• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.16 no.3
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• pp.51-56
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• 1997

In this paper, we studied the configuration and depth measurement method of the crack in the interior of solid with scanning laser acoustic microscope. Precision measurement method of crack depth is required in SLAM because that system reconstructs the shadow image to the transmission coefficient. We proposed this method that used geometrical structure to the shadow area of SLAM images obtained from oblique incidence and the mode conversion of ultrasound in specimen and then experimented it. For this experiment, we fabricated various specimens which had the vertical line-crack with different depth and made the wedge as 20$^{\circ}$ for oblique incidence. Experimental results showed that the shadow area of SLAM images were proportional to the depth of crack. Measured depth error to the crack was less than 6% compared with practical crack depth.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.17 no.1
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• pp.231-236
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• 2017

The space harmonics generated by a plane-wave incident upon a multi-layered dielectric grating can undergo strong resonance scattering variations known as GMR(guided-mode resonance). To clarify these effects, we examine the field propagation and dispersion curve inside the grating region by using a rigorous equivalent transmission-line theory(RETT). The results show that, at the peak of a scattering resonance, the reflected mode is almost identical to a leaky wave that can be supported by the grating structure. Thus, we confirm and generalize previous research that has occurred GMR effect associated with the free-resonant character of leaky waves at multi-layered dielectric gratings. Quantitative simulation results illustrating the behavior of typical gratings are given, and the special case of normal incidence is discussed for TM mode.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2017.05a
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• pp.71-71
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• 2017

플라즈마를 이용하는 건식 식각 또는 박막 증착 장비(PECVD)의 경우 웨이퍼에 rf bias를 인가하여 이온의 에너지와 입사각을 조절한다. 종래에는 웨이퍼의 가장 자리 3 mm영역을 공정 대상에서 제외하는 exclusion area로 지정하였으나 점차 공정 기술의 발달로 2 mm 이내로 감소하고 있다. 따라서 웨이퍼의 가장 자리에서 발생하는 전기장의 방향 및 크기 변화를 조절할 수 있는 기술의 개발이 필요하게 되었으며 그중 핵심적인 부품이 Si 또는 SiC로 제작되는 edge ring이다. Focus ring이라고도 불리는 이 부품은 웨이퍼 상에서 반경 방향으로 흐르는 가스의 유속이 가장 자리에 근접하면 빨라지는 현상과 이에 의해 식각/증착 화학 반응 속도가 증가하는 문제를 완화하기 위한 것과 적절한 전기 전도도를 부여함으로써 가장 자리의 전기장 분포를 최적화 할 수 있는 새로운 설계 변수로 활용할 수 있다. 스퍼터링의 경우에도 웨이퍼 중앙과 주변 부는 마그네트론 음극의 회전 링과의 입체각이 차이가 나므로 가장 자리의 경우 트렌치나 홀의 내측이 외측에 비해서 증착막의 두께가 얇아지는 문제가 있으며 건식 식각의 경우 홀의 형상이 수직에서 벗어나는 경향이 발생할 수 있다. 또한 사용 시간에 비례해서 edge ring의 형상이 변화하는데 상대적으로 고가품이어서 교체 주기를 설정하는 보다 합리적 기준이 필요하다. 본 연구에서는 전산 유체 역학 모델을 사용하는 ESI사의 CFD-ACE+를 활용하여 edge ring의 형상과 재질이 갖는 영향을 전산 모사하기 위한 기초 작업을 그림 1과 같이 진행하였다. 2D-CCP model에 Ar 가스를 가정하고 비유 전율 10내외 전도도 $0.1/Ohm{\cdot}m$정도의 재질에 대한 용량성 결합 플라즈마에 대해서 계산을 하고 이 때 기판에 인가되는 고주파 전력에 의한 이온의 입사 에너지 분포 및 각도 분포를 Monte Carlo 방법으로 처리하여 계산하였다.

• Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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• v.19 no.6
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• pp.511-520
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• 2007

WAM(WAve Model), deep water wave model has been extended to the region of shallow water, incorporating wave breaking, and triad wave interaction. To verify the model, numerical simulation of waves in Youngil bay, Pohang is performed and the simulated results show good agreements with measured wave data sets, one station at the mouth of bay and two stations inside the bay. As waves propagate toward the shore, wave height gradually diminishes by bottom friction and wave breaking, and wave direction, initially NE changes normal to the shore due to depth refraction.

• Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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• autumn
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• pp.299-302
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• 2000

임의의 매질에서 음파의 전파는 매질의 고유물성 및 구조적 특성에 영향을 받게 된다. 본 연구는 의공학에서 관심을 가지는 골다공증 진단의 기초 물리적 음향 특성을 이해함에 목적을 두고 있다. 따라서 구조적 특성의 중요한 요소인 매질의 다공성에 초점을 두고 있으며, 비강체의 다공성 물질로써 루사이트 판에 원통 형태의 관을 균일하게 배열시켰고 이 관들의 배열을 다공성 구조로 간주하였다. 다공도는 본 연구에서 의미 있는 범위, 약 $0\%-30\%$에 제한하였으며, 다공도에 따른 음향 특성 변화를 관찰하기 위하여 다공도의 차이를 두었고, 관의 직경에 따른 음향 특성 변화를 관찰하기 위하여 같은 다공도와 두 종류의 관의 크기를 갖는 다공성 루사이트를 제작하였다. 실험은 수중에서 음파의 입사각에 대한 의존도를 배제하기 위하여 수직 입사에 대하여 수행하였고 사용된 주파수는 880kHz이다. 다공도 및 관의 크기의 변화에 따른 음파의 투과 계수의 변화를 관측하여 다공도 및 관의 크기의 변화에 따른 음향특성 변화의 상관 관계를 고찰함으로써 골다공증 진단에의 응용 가능성을 연구하였다.

• Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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• autumn
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• pp.273-276
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• 2000

본 연구에서는 무반향 수조의 내벽 흡음 물질로 사용되는 무반향 타일을 쐐기형으로 제작하여 쐐기의 꼭지 각 변화에 따른 음향학적인 특성을 고찰하였다. 실험에서 사용된 쐐기형 무반향 타일의 크기는 $40{\cal}cm{\times}38.5{\cal}cm$ 이며, 타일을 구성하는 각 쐐기의 길이는 $2.75{\cal}cm$로 고정하고 각각 쐐기의 꼭지각이 $30^\circ$ 와 $60^\circ$ 인 타일을 제작하였다. 수중에서 쐐기가 없는 무반향 시료와 쐐기형 무반향 타일에 음파를 수직 입사하여 반사계수를 측정하였으며, 쐐기의 유무와 무반향 타일을 구성하는 쐐기의 꼭지각 변화에 따른 반사 및 흡음 특성을 고찰하였다. 음향특성 임피던스가 $2.14\times10^6$ Pa$\cdot$s/m인 쐐기형 무반향 타일을 25kHz 에서 100kHz의 주파수 영역의 음파를 입사했을 애 쐐기의 꼭지각이 $30^\circ$ 일 때 $60^\circ$보다 압력반사계수가 작고, 반사손실이 증가함을 알 수 있었으며, 그 결과로써 본 실험에서 사용된 $30^\circ$의 쐐기 꼭지각을 갖는 무반향 타일이 내벽 흡음 물질로서 성능이 더 좋다는 것을 확인하였다.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.31 no.4
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• pp.205-213
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• 2012

Active acoustic array signal was measured in the East Sea and the South sea and spatial coherence was analyzed. The measurement of ambient noise, target reflection signal, sea surface backscattering signals took place including environmental measurements of sea wind, and vertical temperature profiles. The spatial coherence of ambient noise was lower than that of target reflection signal in the South Sea. The spatial coherence of target reflection signal was above 0.5 over all array length. The spatial coherence of sea surface backscattering signal was higher in high incident angle. The maximum non-dimensional array length was 3.0 ($26^{\circ}$) and 3.5 ($32^{\circ}$) to have spatial coherence above 0.5 in the East Sea. To find a design criteria for array configuration and array performance, more measurements of temporal and spatial coherence will be needed continuously in the future.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.17 no.12 s.115
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• pp.1240-1248
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• 2006

