• Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
• /
• 1998.11a
• /
• pp.283-287
• /
• 1998

안전방제 센서용으로서 습도제어는 급속한 과학기술의 발전에 따라 정밀, 전자, 식품, 섬유, 농업 등의 산업발전에도 상호 연관되어 습도센서는 생산관리, 품질향상, 빌딩 공조제어를 위해서 개발이 절대로 요구되고 있다. 습도센서는 생산공정의 제어와 산업안전의 경보 시스템분야에서부터 인간생활, 식물의 생육에 이르기까지 광범위하게 사용되고 있다. 1.2.3) 특히 반도체 산업은 전공정에 걸쳐 습도를 초정밀하게 제어하여야 한다. (중략)

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2005.07c
• /
• pp.1898-1899
• /
• 2005

반도체 집적회로 공정에서 사용되는 폴리이미드 포토레지스트(P12723, Dupont)를 감습막으로 사용하는 마이크로 습도센서 소자를 제작하였다. 마이크로 습도센서는 실리콘 웨이퍼 기판 위에 $SiO_2$ 박막을 건식열산화 공정으로 제작하고, Al 박막을 포토리소그라피 공정으로 패터닝 한 IDT (Interdigital Transducer)를 전극 위에 폴리이미드 포토레지스트를 공정변수를 다양하게 조절하면서 감습막으로 제작하였다. 폴리이미드 감습막은 스핀코팅법으로 제작하였으며, 회전수를 조절하여 두께를 변화시켰다. 완성된 마이크로 습도센서 소자의 상대습도 변화$(10{\sim}90% RH)$에 따른 정전용량 값 변화를 항온항습조 내에서 다양한 온도에서 HP4192A Impedance Analyzer를 사용하여 조사함으로써, 폴리이미드 포토레지스트를 사용하는 마이크로 정전용량형 습도센서의 제작 가능성을 검토하였다. 폴리이미드 정전용량형 마이크로 습도센서는 다양한 인가 전원 주파수에서 기준 센서로 사용된 상용 Vaisala Hygrometer와 유사한 감습특성 및 응답특성을 보였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
• /
• 1998.11a
• /
• pp.279-282
• /
• 1998

습도가 안전의 요소로서 비중이 증가하고 습도의 이상검출을 필요로 하는 위험물의 저장, 식품, 섬유, 전자 등의 산업이 발달함에 따라 인간의 안락함과 정상상태의 습도를 안전하게 유지하고 이상발생에 대해 검출할 수 있는 환경적인 안전에 사용될 수 있는 습도센서의 연구가 진행되고 있으며 습도센서의 영역에서 결로센서의 중요성은 금수성 위험 물질의 저장 및 관리, 화학 plant 공정제어 등 안전분야에서 필수적으로 요구되고 있다. (중략)

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2007.07a
• /
• pp.1277-1278
• /
• 2007

본 논문에서는 폴리이미드를 감습재로 한 정전용량형 습도 센서의 상용화 연구 결과를 보고한다. 유리 기판상에 제작된 용량형 습도센서는 감도 0.338pF%RH, 히스테리시스 1.7%.인 특성을 나타내었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2002.07c
• /
• pp.1997-1999
• /
• 2002

고분자 주쇄(Main chain)의 소수성을 가지는 플루오르 그룹을 배제시킨 습도 민감성 폴리이미드를 합성 및 이미드화 하였고, 이를 이용한 초고참도 습도 센서를 제작 및 측정하였다. 사용된 폴리이미드는 다이아민계로 Oxydianyline(ODA)와 다이안하이드라이드계로 Pyromellitic dianhydried(PMDA)를 유기용매 Dimethyla cetamide(DMAc) 하에서 폴리이미드 전구체 (Polyamic acid)를 합성하였으며, 진공 및 승온 조건에서 유기용매를 제거하여 이미드화(Imidization) 반응을 진행시켜 제조하였다. 본 습도 센서는 정전용량형 고감도 습도 센서로 디자인되었으며 실리콘 웨이퍼상에서 일반적인 반도체 공정을 이용하여 구현하였다. 본 습도 센서는 센서 크기와 유효면적, 감습층의 두께를 주요 변수로 설정하였으며 이에 따른 습도 민감성 효과를 평가 및 분석하였다. 측정 결과 유효면적 70%, 감습층 두께 $1.1{\mu}m$ 로 제작된 습도 센서는 상대숨도$20%{\sim}90%$ 영역에서 캐패시턴스와 선형적 상관관계를 보여주고 있으며, 습도 민감도는 3.9 pF/%RH 클 얻을 수 있었다.

