• Title/Summary/Keyword: 수직형전기로

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Design of Vertical Type MEMS Probe with Branch Springs (분기된 구조를 갖는 수직형 MEMS 프로브의 설계)

  • Ha, Jung-Rae;Kim, Jong-Min;Kim, Byung-Ki;Lee, June-Sang;Bae, Hyeon-Ju;Kim, Jung-Yup;Lee, Hak-Joo;Nah, Wan-Soo
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.21 no.7
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    • pp.831-841
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    • 2010
  • The conventional vertical probe has the thin and long signal path that makes transfer characteristic of probe worse because of the S-shaped structure. So we propose the new vertical probe structure that has branch springs in the S-shaped probe. It makes closed loop when the probe mechanically connects to the electrode on a wafer. We fabricated the proposed vertical probe and measured the transfer characteristic and mechanical properties. Compared to the conventional S-shaped vertical probe, the proposed probe has the overdrive that is 1.2 times larger and the contact force that is 2.5 times larger. And we got the improved transfer characteristic by 1.4 dB in $0{\sim}10$ GHz. Also we developed the simulation model of the probe card by using full-wave simulator and the simulation result is correlated with measurement one. As a result of this simulation model, the cantilever probe and PCB have the worst transfer characteristic in the probe card.

수직 정렬된 실리콘 와이어 어레이의 제작 방법과 동심원형 p-n 접합 태양전지의 제조 및 동향

  • Kim, Jae-Hyeon;Baek, Seong-Ho;Jang, Hwan-Su;Choe, Ho-Jin;Kim, Seong-Bin
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.12.2-12.2
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    • 2010
  • 반도체 소자, 바이오 센서, 태양전지 등에서 집적도 및 소자 성능 향상을 위해서 최근 실리콘 소재를 위주로 한 수직 정렬형 와이어 어레이와 같은 3차원 구조의 소재에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 깊은 반응성 이온 식각법(DRIE: Deep Reactive Ion Etching)과 같은 건식 식각법으로 종횡비가 높은 실리콘 와이어 어레이를 제작할 수 있지만 시간과 공정비용이 많이 소요된다는 단점이 있고 양산성이 없다. 이를 극복하기 위해서 VLS (Vapor-Liquid-Solid)방법이 연구되고 있지만 촉매로 사용되는 금속의 오염으로 인한 소자 성능의 저하를 피할 수가 없다. 본 연구진에서 연구하는 있는 전기화학적 식각법을 사용하면 이러한 문제를 극복하고 매우 정렬이 잘 된 실리콘 와이어 어레이를 제작할 수 있으며 최적 조건을 정립하면 균일하고 재현성 있는 다양한 종횡비의 기판 수직형 실리콘 와이어 어레이를 제작할 수 있다. 또한, 귀금속 촉매 식각법은 금속 촉매를 사용하여 식각을 하지만 VLS 방법과 달리 Top-down 방법을 사용하기 때문에 최종 공정에서 용액에 담구어 귀금속을 식각하여 제거 하면 귀금속 촉매가 실리콘을 오염시키는 일은 배제할 수 있다. 귀금속 촉매 식각법의 경우 사용되는 촉매의 다양화, 포토리소그래피 방법, 그리고 식각 용액의 조성 변화에 따라 다양한 형상의 와이어 어레이를 제작할 수 있으며 이에 대한 결과를 소개하고자 한다. 3차원 실리콘 와이어 어레이를 사용하여 동심원형 p-n접합 와이어 어레이를 제작하면 소수캐리어의 확산거리가 짧아도 짧은 동심원 방향으로 캐리어를 포집할 수 있고 태양광의 입사는 와이어 어레이의 수직 방향이므로 태양광의 흡수도 효율적으로 할 수 있기 때문에 실리콘의 효율 향상을 달성할 수 있다. 이에 대한 본 연구진의 연구결과 및 최근 연구 동향을 발표하고자 한다.

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플라즈마 처리에 의한 원뿔형 다중벽 탄소나노튜브 다발의 형성기전