This paper presents an UHF band(911 MHz) RFID tag antenna which has near-isotropic radiation pattern and easy conjugate impedance matching characteristics to any commercial chips of usual practice through the application of an inductively-coupled feeding. The proposed antenna of compact size $40{\times}46mm\;(0.12{\times}0.14{\lambda})$ has, at normal incidence, the maximum RCS of $-18.5dBm^2$ and the 3 dB RCS bandwidth of 9 MHz(1 %) in case of short chip load. It has the maximum and minimum RCS' of $-16.9dBm^2\;and\;-21.4dBm^2$ depending on the incident angles. The difference of about 4.5 dB is relatively small compared with that (about 70 dB) of a pure dipole antenna. The designed antenna has been fabricated and its RCS' have been measured varying the angles of incidence. The measured RCS' have been found to have good agreement with the simulated ones.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.129-129
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• 2010

플라즈마 처리를 통하여 수직 합성된 다중벽 탄소나노튜브가 원뿔형 다발이 될 수 있으며 원뿔형 탄소나노튜브 다발은 기존의 구조적, 기계적 성질의 향상과 더불어 향상된 전계방출 능력을 가질 것으로 기대되어 이를 X-선원, 전계방출디스플레이(FED), 유기발광다이오드(OLED) 백라이트 등의 전자빔 원으로 적용하기 위한 연구가 진행되고 있다. 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 형상 제어를 통하여 전계방출특성을 향상시킬 수 있으며 이를 위해 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 생성되는 메커니즘과 조사되는 플라즈마의 역할에 대해서 이해하는 것이 중요하다. 본 연구에서는 플라즈마 생성부와 조사부를 분리한 유도결합형 플라즈마 원을 사용하여 입사되는 이온의 에너지, 조사량, 입자 종을 독립적으로 제어하였고 이를 통하여 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 형성되는 메커니즘과 플라즈마의 역할을 밝혀내었다. 알곤 및 수소 플라즈마 처리에서는 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 형성되지 않았으나 질소 및 산소 플라즈마 처리에서는 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 형성되었다. 특히 산소 플라즈마 처리가 원뿔형 탄소나노튜브 다발 형성에 효과적이었다. 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 형성 메커니즘은 탄소나노튜브의 분극과 쉬스 전기장의 상호작용을 이용한 모델을 사용하여 설명하였다. 질소 및 산소 플라즈마 처리에서는 탄소나노튜브 끝단에 생성되는 C-N, C-O 결합에 의해 향상된 유도 쌍극자와 쉬스 전기장에 의해 탄소나노튜브 끝단이 모여 원뿔형 탄소나노튜브 다발이 생성됨을 밝혀내었다. 산소 플라즈마 처리에서 입사되는 이온의 에너지 조절에 의한 쉬스 전기장 조절과 조사량 조절을 독립적으로 수행하여 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 직경 및 높이가 쉬스 전기장 및 조사량에 따라 조절 가능함을 보였다. 이로부터 입사되는 이온의 입자 종, 쉬스 전기장 및 조사량 조절 등의 플라즈마 인자 조절을 통하여 원뿔형 탄소나노튜브 다발의 형상 제어가 가능함을 보였다. 탄소나노튜브의 형상 제어와 더불어 세슘 입자 삽입을 통한 탄소나노튜브의 일함수 감소를 통하여 향상된 전계 방출 특성을 갖는 탄소나노튜브 팁의 제조 가능성을 확인하였다.

• Polymer(Korea)
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• v.37 no.5
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• pp.656-662
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• 2013

The flexible patterned cover film was made by a simple solution coating process using polymethyl methacrylate (PMMA) solution with glass beads. The effect of patterned cover film on the efficiency of solar cell has been investigated. It was found that the relative solar cell efficiency increased up to 3.4% with the incident light angle between $0-90^{\circ}$ by the sphere shape of glass bead coated on the film surface. This was understood that the loss of transmittance and scattering due to the light directional dependency on solar cell were minimized because the light entered glass beads normal to its surface regardless of incident light angle. The maximum relative solar cell efficiency was achieved when glass bead shape on the film is hemisphere and the relative efficiency increased with increasing the amount of glass bead on the film surface. However, too much glass beads on the film surface resulted in the lower relative solar cell efficiency due to the lowering of transmittance as well as the occurring of light interference.