미소탐침을 STM과 같이 PZT등의 압전액튜에이터로 대상물을 2차원 또는 2.5차원 주사해서 그 정전량을 화상화하는 주사형 정전용량 현미경(SCaM)의 개발에 대해서 기술했다. 광학현미경과 레이저현미경은 빛을 이용하기 때문에 파장의 제약을 받아 그 분해능의 한계는 0.3[.nu.m]정도이다. 이것에 대해 SCaM은 광학방식가 같은 분해능의 원리적 한계가 없고, 또한 광학상과는 다른 유전율상의 특성화상이 얻어진다. 이와같은 특징에 의해, 최종적으로 0.01[.mu.m]레벨의 분해능을 얻을 수 있는 실용레벨의 현미경을 시험제작함을 목적으로 하고 있다. 본 연구에서는 탐침과 시료표면간의 거리를 진동에 의해 미소로 변화시켰을 때의 정전용량의 변화를 포착하는 미분용량법을 이용했으며, 탐침높이 및 주사시에 있어서의 검출기 출력의 재현성, 즉 신호 검출방식으로서의 S/N이 양호한 동기검파를 이용했을 대해서 실험적 검토를 하였다. 이와같은 검파방식에 의해 잡음, 히스테리시스 등의 영향에 대해 개선이 되고, 분해능도 향상되었다. 더욱이 2.5차원 탐침 주사방식 미분용량형 정전용량 현미경에 의해 칼날 부분 선단부의 확대화상이 명료하게 얻어졌다. 그러나 실용적으로는 아직 불충분하다.
Park, In-Yong;Jo, Bok-Rae;Han, Cheol-Su;An, Jong-Rok;;Kim, Ju-Hwang;Sin, Seung-Min;An, Sang-Jeong
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2014.02a
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pp.402.2-402.2
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2014
과학과 기술이 발전할수록 나노크기를 넘어서 나노 크기미만의 관찰 분해능과 가공능력이 필수로 요구되어 측정장비와 가공장비의 연구 및 개발이 매우 중요하다. 현재는 주사전자현미경과 투과전자현미경의 발달로 나노크기 이하의 이미징 분해능에는 도달하였지만, 전자 입자의 가벼운 무게 때문에 가공측면에서는 한계를 가지고 있다. 또한 지난 수십 년간 정밀가공에 사용된 갈륨이온 LMIS(Liquid Metal Ion Source)기반의 집속이온빔 시스템은 수십 nm의 가공정밀도를 가지지만 10 nm 미만의 가공정밀도까지 구현하기에는 현재 기술적인 한계로 힘들다. 나노크기 이하의 이미징 분해능과 수 nm의 가공정밀도를 갖는 이온현미경이 최근에 상용화되어 판매되고 있는데, 이 이온 현미경에 사용되는 것이 가스장 이온원(GFIS:Gas Field Ionization Source)이다. 가스장 이온원은 작은 발산각, 작은 가상 이온원 크기 그리고 좁은 에너지 퍼짐의 특징을 가지며 이에 따라 구면수차 및 색수차에도 둔감한 특징을 가지고 있다. 또한 LMIS 는 갈륨이온이 시편속에 파고들어 시편의 물질 특성이 변화되는 문제가 있지만, GFIS에서는 주로 He, Ne 와 같은 불활성 기체를 주로 사용하므로 시편과 반응을 최소화 할 수 있는 장점도 있다. 위와 같은 특징을 갖는 이온빔을 GFIS 로 생성하고 이온현미경에 사용하기 위해서는 이온빔이 팁의 단원자 내지 수 개 정도의 원자에서 생성되도록 해야 한다. 본 연구에서는 GFIS 의 원리를 소개하고 장(전계)이온현미경(Field Ion Microscope)실험을 통하여 GFIS기반으로 생성된 이온빔의 형상을 보여준다. 또한 높은 각전류밀도 구현을 위하여 질소가스 에칭으로 텅스텐 팁 끝 단원자에서만 이온빔을 생성하고, 각전류 밀도 계산과 안정도 실험결과로 본 연구에서 개발한 이온원이 이온총으로서의 이온현미경 적용 가능성에 대해 보여준다.
Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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v.30
no.3
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pp.530-539
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2003
The aim of this study was to evaluate the resistance to degradation of four commercial composite resins in an alkaline solution. The brands studied were Charisma, Filtek P 60, Palpique Estelite, and Spectrum. Preweighed discs of each brand were exposed to 0.1N NaOH solution at $60^{\circ}C$. After 2 weeks they were removed, neutralized with HCl, washed with water and dried. Resistance to degradation was evaluated on the basis of following parameters: (a) mass loss(%) - determined from pre-and post-exposed specimen weights; (b) Si loss(ppm) - obtained from ICP-AE analysis of solution exposed to specimens; and (c) degradation depth(${\mu}m$) - measured SEM and CLSM from polished circular sections of exposed specimens. The results were as follows: 1. The sequence of mass loss was in descending order by Palpique Estelite, Filtek P 60, Charisma, and Spectrum. 2. The sequence of the degree of degradation layer depth was in descending order by Filtek P 60, Charisma, Palpique Estelita, and Spectrum. 3. The sequence of the Si loss was in descending order by Chrisma, Spectrum, Palpique Estelite, and Filtek P 60. 4. The correlation coefficient between mass loss and degradation layer depth was relatively high(r=0.704, p<0.05). 5. When observed with SEM, destruction of bonding was observed between resin matrix and filler. 6. When observed with CLSM, degradation layer depth of composite resin surface was observed.
Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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v.29
no.3
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pp.430-438
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2002
The aim of this study was to evaluate the resistance to degradation of four commercial composite resins-Prodigy(Kerr, USA), Vitalescence(Ultradent, USA), Z 250(3M, USA), Filtek flow(3M, USA)- in an alkaline solution. Resistance to degradation was evaluated on the basis of following parameters: (a) mass loss(%), (b) Si loss(ppm), (c) degradation depth($\mu}m$). The results were as follows: 1. There was no significant difference between Prodigy and Vitalescence, also Z 250 and Filtek flow. But, there was significant difference between former group and latter group. 2. The sequence of the degree of degradation layer depth was in descending order by Z 250, Filtek flow, Prodigy, Vitalescence. There was significant difference among the materials. 3. The sequence of the Si loss was in descending order by Filtek flow, Z 250, Prodigy, Vitalescence. There was significant difference among the materials. 4. The correlation coefficient between mass loss and degradation layer depth(r=0.714, p<0.05), mass loss and Si loss(r=0.770, p<0.05), and degradation layer depth and Si loss(r=0.930, p<0.05) were relatively high. 5. When observed with SEM, destruction of bonding was observed between resin matrix and filler. 6. When observed with CLSM, degradation layer depth of composite resin surface was observed.
Kim, Gwang-Cheon;Choe, Won-Cheol;Jeong, Gyu-Ho;Kim, Hyeon-Jae;Kim, Jin-Sang
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.02a
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pp.451-451
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2011
적외선 소자의 재료로 쓰이는 액상 에피 성장법(Liquid phase epitaxy: LPE)으로 성장된 HgCdTe (MCT)박막의 Hg 분위기 열처리에 따른 구조적 변화를 고 분해능 투과 전자 현미경으로 관찰하였다. 일반적으로 LPE방법으로 성장된 MCT박막은 성장 방법의 특성상 Te 과다 영역의 성장용액이 사용되므로 상온 냉각 과정에서 박막 내 국부적인 Te 석출물을 형성 시킬 가능성이 높다. 또한, 성장 과정시 높은 Hg 증기압으로 인해 Hg-vacancy가 존재하므로 품질을 저하시키는 요인이 된다. 따라서, 본 실험에서는 Hg-vacancy와 국부적인 Te 석출물의 제거를 위해 Hg 분위기 열처리 공정을 실시하여 박막의 결정성 변화 및 국부적인 조성 변화를 관찰하였다. 실험결과, 열처리에 따른 Hg의 박막 내 공급으로 인한 이차상의 형성 등이 관찰 되었으며 부피 팽창으로 인해 격자의 변형이 관찰 되었다. 이는 투과 전자 현미경의 고 분해능 이미지 와 Gaussian mask filtering 기법으로 보여진 격자 줄무늬상 (lattice fringe)으로 확인 하였다. 또한, 열처리에 따른 국부적인 조성 편기의 해소는 high angle annular dark field scanning TEM(HAADF-STEM)을 이용하여 관찰 하였다.
Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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v.31
no.2
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pp.190-201
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2004
The aim of this study was to evaluate the resistance to degradation and to compare the wear resistance characteristics of four esthetic restorative materials in an alkaline solution. The brands studied were Charmfil, Charmfil flow(composite resin), Compoglass F and PrimaFlow(compomer). The results were as follows: 1. The mass loss were not significantly different among the materials(p>0.05). 2. The sequence of the degree of degradation layer depth was in descending order by Compoglass F, PrimaFlow, Charmfil, and Charmfil flow. There were significant differences between Compoglass F and the others(p<0.05). 3. The sequence of the Si loss was in descending order by Charmfil flow, Charmfil, PrimaFlow, and Compoglass F. There were significant differences among these materials(p<0.05). 4. When observed with SEM, destruction of bonding between matrix and filler was observed and when observed with CLSM, the depth of degradation layer of specimen surface was observed. 5. The sequence of maximum wear depth was in descending order by Comfoglass, PrimaFlow Charmal, and Charmfil flow. There were significant differences among these materials(p<0.05). 6. The correlation coefficient between Si loss and degradation layer depth (r=0.602, p<0.05) Vicker's hardness number and maximum wear depth (r=0.501, p<0.05) were relatively high. These results indicate that wear and hydrolytic degradation may be considered to be evaluation factors of composite resins and compomers.
Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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v.32
no.3
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pp.557-568
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2005
The aim of this study was to evaluate the resistance to degradation and to compare the wear resistance characteristics of four esthetic restorative materials in an alkaline solution(0.1N NaOH). The brands studied were MetafilCX(Sun medical, Japan) Solitaire 2(Heraeus Kulzer, USA), Composan LCM(Promedica, Germany), DenFil(Vericom, Korea). The results were as follows: 1. The mass loss of each brand was 0.74~7.94% and highest value in Metafil($7.94{\pm}0.39%$). 2. The sequence of the degree of degradation layer depth was in descending order by Metafil, Solitaire 2, DenFil, Composan LCM. There were significant differences between Metafil and the others(p<0.05). 3. The sequence of the Si loss was in descending order by Metafil, Solitaire 2, Composan LCM, DenFil. There were significant differences among the materials(p<0.05). 4. On SEM, destruction of bonding between matrix and filler and on CLSM, the depth of degradation layer of specimen surface was observed. 5. The sequence of maximum wear depth was in descending order by Metafil, Solitaire 2, Composan LCM and DenFil. There were significant differences among the materials(p<0.05). 6. The correlation coefficient between Si loss and degradation layer depth (r=0.491, p<0.05) and Vicker's hardness number and maximum wear depth (r=-0.942, p<0.05) were relatively high. These results indicate that hydrolytic degradation and wear may consider as a evaluation factors of composite resins.
In this work, we have studied on time-resolved transient reflective image of single crystalline Si surface after single-shot fs-laser irradiation with varying the laser fluence under two different laser spot sizes. The temporal profiles of transient reflectivity changes as well as its maximum values at the early delay time were found to be strongly dependent on both the laser beam spot size and laser fluence. We have interpreted the dependence of transient reflectivity changes on the laser spot size in terms of a relaxation of the generated free carriers to the bulk silicon, which should be interacted with the plasma.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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