• Title/Summary/Keyword: 수소함량

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Measurement of hydrogen content in a-C:H films prepared by ECR-PECVD (ECR-PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정)

  • 손영호;정우철;정재인;김인수;배인호
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.10 no.1
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    • pp.119-126
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    • 2001
  • Hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films were deposited by ECR-PECVD (electron cyclotron resonance-plasma enhanced chemical vapor deposition) method with deposition conditions such as ECR plasma source power, gas composition of methane and hydrogen, deposition time and substrate bias voltage. The hydrogen content in the films has been measured by ERDA (elastic recoil detection analysis) using 2.5 MeV $He^{++}$ ion beam. From the results of AES (Auger electron spectroscopy), RBS (Rutherford backscattering spectrometry) and ERDA, the composition elements of deposited film were confirmed the carbon atom and the hydrogen atom. It was observed by FTIR (Fourier transform infrared) that the hydrogen contents in the film varied according to the deposition conditions. In deposition condition of substrate bias voltage, the hydrogen contents were decreased remarkably because the amount of dehydrogenation in films was increased as the substrate bias voltage increased. In the rest deposition conditions, the hydrogen contents in the film were measured in the range 45~55%.

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스티렌-디비닐벤젠 고분자 담체의 제조변수에 따른 수소흡착 특성

  • 강희석;이한수;정흥석;안도희;백승우;김광락;이성호
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1997.05b
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    • pp.384-389
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    • 1997
  • 고분자 촉매 담체인 스티렌-디비닐벤젠의 제조시 중합반응 개시제의 함량에 따른 영향과 반응기의 재질에 따른 영향을 수소흡착실험을 통하여 확인하였다. 담체의 중합반응시 제조조건이 동일하다 할지라도 개시제의 함량에 따라서 담체의 기공 특성이 달라지므로 개시제의 함량은 모노머 양의 1%를 사용한 시료가 수소흡착능이 가장 좋은 것으로 나타났다. 반응기의 재질은 teflon으로 직접 제조한 것보다는 teflon으로 코팅 처리한 것이 더 수소흡착능이 좋은 것으로 확인되었다.

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실리콘고무계 및 에폭시수지계 차폐재의 방사선 영향에 관한 연구

  • 조수행;김익수;신영준;도재범;노성기
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1997.05b
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    • pp.231-236
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    • 1997
  • 방사성물질의 수송 및 저장용기 등에 사용되는 실리콘고무계 및 수소 첨가된 비스페놀-A형 에폭시수지계 중성자 차폐재들의 인장강도, 압축강도, 비중, 무게, 수소함량 등에 방사선이 미치는 영향을 검토하였다. 방사선 조사선량의 증가에 따라 실리콘고무계 중성자 차폐재(KNS-101 및 102)들의 인장강도, 압축강도, 비중 등이 증가하는 경향을 나타내었으며, 차폐재의 무게는 거의 변화가 없었으나, 수소함량은 약간 감소하는 경향을 나타내었다. 또한 에폭시수지계 중성자 차폐재(KNS-201 및 202)들의 인장강도 및 압축강도는 0.1 MGy까지는 방사선 조사선량의 증가에 따라 증가하다가 0.1MGy 이상에서는 감소하는 경향을 나타내었으며, 조사선량의 증가에 따른 차폐재들의 비중, 무게 및 수소함량은 크게 변하지 않는 것으로 나타났다.

