• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2016.11a
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• pp.103.2-103.2
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• 2016

금속질화물 박막은 대표적인 고경도, 고내열성 박막이다. 박막의 두께는 기계적물성과 밀접한 상관관계가 있으며, 두께의 관리와 제어는 매우 중요하다. 3조 2배열의 증발원을 이용하여 Cathodic vacuum arc deposition(CVAD)법으로써 금속질화물 박막을 제조하였으며, 평균 두께 $4.38{\mu}m$, 표준편차 ${\pm}11.5%$ 박막들을 제조할 수 있었다. 증발원과 증발원 사이의 중첩이 되는 지점에 장착된 시편보다 각각의 증발원에서 평행한 위치에 장착된 시편에 코팅된 박막이 두꺼웠다.

• Korean Journal of Dental Materials
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• v.44 no.2
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• pp.151-161
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• 2017

The purpose of this study was to examine the effect of shade and thickness of resin-nanoceramic CAD-CAM block (RNB) on the microhardness of dual-cured resin cement, as well as to measure the number of photons transmitted through RNBs of different thicknesses and colors. One dual-cured resin cement was used to prepare resin cement specimens. Resin cement specimens were light-cured for 40 seconds through 3 shades (A1, A2, A3 in HT (high translucency) and LT (low translucency) respectively) and four thicknesses (1, 2, 3, 4 mm) of RNB specimens. Vickers microhardness measurements of resin cement specimens were performed using a Vickers hardness tester. The light transmission of RNB specimens was measured using a spectrometer (SpectroPro-500, Acton Research, Acton, MA, U.S.A.), and the translucency parameter was calculated using the CIEL*a*b* system. Data were statistically analyzed by ANOVA and Tukey's test. There was a significant decrease of microhardness of resin cement specimen with an overlay of 4 mm of RNB thickness and A3 shade in comparison to A1 and 1 mm, respectively (p<0.05). The translucency parameter values and light transmission of RNBs tested differed significantly, according to the thicknesses of the specimen (p<0.05). Light transmission is decreased with increase in the thicknesses of RNBs. Shade A1 transmitted more light than darker blocks. A decrease in microhardness of resin cement specimens was observed with increasing thickness and shade (A1 to A3) of RNBs.

• ETRI Journal
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• v.13 no.2
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• pp.54-61
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• 1991

에피택시층의 두께는 푸리에변환적외선분광분석(FTIR)을 이용하여 간단하고 비파괴적으로 측정할 수 있음이 알려져 있다. 본고에서는 측정법의 기본적인 배경을 살펴보고 실제 시편의 측정결과를 제시하며 본 두께 측정법의 적용 가능성 및 문제점에 대해 논의한다.

• Journal of Navigation and Port Research
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• v.28 no.6
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• pp.503-507
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• 2004

We prepared EM wave absorbers by using recycled Sr ferrite for GHz frequency, and investigated the effects of carbon additions and preparation temperatures on their EM wave absorption properties. A Sr ferrite EM wave absorber with the ratio of Sr ferrite: silicon rubber: carbon = 80 : 13.6: 6.4 wt% prepared at 7$0^{\circ}C$ showed -24 dB at 9.4 GHz and -23 dB at 5.5 GHz for 2 mm and 3 mm thickness, respectively.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.67-67
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• 2010

본 연구에서는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 가볍고 내구성이 뛰어난 Al을 다양한 공정 조건에서 냉연 강판에 코팅하여 코팅층의 밀도 측정으로부터 치밀도를 알아보았다. 99.95% 순도의 Al 타겟을 사용하여 강판(냉연강판)과 실리콘 웨이퍼 시편에 증착시켰다. 시편은 알코올과 아세톤으로 초음파 세척을 하였으며 진공용기에서 펄스 전원 공급 장치를 이용하여 플라즈마 청정을 약 30분간 실시하였다. 시편 청정이 끝나면 ${\sim}10^{-6}$ Torr 까지 진공 배기를 실시하고, Ar 가스를 진공용기 내로 공급하여 ${\sim}10^{-3}$ Torr로 진공도를 유지하면서 스퍼터링으로 박막 코팅을 실시하였다. 전자석에 전류를 인가하지 않은 시편의 Al 코팅층 밀도는 bulk 밀도의 81%이며 전자석에 역방향 3 A의 전류를 인가시킨 시편의 Al 코팅층 밀도는 bulk 밀도의 약 94%를 보였다. Al 코팅층의 SEM 분석 결과, 스퍼터링 파워 증가에 따라 Al 코팅층 조직에 기공이 많아지고 두께가 증가하는 경향을 보였다. 또한 전자석의 순방향 전류가 증가하면 박막의 두께가 증가하고 치밀도가 낮아지는 반면 전자석의 역방향 전류가 증가할수록 Al 코팅층의 조직은 치밀해졌으며 전자석 전류를 역방향 3 A로 고정하고 스퍼터링 파워를 변화시켜 Al을 코팅하면 타겟 인가전압 1.5 A에서 가장 치밀한 Al 코팅층 조직을 얻을 수 있었다. 가장 치밀한 조직을 갖는 $1.57{\mu}m$의 Al 코팅층은 염수분무 시작 후 약 48시간 후에도 적청이 전면적의 5% 이내로 발생하였다. 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 냉연강판에 Al을 증착하였고 치밀한 조직의 박막을 형성함으로써 냉연 강판의 내식성을 향상할 수 있는 공정기술을 개발하였다.