  • Im, Seon-Taek;Kim, Gon-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.129-129
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    • 2010
  • 플라즈마 처리를 통하여 수직 합성된 다중벽 탄소나노튜브가 원뿔형 다발이 될 수 있으며 원뿔형 탄소나노튜브 다발은 기존의 구조적, 기계적 성질의 향상과 더불어 향상된 전계방출 능력을 가질 것으로 기대되어 이를 X-선원, 전계방출디스플레이(FED), 유기발광다이오드(OLED) 백라이트 등의 전자빔 원으로 적용하기 위한 연구가 진행되고 있다. 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 형상 제어를 통하여 전계방출특성을 향상시킬 수 있으며 이를 위해 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 생성되는 메커니즘과 조사되는 플라즈마의 역할에 대해서 이해하는 것이 중요하다. 본 연구에서는 플라즈마 생성부와 조사부를 분리한 유도결합형 플라즈마 원을 사용하여 입사되는 이온의 에너지, 조사량, 입자 종을 독립적으로 제어하였고 이를 통하여 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 형성되는 메커니즘과 플라즈마의 역할을 밝혀내었다. 알곤 및 수소 플라즈마 처리에서는 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 형성되지 않았으나 질소 및 산소 플라즈마 처리에서는 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 형성되었다. 특히 산소 플라즈마 처리가 원뿔형 탄소나노튜브 다발 형성에 효과적이었다. 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 형성 메커니즘은 탄소나노튜브의 분극과 쉬스 전기장의 상호작용을 이용한 모델을 사용하여 설명하였다. 질소 및 산소 플라즈마 처리에서는 탄소나노튜브 끝단에 생성되는 C-N, C-O 결합에 의해 향상된 유도 쌍극자와 쉬스 전기장에 의해 탄소나노튜브 끝단이 모여 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 생성됨을 밝혀내었다. 산소 플라즈마 처리에서 입사되는 이온의 에너지 조절에 의한 쉬스 전기장 조절과 조사량 조절을 독립적으로 수행하여 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 직경 및 높이가 쉬스 전기장 및 조사량에 따라 조절 가능함을 보였다. 이로부터 입사되는 이온의 입자 종, 쉬스 전기장 및 조사량 조절 등의 플라즈마 인자 조절을 통하여 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 형상 제어가 가능함을 보였다. 탄소나노튜브의 형상 제어와 더불어 세슘 입자 삽입을 통한 탄소나노튜브의 일함수 감소를 통하여 향상된 전계 방출 특성을 갖는 탄소나노튜브 팁의 제조 가능성을 확인하였다.

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A theoretical Study of robot artificial joint with spherical- or hemispherical type permanent magnet (구형 또는 반구형 영구자석을 이용한 인공관절에 대한 연구)

  • Kim, In-Ku;Hwang, In-Sung;Goh, Chang-Sub
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.04c
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    • pp.37-38
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    • 2007
  • 로봇의 메커니즘 중 가장 어렵고 필수 구성 수단인 부품으로 여겨지는 것은 관절이다. 이에 관해서 오래 전부터 많은 연구가 수행되고 있다. 본 논문은 이 로봇관절에 대한 것으로 축에 연결된 구형 또는 반구형 영구자석을 이용하여 관절의 자유도를 늘림과 동시에 응답속도를 빠르게 하기 위한 장치에 대한 연구로서 영구 자석과 고정자 사이에 공극을 두고 서로 수직으로 교차하도록 고정자 권선을 배치하고 권선에 전류를 흘려서 관절을 움직이게 하는 방법이다. 구형 또는 반구형자석이 장착된 축과 반구형 쉘(shell) 내부에 교차하는 두 개의 고정자 권선이 장착된 축으로 구성된 것을 특징으로 한다.

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Mass Estimated Adaptive Controller for Nonlinear Friction Compensation in Linear Motor System (선형모터 시스템의 비선형 마찰 보상을 위한 질량 추정형 적응 제어기)

  • Lee, Jin-Woo;Sun, Jung-Won;Lee, Young-Jin;Suh, Jin-Ho;Lee, Kwon-Soon
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.07d
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    • pp.2558-2560
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    • 2005
  • 본 논문에서는 마찰력과 질량은 수직항력에 의해 관계하고, 시스템 입출력 관계에서도 도출할 수 있음에 착안하여, LuGre 모델을 기반으로 하는 수직항력 관측이 가능한 보상기 적용과 동시에 제어 입력과 시스템 출력 관계를 적응규칙을 통해 질량추정기를 설계하여 제어 입력의 스케일로 사용함으로써 그 성능을 더욱 향상시키고자 하였다.