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비정질 탄소막 (a-C:H) 내에 존재하는 수소에 관한 연구

  • 박노길;박형국;손영호;정재인
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.133-133
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    • 1999
  • 비정질 탄소막 제조에 있어서 수소가 포함된 반응성 가스를 사용할 경우 제작된 탄소막 내부에는 수소가 포함되게 되며, 이러한 수소원자들은 막의 특성에 중요한 영향을 주는 것으로 알려져 있다. 따라서, 본 연구에서는 비정질 탄소막(a-C:H) 내부에 존재하는 수소가 탄소막의 특성에 미치는 영향을 알아보고, 막 내부에 포함된 수소의 함량과 공정조건 사이의 함수계를 조사함으로써 수소의 함량을 인위적으로 통제할 수 있는 가능성을 제시하고자 한다. 수소가 포함된 비정질 탄소막은 2.45 GHz의 전자기파를 사용하는 electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition (ECR-PECVD) 방법과 DC magnetron sputtering 법을 사용하여 제작하였다. 기판으로는 Si(001) wafer를 사용하였으며, 아세톤과 에탄올을 사용하여 표면의 유기성분을 제거하고, 진공챔버속에서 Ar 플라즈마를 발생시켜 sputter etching 방법으로 표면을 세척하였다. ECR-PECVD 방법에서는 반응가스로 메탄(CH4)과 수소(H2)의 혼합가스를 사용하였으며, 혼합가스의 비는 5~50% 범위내에서 변화를 주었다. 수소가스의 유량은 100SCCM으로 고정하였으며, 마이크로웨이브의 power는 360~900W였고, 기판에 가해준 negative DC bias 전압은 0~-500V이었다. DC magnetron sputtering 방법에서는 반응가스로 아세틸린(C2H2) 가스를 사용하였으며, 플라즈마 발생을 용이하게 하기 위해서 Ar 가스와 혼합하여 사용하였다. Ar 가스의 유량은 10SCCM으로 고정하였으며, 아세틸렌 가스의 유량은 5~20SCCM 범위내에서 주입하였다. 이때, 기판에 가해준 negative DC bias 전압은 0~-100V이었다. 제작된 탄소막의 수소 함량을 조사하기 위하여 Fourier Transform Infrared (FTIR) 분광법과 Elastic Recoil Detection Analysis (EFDA) 법을 사용하였으며, 증착율은 SEM 단면촬영과 a-step을 이용하여 측정하였고, 막의 경도는 Micro-Hardness Testing 법을 사용하여 측정하였다.

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Effect of Additive Gas on the Bonding Structure of a-C:H Films Deposited by rf PECVD (rf PECVD법으로 증착된 a-C:H 박막의 결합구조에 미치는 보조가스의 영향)

  • Song, Jae-Jin;Kim, Seong-Jin
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.9 no.11
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    • pp.1088-1094
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    • 1999
  • 본 연구에서는 rf PECVD(13.56MHz)법을 이용하여 $CH_4$가스에 소량의 보조가스($O_2$$N_2$)를 혼합하여 a-C:H 박막을 얻었다. 이렇게 얻어진 박막의 증착속도는 rf power 증가에 따라서 증가하다가 200W에서는 다시 감소하였으며, 산소와 질소가스의 유량이 증가함에 따라 감소하였다. FT-IR분석으로 계산된 박막내의 수소함량은 rf power 증가와 산소 및 질소첨가량의 증가에 따라 감소하였다. 산소가스 첨가 시에는 C=O 결합이 생성되며, 질소가스 첨가 시에는 C=N 결합이 생성됨을 FT-IR 분석을 통하여 알 수 있었다. 이와 같이 산소와 질소를 보조가스로 첨가할 경우에 스퍼터링 효과로 박막내의 수소함량 감소와 더불어 a-C:H 박막의 구조 변화를 일으킬 수 있을 것으로 생각된다. Raman 분석결과 산소와 질소를 첨가함에 따라서 I(sub)D/I(sub)G비가 증가하였고, D line과 G line의 위치가 높은 파수 쪽으로 이동하였으며, D line의 폭은 넓어지는 반면에 G line의 폭은 감소됨을 보였다. 이것은 산소와 질소의 첨가로 박막내의 수소함량 감소, 결합각의 disorder 감소 및 micro-crystallite 흑연의 형성에 의한 것이라고 판단된다.

