• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2010.05a
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• pp.58.2-58.2
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• 2010

FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수 ${\mu}m$ 수준까지 감소하였으며, FPD의 크기는 급격하게 대형화 되여 현재 8세대(2200mm*2500mm)에 이르고 있다. 이에 따라, $1\;{\mu}m$ 이상의 크기를 갖는 오염입자에 의한 수율 저하를 극복하기 위한 세정효율의 향상 및 다량의 초순수 사용에 따른 폐수 발생으로 인한 환경오염, 또한 장비의 크기에 따른 공간 효용성 감소와 이에 따른 공정 비용의 증가 등의 어려움에 직면하고 있다. 따라서, 현장에서는 고효율, 저비용의 세정 공정 기술 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 문제점들을 해결 하고자 이류체 노즐 세정 장치와, 화학액 린스를 위한 초순수 Spray, 건조 공정에 해당하는 Air-knife, Halogen lamp로 구성된 소형화 된 고속 FPD(Flat Panel Display) 세정기에 대한 연구를 진행 하였다. 이류체 노즐은 초순수와 $N_2$ 가스를 내부에서 혼합하여 액적(Droplet)을 형성하여 고압으로 분사시키는 장치로서 화학액을 사용하지 않고 물리적인 방법으로 오염입자를 제거한다. Spray는 유기 오염입자 제거를 위한 오존수의 린스 공정을 위해 설치 하였다. 세정 후 표면에 남아있는 기판의 액막(water film)은 고압의 가스를 분사하는 Air-knife를 통해 제거하였으며, 고속 공정시 발생할 수 있는 Air-knife에서 제거하지 못한 잔류 액막을 Halogen lamp를 사용하여 효과적으로 제거함으로써, 물반점(water mark) 없는 건조 공정을 얻을 수 있었다. 실험에는 미세 입자의 정량적인 측정을 위하여 유리 기판 대신에 6인치 실리콘 웨이퍼(P-type (100))를 사용하였으며, > $\;1{\mu}m$ 실리카 입자를 스핀방식을 사용하여 정량적으로 균일하게 오염하였으며, 오염물의 개수 및 분포는 파티클 스캐너 (Surfscan 6200, KLA-Tancor, USA)를 사용하여 분포 및 개수를 정량적으로 측정 하였다. 이류체 노즐은 $N_2$ 가스의 압력과 초순수의 압력을 변화시켜 측정하여, 각각 0.20 MPa, 0.01 MPa에서 최적의 세정 결과를 얻을 수 있었으며, 건조 효율은 Air-Knife의 입사 각도와 건조면 간격, 할로겐 램프의 온도를 조절 하여 최적의 조건을 얻을 수 있었다.

• Journal of Auto-vehicle Safety Association
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• v.9 no.3
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• pp.39-45
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• 2017

Two-wheeled motorcycles rarely use windscreen wipers in general. However, if two or more wheeled motorcycles with upper body employ windscreen wiper systems, clear visibility should be ensured regardless of weather conditions. The windscreen wiper systems include washers, defrosting, and demisting. As demands for the personal mobility are rapidly increased, the related global safety standards for motorcycles with upper body have been revised accordingly. Currently only EU regulations issue the provisions of windscreen wiper systems for L-category vehicles, which characterize two or more wheeled motorcycles. Therefore, in order to agree with international safety standards, it is necessary to revise KMVSS (Korea Motor Vehicle Safety Standards) for motorcycles. Here, KMVSS regarding windscreen wiper systems for motorcycles are studied considering the EU regulations. It is expected that the findings in this study are useful for future amendment of KMVSS.

• Korean Journal of Environmental Agriculture
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• v.34 no.2
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• pp.134-138
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• 2015

BACKGROUND: In recent years, several researchers have focused on odour control methods to remove the harmful chemicals from chemical accidents and incidents. The present work deals with the system development of the hazardous. METHODS AND RESULTS: For on-site removal of hazardous gaseous materials from chemical accidents, mobile vortex wet scrubber was designed with water vortex process to absorb the gas into the water. The efficiency of the mobile vortex wet scrubber was evaluated using water spray and 25% ammonia solution. The inlet air velocity (gas flow rate) was according to the damper angle installed within the hood and with increase of gas flow rate, consequently the absorption efficiency was markedly decreased. In particular, when 25% ammonia solution was exposed to the hood inlet for 30 min, the water pH within the scrubber was changed from 7 to 12. Interestingly, although the removal efficiency of ammonia gas exhibited approximately 80% for 5 min, its efficiency in 10 min showed the greatest decrease with 18%. Therefore, our results suggest that the ammonia gas may be absorbed with the driving force of scrubbing water in water vortex process of this scrubber. CONCLUSION: When chemical accidents are occurred, the designed compact scrubber may be utilized as effective tool regarding removal of ammonia gas and other volatile organic compounds in the scene of an accident.