Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1995.02a
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- Pages.019-20
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- 1995
A TEM Study on the Growth Mechanisms of AIN and ZnO Thin Films by RF Magnetron Spputtering
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AIN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구
Abstract
Keywords