• Applied Microscopy
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• v.29 no.3
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• pp.265-274
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• 1999

The microstructure of Cu thin films in various deposition conditions was characterized. Cr films (50 nm thick) and Cu films (500 or 1000 nm thick) were deposited on polyimide films by DC magnetron sputtering. The Ar pressure during Cu deposition was controlled to 5, 50 and 100 mtorr. The microstructure was characterized using conventional and high resolution SEM and TEM. As sputtering pressure increases, open boundaries are observed more frequently. The Cu film deposited at 5 mtorr has a dense and uniform structure, while low-density regions or open boundaries between columns exist in the film deposited at higher pressure. As the film grows thicker, open boundaries are wider and the density of open boundaries are higher. The comparison between SEM and TEM show that the small features shown in high resolution SEM are grains. High resolution SEM is very effective to characterize the microstructure of the thin films. One column in the films deposited at 50 and 100 mtorr consists of several grains, which are smaller than those deposited at 5 mtorr.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.295-295
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• 2012

본 연구에서는 아크방전을 이용한 질화 티타늄의 합성 과정 중에서, 시편 청정 공정변수를 변화시킴에 따라 계면에서의 미세조직 변화와 코팅층의 물성을 평가하였다. 아크 소스에 장착된 타겟은 $120mm{\Phi}$, 99.5 %의 티타늄 타겟을 사용 하였고, 시편과 타겟 간의 거리는 약 30 cm이며, 시편은 SUS를 사용하였다. 시편을 진공용기에 장착하고 진공배기를 실시한 후 Ar 가스 분위기에서 시편에 전압을 인가한 후 아크를 발생시켜 약 5분간 시편 청정을 실시하였다. 이 시편 청정 과정에서 시편 인가전압을 0~1,000 V로 변화시켰고 시편 정청이 끝나면 시편에 인가된 전압을 차단하고 코팅하였다. 질화 티타늄의 두께는 약 $3{\mu}m$로 동일하게 코팅하였다. 시편 인가전압 변화에 따라 시편청정 공정 시 계면에서 티타늄층이 코팅되거나 모재 내부까지 침투하는 현상을 관찰하였다. 시편청정 공정변수 변화에 따른 질화 티타늄의 코팅을 통해 계면의 미세조직과 성분의 변화를 주사전자현미경, 투과전자현미경 이미지와 에너지 분산분광기 (Energy Dispersive Spectroscopy ; EDS)를 통해 확인하였으며 나노인덴터를 이용해 경도, 탄성계수 등의 물성변화를 측정하였다. 본 연구에서 얻어진 결과를 이용하여 시편 청정 공정 제어를 통한 다양한 물성변화가 가능 할 것으로 예상된다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.22 no.1
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• pp.562-567
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• 2021

To develop an antibacterial tempered glass for applications to various building facilities and household products, the antibacterial activity of domestic materials was investigated, and a tempered glass sample was produced with silver, copper, and zinc, having an antibacterial activity of 99% or more at a specific concentration. The measured antibacterial activity of the samples, in which silver, copper, and zinc were dispersed in ethylene glycol + glycerol, was more than 99%. Measurements of the thickness of the coated metal material by washing using a surface analyzer showed that the thickness decreased by less than 1% in various types of detergents, including water, but only approximately 10% in the alkaline detergents. To check the human safety of the samples, a cytotoxicity test was performed through an MTT assay; the samples showed no cytotoxicity. Finally, a Live/Dead kit or film adhesion method showed that the antibacterial activity of the prototype was more than 99%. Therefore, the high-functional antibacterial effect of tempered glass was developed using domestic materials and may be used in various products in the future.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.10a
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• pp.173-174
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• 2008

페로브스카이트 구조의 (Ba,Sr,Ca)$TiO_3$ 분말에 $Dy_2O_3$ 불순물을 첨가하여 첨가량에 따른 영향을 연구하였다. 시편의 제작은 Screen-printing을 이용하여 후막으로 제작하였으며, 구조적인 특성과 전기적인 특성을 관찰하였다. XRD 회절 분석을 통하여 $Dy_2O_3$가 첨가된 모든 시편에서 이차상이 없는 전형적인 페로브스카이트 구조를 나타내었다. 시편의 미세구조를 관찰한 결과 grain size는 $Dy_2O_3$ 첨가량이 증가 할수록 감소하였으며, 기공은 증가하는 것을 알 수 있었다. 후막의 두께는 $Dy_2O_3$ 첨가량에 영향을 받지 않았으며 평균 두께는 $69{\mu}m$이었다. 큐리 온도는 $Dy_2O_3$ 첨가량에 따라 감소하였으며, 유전 손실은 상온 이상에서 1%이하로 크게 감소하였다.

• Journal of the Earthquake Engineering Society of Korea
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• v.4 no.2
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• pp.65-72
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• 2000

콘크리트 구조물이 지진 등으로 손상을 입었을 때 그 내부 상태를 파악하는 일은 구조물의 안전성 판단에 필요한 중요 과정중 하나이다 손상도 파악에 사용되는 비파괴 검사 방법 중 레이더법은 현재 콘크리트 부재의 두께와 매립된 철근 및 공동 탐사에 적용되고 있다 레이더법은 다른 비파괴 검사 방법에서와 마찬가지로 측정된 신호의 처리와 해석에 따라 그 결과가 좌우된다 . 이논문에서는 상용 레이더 시스템에서 얻어지는 화상 데이트터를 개선하는 방법을 개발하여 철근이 매립된 콘크리트 시편에 적용하였다 실험에 사용된 기편의 크기는 1,000mm(길이)$\times$600mm (폭) $\times$140mm(두께) 이고 철근의 매립깊이는 표면으로부터 철근 중심까지 60mm 이다 레이더 실측 실험에서 철근의 수평배근 간격을 60 90, 120, 150 mm 로 변화시켜 간격탐사가능성을 시험하였다 결과적으로 상용 시스템에 비해 샹상된 판별효과를 나타냈으며 배근 간격이 90, 120, 150mm 인 시편에서 그 간격을 정확히 찾아내었다.