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박막자기기록재료

  • 이택동
    • Electrical & Electronic Materials
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    • v.1 no.3
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    • pp.197-208
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    • 1988
  • 현재 특히 컴퓨터용 외부 기록매체분야에서 재래식 자성분말 코팅형 매체에 대해서 여러가지 보다 우수한 특성을 가진 경합재료가 경쟁적으로 개발되고 있다. 먼저 면재기록방식의 경우에 괄목할 발전을 하고 있는 것은 Co-Ni-P 및 Co-Ni계 무전해 혹은 스파터된 hard disk용 박막이다. 아직 오버코팅 문제가 완전히 해결되지 않고 그외 기판문제 등에서 개선의 여지가 많지만 그 수요가 급격히 늘고 있다. 그 다음으로 수직기록 방식 매체인데 현재는 Ba-ferrite분말도포매체가 공업적 공정측면에서 산업화에 가깝다. 이는 기존 테이프 메이커들의 설비활용이 가능하고 tribology, 안정성에서 비교적 문제가 적기 때문이다. 그러자 이 재료도 금속분말도포제와 특성이 비슷하고 분말자체 가격도 비슷해서 기존재료와 치열한 경쟁을 이겨야 산업화에 성공할 것으로 생각된다. 이보다 훨씬 고밀도기록이 가능한 소재중에서 Co-Cr수직기록박막이 가장 많이 연구되고 있어서 공업화 가능성이 높지만 head 재료의 개선, tribology 문제해결 등이 선행되어야 공업화가 성공될 것이다. 그러나 선진국 특히 일본, 미국에서 이러한 연구가 엄청나게 많이 진행되고 있어서 빠른 시일내에 산업화가 이루어질 것으로 기대된다.

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Crosstalk Analysis of Holographic Memory System using Fractal - Space Multiplexing (프랙탈-공간 다중화를 이용한 홀로그래픽 메모리 시스템의 누화해석)

  • 김수길;홍선기
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.18 no.1
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    • pp.44-51
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    • 2004
  • Fractal-space multiplexing using a moving window(MW) can multiplex holograms by moving a window left and right. and up and down. But, crosstalk occurs by two neighboring moving windows in the vertical direction of the holographic memory system and limits high-density information recording. Accordingly, we analyzed the crosstalk with the focal length of lens, the distance of MW, and the number of multiplexed hologram to record high-density infromation and presented the optical experimental results of fractal-space multiplexing using volumetric photorefractive crystal and disc type photopolymer.

Flashover Characteristics of Vertical-type Model Power Line in the Presence of Combustion Flame (연소화염 존재 시 수직형 모델 전력선의 섬락 특성)

  • Kim, In-Sik
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.23 no.5
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    • pp.58-65
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    • 2009
  • A forest fire in the area of power line installations may be caused by flashover disturbances in power systems. In this study, experiments were conducted so as to investigate the reduction in dielectric strength caused by combustion flame, and flashover characteristics in the simulated condition of vertical-type model power lines were examined by making shorter and longer the horizontal distance(s) between combustion flame and high-voltage conductors under the application of 60[Hz] a.c. and d.c. high-voltages. As the results of the experimental investigation it is demonstrated that flame can reduce flashover voltages of the model air-gap in shorter range of the horizontal distance(s). Relative air density is considered in order to analyze the reduction causes of the flashover voltages, and it can be seen that the relative air density has a great influence on the flashover characteristics under the presence of combustion flame.

Measurement of Fluorescence Signal Strength of NO Particle Using ICCD (ICCD를 이용한 NO입자의 형광신호강도 측정)

  • 전용우;박원주;이광식;이홍식
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.15 no.4
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    • pp.23-30
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    • 2001
  • In this paper, the discharge image of NO particles wire-cylinder type electrode in the discharge reactor where AC dielectric barrier type corona discharge occurred and horizontal and vertical signal intensity at each flourescence emission during discharge and the horizontal and vertical signal strength of NO particles at flourescence emission wavelength band[236[nm], 247[nm]], were measured were measured by ICCD Camera. In addition discharge images and signal intensities in accordance with discharge time were measured to figure out the discharge mechanism. It was found that the strongest horizontal and vertical signal intensity of NO particles were observed at 247[nm] band, but no big difference in the horizontal and vertical signal intensity in accordance with discharge time was seen. In particular, the phenomenon image occuring inside the discharge reactor and wavelength ware able to be carried based on the measured data.

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A Birdcage Resonator for Magnetic Resonance Imaging (자기공명영상진단을 위한 RF 코일 제작)

  • Won, J.I.;Jeong, E.K.;Kwon, Y.K.;Huh, Y.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 1999.07b
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    • pp.662-664
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    • 1999
  • 본 연구에서는 자기공명영상에서 인체에 에너지를 주고, 신호를 받는 transceiver 역할을 하는 RF(Radio Frequency) 코일을 제작하여 phantom의 영상을 얻었다. 코일의 종류는 high-pass 타입의 birdcage형으로 제작을 하였으며, 영상을 얻는데 사용한 자기공명영상진단장비는 주 자기장의 세기가 1.5T인 GE사의 시스템이다. 이 시스템을 이용하여 phantom의 축방향과 축방향에 수직인 두 방향의 영상을 얻었다.

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