Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2016.11a
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- Pages.103.2-103.2
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- 2016
Thickness Distributions of Metal Nitride Films Manufactured by Cathodic Vacuum Arc Deposition
음극진공아크에 의해 제조된 금속질화물 박막의 두께 분포
- Published : 2016.11.17
Abstract
금속질화물 박막은 대표적인 고경도, 고내열성 박막이다. 박막의 두께는 기계적물성과 밀접한 상관관계가 있으며, 두께의 관리와 제어는 매우 중요하다. 3조 2배열의 증발원을 이용하여 Cathodic vacuum arc deposition(CVAD)법으로써 금속질화물 박막을 제조하였으며, 평균 두께
Keywords