RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 $CaTiO_3:Pr$ 박막증착에 관한 연구 (Deposition of $CaTiO_3:Pr$ Thin Films by rf Magnetron Sputtering)

• 정승묵;정영호;김영진
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.174-174
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  • 1999
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스퍼터링법에 의해 제작된 $LiMn_2O_4$ 박막의 충방전에 따른 임피던스분석 (Impedance Analysis with Charge/Discharge Cycle of Thin Film $LiMn_2O_4$ Fabricated by Sputtering Method)

• 김주석;박영신;김찬수;주승기
• • 한국전기화학회:학술대회논문집
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  • 한국전기화학회 1999년도 제3회 총회 및 추계학술발표회
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  • pp.60-60
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  • 1999
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R.F. magnetron 스퍼터링법에 의한 이트리아 안정화 지르코니아 박막 고체전해질의 기계적 특성 (Mechanical properties of yttria stabilized zirconia thin film electrolytes by R.F. magnetron sputtering)

• 정인호;이유기;박종완
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1998년도 한국재료학회 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.115-115
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  • 1998
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반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조 (Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target)

• 이광은;이정영;박명진;김종희;이천배;김종오
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.36-36
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  • 2003
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r.f. 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 후열처리에 의한 배향 성장 및 강유전 특성

• 배철휘;이전국;이시형;채희권;정형진
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1998년도 제16회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.62-62
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  • 1998
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마그네트론 스퍼터링법을 이용한 투명전도성박막(AZO, GZO)의 성막특성 (Deposition Characteristic of Transparent Conductive Films (AZO, GZO) by Magnetron Sputtering)

• 송풍근
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 2006년도 춘계학술발표회 초록집
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  • pp.22-22
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  • 2006
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마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 오스테나이트 스테인리스강 박막에서의 질소와 산소 첨가 효과 (Characteristic of N-or O-doped austenitic stainless steel film synthesized using magnetron sputtering processing)

• 김광석;이상율
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 2000년도 춘계학술발표회 초록집
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  • pp.9-10
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  • 2000
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ICP 스퍼터링법에 의하여 제조된 TiN 피막의 기계적 특성에 관한 연구 (Mechanical properties of TiN coatings deposited by inductively coupled plasma assisted direct current magnetron sputtering)

• 임주완;박흥식;이정중
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 2000년도 춘계학술발표회 초록집
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  • pp.27-28
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  • 2000
• PDF

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AIN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구 (A TEM Study on the Growth Mechanisms of AIN and ZnO Thin Films by RF Magnetron Spputtering)

• 최재형;이정용
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1995년도 제8회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.019-20
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  • 1995
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마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구

• 정재혜;이성훈;윤정흠;이건환
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
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  • pp.259.2-259.2
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  • 2009
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