피뢰기 소자의 제한전압 방전특성과의 절연협조를 통해 결정되며 속류차단성능 또한 적절한 공극설계로부터 확보된다. 송전용 피뢰장치의 정격전압은 TOV특성과 과전수명특성 등을 지배하는 접지계수와 여유도 등이 달라진다. 절연협조와 속류차단성능은 공극의 길이를 최적으로 설계하여야 가능하므로 세심한 주의가 요구된다. 계통전압 154W급 송전용 피뢰장치의 공극길이를 650m로 설계하는 경우 피뢰기 소자의 제한전압은 228kV로 설계가 가능하다.
Jo, Sang-Hyeon;Park, Jun-Hong;Lee, Sang-Cheol;Lee, Jin-Ho;Yun, Han-Ho;Song, Pung-Geun
Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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2007.11a
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pp.93-94
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2007
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 전도성이 다른 타겟을 사용하여 non-alkali glass 기판위에 실온에서 ITO 박막을 증착하였다. 전도성 향상 타겟을 사용하여 증착한 ITO 박막의 경우, 최저 비저항은 2.9 ${\times}$$10^{-4}{\Omega}cm$로 산소첨가량 0.5%에서 얻어졌다. 이것은 타겟 표면의 노듈에 의하여 발생하여 박막물성을 저하시키는 마이크로 아킹의 감소 및 플라즈마 임피던스의 감소에 의한 방전 안정성의 증가에 기인한다고 생각된다. 한편 AFM에 의한 박막표면의 관찰결과, 산소첨가량에 따라 박막표면의 거칠기는 증가하는 것으로 나타났다. 이결과는 산소의 증가에 따른 박막의 부분적인 결정화에 기인한다고 생각되어진다. 그러나 XRD 관찰 결과 산소첨가에 따른 박막의 미세구조의 변화는 확인 할 수 없었다.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.11a
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pp.376-377
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2008
저압계동의 고장전류를 차단하기 위해서, 기중차단기(ACB), 배선용차단기(MCCB) 등을 사용하고 있는데, 저압차단기는 저압계통의 고장전류를 차단할 수 있으나, 고장전류를 효과적으로 제한하지 못하며, 차단기 내부의 아킹시간이 상대적으로 길므로, 저압차단기는 물론 주변 전력기기에 전기적/열적/기계적 스트레스를 주게 된다. 또한 지속적인 부하의 증가로 인해 저압계통의 단락전류는 점점 증가하는 추세에 있으므로 저압계통은 물론 고압계통에서도 고장전류를 보다 빠르고 효과적으로 제한 및 차단을 할 수 있는 한류형 차단기가 제안되고 있다. 저압계통의 경우, 정온도계수(Positive Temperature Coefficient, PTC) 특성을 가지는 한류소자를 기존 차단기에 직렬 혹은 병렬로 연결하여 저압계동의 고장전류를 매우 빠르고 효과적으로 제한 및 차단하는 추세이다. 본 연구에서는 정온도계수 특성을 가지는 소자를 이용하여 소형 저압차단기의 차단용량 향상에 기여할 수 있는지 검증하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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