Deposition of $CaTiO_3:Pr$ Thin Films by rf Magnetron Sputtering (RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 $CaTiO_3:Pr$ 박막증착에 관한 연구)

• 정승묵;정영호;김영진
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1999.11a
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  • pp.174-174
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  • 1999
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Impedance Analysis with Charge/Discharge Cycle of Thin Film $LiMn_2O_4$ Fabricated by Sputtering Method (스퍼터링법에 의해 제작된 $LiMn_2O_4$ 박막의 충방전에 따른 임피던스분석)

• 김주석;박영신;김찬수;주승기
• • 한국전기화학회:학술대회논문집
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  • 1999.10a
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  • pp.60-60
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  • 1999
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Mechanical properties of yttria stabilized zirconia thin film electrolytes by R.F. magnetron sputtering (R.F. magnetron 스퍼터링법에 의한 이트리아 안정화 지르코니아 박막 고체전해질의 기계적 특성)

• 정인호;이유기;박종완
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1998.05a
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  • pp.115-115
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  • 1998
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Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target (반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조)

• 이광은;이정영;박명진;김종희;이천배;김종오
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 2003.11a
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  • pp.36-36
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  • 2003
• PDF

r.f. 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 후열처리에 의한 배향 성장 및 강유전 특성

• 배철휘;이전국;이시형;채희권;정형진
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1998.06a
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  • pp.62-62
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  • 1998
• PDF

Deposition Characteristic of Transparent Conductive Films (AZO, GZO) by Magnetron Sputtering (마그네트론 스퍼터링법을 이용한 투명전도성박막(AZO, GZO)의 성막특성)

• Song Pung-Geun
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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  • 2006.04a
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  • pp.22-22
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  • 2006
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Characteristic of N-or O-doped austenitic stainless steel film synthesized using magnetron sputtering processing (마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 오스테나이트 스테인리스강 박막에서의 질소와 산소 첨가 효과)

• 김광석;이상율
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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  • 2000.05a
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  • pp.9-10
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  • 2000
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Mechanical properties of TiN coatings deposited by inductively coupled plasma assisted direct current magnetron sputtering (ICP 스퍼터링법에 의하여 제조된 TiN 피막의 기계적 특성에 관한 연구)

• 임주완;박흥식;이정중
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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  • 2000.05a
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  • pp.27-28
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  • 2000
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A TEM Study on the Growth Mechanisms of AIN and ZnO Thin Films by RF Magnetron Spputtering (RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AIN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구)

• 최재형;이정용
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1995.02a
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  • pp.019-20
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  • 1995
• PDF

마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구

• Jeong, Jae-Hye;Lee, Seong-Hun;Yun, Jeong-Heum;Lee, Geon-Hwan
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2009.02a
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  • pp.259.2-259.2
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  • 2009
• PDF

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