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Investigation of Useful Substances for Plants Distributed in Southern Region of Korea I. Lipids and Hydrocarbons (남부지방 서식식물의 유용물질 탐색 I. 지질 및 탄화수소)

  • 현규환
    • Korean Journal of Plant Resources
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    • v.10 no.4
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    • pp.324-333
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    • 1997
  • This research was conducted to determine contents of lipids and hydrocarbons for plants distributed in the sourthern region of Korea. The lipid extracts from each plants were purified by solvent fractionation, column chromatography. TLC and analyzed by gas chromatography. As a result, contents netural lipids and phospholipids were the highest in Aleurites fordii and Camellia japonica among the all plants examined. Most of the fatty acids in lipids was palmitic acid, oleic acid and linoleic acid. Content of hydrocarbon was the highest in Fatsia japonica among the all plants examined. Hydrocarbons contained in the plant was mainly more than 16 number of carbons.

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The Cause of Secondary Explosion after Blasting (발파 후 2차 연소의 원인)

  • 이영호;이응소;정천재;윤종화
    • Explosives and Blasting
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    • v.21 no.1
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    • pp.85-94
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    • 2003
  • 발파후에 2차연소 또는 폭발(이하, 2차연소라 한다. )이 일어났다는 사실은 폭약이 폭발후에 어떤 가연성가스가 발생하고 그 가연성가스가 잔존하는 폭발열 또는 기타의 점화원에 의해 연소되었음을 의미한다. 폭약이 폭발하였을 때, 발생 가능한 가연성물질은 유리탄소, 일산화탄소, 수소 등으로 추정할 수 있는데 실험결과에서는 가연성물질의 주성분이 수소인 것으로 나타났다. 본 연구에서는 에멀존계 함수폭약이 산소평형, 알루미늄함량, 알루미늄형태와 크기 그리고 포장지의 두께에 따라 수소가 발생되는 양을 가스크로마토그라피를 이용하여 측정하였다. 상기의 열거한 요인들은 모두 수소발생량과 관계가 있는데, 이중에서도 가장 중요한 요인은 산소평형과 알루미늄의 함량인 것으로 나타났다. 한 예로 알루미늄이 15%가 포함되고 산소평형이 -10인 에멀존계 함수폭약은 폭발후에 19.4%의 수소를 함유하고 있는 후가스를 발생시켰으며 이 가스를 포집하여 공기중에 방출시키면서 성냥불을 가까이 하였더니 연소가 되었다. 따라서 에너지를 높이기 위하여 알루미늄의 함량을 높이고 산소평형을 지나치게 마이너스로 설계한다면, 2차연소는 언제든지 발생할 가능성이 있다고 판단된다. 알루미늄의 함량을 가능한 적게, 산소평형을 가능한 0에 가깝게 설계해야 만이 2차연소 현상을 방지할 수 있을 것이며 ㄸ한 최적의 설계뿐만이 아니라 정확한 제조와 품질검사도 2차연소 현상을 방지하는데 중요한 몫을 할 것으로 판단된다.

A Study on the Deposition of DLC Films from $CH_4-CO_2$ Gas Mixture by PECVD Method ($CH_4-CO_2$혼합가스로부터 PECVD법에 의한 DLC 박막 증착에 관한 연구)