• Electrical & Electronic Materials
• /
• v.7 no.5
• /
• pp.438-446
• /
• 1994

인류는 지금 2차석기시대를 맞이하고 있으며 이 시대는 인공으로 만들어지는 돌인 세라믹이 단순히 용기나 도구로 사용되는 것 이외에 정보화사회에 있어서 기술의 관건이 될 지능소자로서 사용되고 있다. 세라믹은 내열성, 내식성, 내마모성이라는 특성으로 인해 많이 이용되어 왔지만 이러한 특성 이외에도 전자적 기능, 광학기능, 화학기능 등 "두뇌"도 우수한 재료라 할 수 있다. 더구나 세라믹은 인간을 대신하여 감지하는 것이 가능한 각종 센서로서도 폭넓게 이용되고 있다. 인간에 있어서 눈, 코, 귀, 혀, 피부 등 오감이 센서이며, 눈은 물체를 식별하는 것으로 빛을 검출하고 귀는 소리를 듣는 것으로 압력과 음파를 검출하고, 코는 냄새로 가스나 온도를 검출하고, 혀는 맛으로 미각을 검출하고, 피부는 촉각에 의한 압력, 온도, 습도를 검출하며, 인간의 오감에 대응되지 않는 것으로 세라믹 센서는 자기장을 감지할 수 있다. 이와같이 센서는 용도에 따라 수많은 센서가 개발되어 그 종류가 대단히 많기 때문에 모든 센서에 대해서 기술한다는 것은 어렵다. 그러므로 여기서는 센서중에서 기본적인 가스센서와 습도센서에 대해 소개하기로 한다. 소개하기로 한다.

• 전기의세계
• /
• v.41 no.2
• /
• pp.12-21
• /
• 1992

현재 습도측정분야는 측정의 정화도 향상 및 저온, 저습, 고온 등 특수 환경에서 측정을 위한 연구와 응답속도가 빠르고 정확도가 높으며 신뢰성 있는 습도센서 및 측정기기 개발연구가 진행되고 있다. 습도센서의 개발연구는 감습물질, 제조기술, 성능평가 연구를 포함하고 있으며, 물질 연구에서 고분자 감습재료에 대해 연구한 결과에 의하면, 고분자 감습물질에서 -OH기나 C=O기와 같은 친수성기와 탄화수소계열의 소수성기의 적절한 조합을 통하여 감습특성을 개선할 수 있으며 그한가지 방법으로 플라즈마중합이 시도되었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
• /
• 1999.06a
• /
• pp.111-114
• /
• 1999

습도 제어가 안전관련분야에서 점차 그 비중이 증가하여 안전방재용 습도센서로 금수성 물질 및 기타 위험물의 저장, 핵발전소의 반응기, 고압보일러, LPG 이송 및 저장, 화학 plant 등의 습도제어 분야에 사용되고 있으며 이 외에도 섬유, 식품, 전자 등의 산업분야에서 안전 범위내의 습도 유지 및 검출을 목적으로 널리 사용된다. (중략)

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
• /
• 2000.10a
• /
• pp.245-250
• /
• 2000

고습도 또는 결로시 내수성을 지니는 저항형 습도센서를 제조하기 위하여 vinylbenzyl tributyl phosphonium chloride를 포함하는 4원 공중합체를 합성하여 저습도와 고습도 범위에서 측정이 가능한 습도센서용 감습막을 제작하였다. 1,5-dibrompentane과 4차 염화 가교 반응을 통하여 최종 저항형 습도센서를 제작하였다. 감습막은 알루미나 기판에 한 쌍의 금 paste가 인쇄된 전극을 사용하였으며, 감습막은 다양한 비율의 vinylbenzyl tributyl phosphonium chloride, 2-(dimethlamino)ethyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 그리고 [2-(methacryloyloxy)ethyl]trimethyl ammonium chloride 등을 이용하여 제조하였다. 감습막은 micro-syringe를 이용하여 도포하였으며 건조 oven에서 50℃에서 6시간 동안 가교반응을 진행하였다. 습도센서의 임피던스 특성은 2-(dimethylamino)ethyl methacrylate 또는 [2-(methacryloyloxy)ethyl]trimethyl ammonium chloride의 함량이 증가할수록 감소하였다. vinylbenzyl tributyl phosphonium chloride / 2-(dimethylamino)ethyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / [2-(methacryloyloxy)ethyl]trimethyl ammonium chloride의 조성비가 4/4/1/1인 공중합체의 경우 30-90%RH 범위에서 2.64 ㏁ - 3.11 ㏀의 임피던스 특성을 보였으며 우수한 직선성과 낮은 히스테리시스 나타내었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
• /
• 2014.05a
• /
• pp.425-428
• /
• 2014

기존의 옷장은 습도를 조절하려면 사용자가 스스로 습기와 냄새를 조절하기 위해 숯, 신문지, 선풍기 등의 보조적인 물품을 이용하여 습도 및 냄새를 제어하는 방식을 주로 사용한다. 집안의 습도를 조절하는 제습기, 냉장고나 화장실같이 습도가 높을 수밖에 없는 장소에 습도를 조절하기 위한 특수 제습제들이 출시되어 있다. 그중 옷장을 위한 보조 물품으로 여러 가지 제습제들이 개발되어 사용되고 있지만 여러 가지 불편한 점이 존재한다. 본 논문에서는 현재 시중에 제공되고 있는 옷, 냉장고보다 저렴하고 효율이 높은 옷장의 습도 자동화를 위해 습도 센서를 이용해 옷장안의 습도를 점검하고 직접 또는 원격으로 조절하는 효율적인 관리 방법을 알아보고 이를 통해 옷장의 습도 자동화에 따른 장점들을 종합하여 효율적인 옷장의 습도 조절 방법을 제시하였다.