  • Jin, Eok-Yong
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.3
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    • pp.324-332
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    • 1996
  • DLC 박막을 RF 플라즈마 화학증착법(PECVD)을 이용하여 CH4와 CO2기체로부터 합성하였다. 증착압력, CH4와 CO2가스의 조성비, 바이어스 전압(-VB) 등의 증착조건 변화에 따른 증착속도는 증착층의 두께를 알파스텝으로 측정하여 결정하였으며, 박막의 구조 변화에 따른 증착속도는 증착층의 두께를 알파스텝으로 측정하여 결정하였으며, 박막의 구조 변화는 FTIR 분광분석을 이용하여 분석을 행하였다. 이 연구로부터 얻은 실험 결과는 다음과 같다: 1) 증착속도는 증착압력 및 바이어스 전압의 증가에 따라 증가한다. 2)바이어스 전압 300V이상에서, CO2량 증가는 순증착속도를 증가 시킨다. 3) 순수한 CH4가스를 사용할 경우에는 바이어스전압(-VB)이 증가함에 따라 박막내 수소의 함량과 sp3/sp2비는 감소하는 경향을 나타낸다. 4)증착압력이 증가함에 따라 박막내 수소함량은 증가하며, sp3/sp2비는 감소한다. 5)50mTorr의 증착압력에 증착시, CH4-+Co2 혼합가스에서 이산화탄소의 부피분율에 따라서는 박막내 수소함량은 감소하며, sp3/sp2비는 증가한다.

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Effect of Environmental Parameters on the Degradation of Petroleum Hydrocarbons in Soil (환경인자가 토양내 석유계탄화수소의 분해에 미치는 영향)

  • 황의영;남궁완;박준석
    • Journal of Korea Soil Environment Society
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    • v.5 no.1
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    • pp.85-96
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    • 2000
  • The purpose of this study was to Investigate the effect of environmental conditions on the degradation of total petroleum hydrocarbons(TPH) in soil. The soil used for this study was sandy loam. Target contaminant, diesel oil, was spiked at 10.000mgTPH/kg dry soil. Moisture content was controlled to 50%, 70%, and 90% of field capacity of the soil. Temperature was controlled to $5^{\circ}C$, $10^{\circ}C$, $20^{\circ}C$, and $30^{\circ}C$. The active degradation of TPH was observed at the moisture contents of 50% and 70% of field capacity, and temperature of $10^{\circ}C$ to $30^{\circ}C$. Degradation rate of n-alkanes was about two times greater than that of TPH. Volatilization loss of TPH was about 2% of initial concentration. Biocide control and no aeration experiments indicated that removal of TPH was primarily occurred by biodegradation under aerobic condition.

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Response of Ascorbate Peroxidase and Dehydroascorbate Reductase in Lettuce (Lactuca sativa L.) Leaves Exposed to Cold Stress (저온 처리한 상추의 잎 내에서 ascorbate peroxidase와 dehydroascorbate reductase의 반응)

  • Kang, Sang-Jae
    • Journal of Life Science
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    • v.18 no.12
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    • pp.1705-1711
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    • 2008
  • To investigate the relationship between cold stress and the activity of ascorbate peroxidase(APX), dehydroascorbate reductase (DHAR), mRNA expression level of two enzymes, hydrogen peroxide content was studied in lettuce leaves under stress condition imposed by cold stress at $4^{\circ}C$ for 24 hr in the dark and following recovery at $20^{\circ}C$ from cold stress. Hydrogen peroxide content increased gradually in lettuce leaves during cold stress, but decreased slightly following recovery from cold stress. Soluble protein content, however, decreased gradually during cold stress, and then rapidly returned to normal levels following recovery. Total chlorophyll content decreased gradually during cold stress, and then keep constant following recovery. The patterns of chlorophyll a and b content similar to that of total chlorophyll content, and carotenoid content didn't change. The ratio of chlorophyll a and total chlorophyll was increased during cold stress, but decreased with rapid during cold stress, and then the ratio returned to normal levels following recovery. During cold stress, the activity of APX and DHAR in the lettuce leaves increased dramatically, and also transcript levels of mRNA of APX and DHAR, as determined by probing 32P-labeled single stranded RNA of APX and DHAR, highly increased and returned to normal levels following recovery, respectively. Relationship between APX and DHAR activity and hydrogen peroxide highly related ($R^2$=0.8715 and 0.8643), whereas between hydrogen peroxide and total chlorophyll content and soluble content related reversely ($R^2$=0.5021 and 0.8915).