• 제목/요약/키워드: 세정방법

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단말에 대한 공정성을 고려한 이더넷 PON 시스템의 동적대역할당방법의 성능분석 (Performance Evaluation of a Dynamic Bandwidth Allocation Algorithm with providing the Fairness among Terminals for Ethernet PON Systems)

  • 박지원;윤종호;송재연;임세윤;김진희
    • 한국통신학회논문지
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    • 제29권11B
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    • pp.980-990
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    • 2004
  • 본 논문에서는 Ethernet Passive Optical Network(EPON)시스템에서 단말들에 대한 공정성을 부여하는 동적 대역할당 알고리듬을 제안하고 시뮬레이션을 통한 성능분석을 하였다. 기존 EPON에서는 Optical Network Unit(ONU)로부터 보고 받는 버퍼의 상태만을 고려하여Optical Line Termination (OLT)가 상향링크의 대역을 할당한다 이러한 ONU버퍼상태에 따른 대역할당방법은 ONU들에 대한 공정한 대역할당은 가능하지만 ONU에 연결된 단말들에 대한 공정한 대역할당을 보장하지 않는 문제가 있다. 예를 들어, 어떤 ONU에 연결된 어떤 단말로부터의 전송이 일시적으로 폭증할 경우, 급격하게 증가된 이 ONU의 버퍼상태가 OLT에 보고됨으로써, 이 ONU는 더 많은 상향 대역폭을 할당받게 된다. 이러한 대역할당의 결과, 상향전송이 많은 단말에 대해서는 많은 대역이 할당되지만, 상대적으로 전송량이 적은 단말들이 접속된 다른 ONU들에는 기존보다 감소된 대역이 할당됨으로써 이러한 ONU들에 접속되어 있는 단말들의 전송지연시간이증가되는 불공정성 문제가 발생한다. 이러한 문제점에 착안하여, 본 논문에서는 ONU가 보고하는 버퍼상태뿐만 아니라, ONU에 연결된 단말의 개수도 OLT에 보고함으로써, OLT가 단말들에 대한 공정한 대역할당을 할 수 있는 방식을 제안하였다. 제안된 방법의 성능분석을 위해 SIMULA 시뮬레이션 언어를 이용하여 EPON시스템을 모델링하였다. 각 단말과 ONU 관점에서의 수율과 지연시간, 시간에 따른 ONU의 버퍼 변화 등을 비교 분석한 시뮬레이션 결과로부터, 제안된 방법이 각 단말들에 대하여 대역을 공정하게 분배할 수 있음을 보였다. 마지막으로, EPON 시스템을 망사업자가 운용할 때, 최종단에 위치한 가입자 단말들에 대하여 공정하게 대역을 할당할 경우, 제안된 방법이 효율적으로 활용될 수 있을 것이다.고체 식품에서 보다 높게 나타났다. 이상의 결과에서 식습관이 치아우식발생과 밀접한 관계를 가지고 있으므로 초등학교 아동에 있어 치아우식을 유발할 수 있는 간식의 섭취를 줄이되 우식성 식품을 간식으로 섭취한 후에는 잇솔질을 반드시 실시하도록 하며 정규식사에서 치아를 보호하는 세정식품의 섭취에 대한 영양교육이 지속적이고 단계적으로 꾸준히 이루어져야 한다고 본다.lity regardless difference on companies, ages, departments, and authority of an employees. Second, Satisfaction on incentive for employees in Family Restaurants were not well received. Although these necessary demand, there is not yet incentive system operation to most of business. Especially, it is not even studied on Family Restaurants. This study should have been studied on more customers and spotted employees to be objective. It is strongly recommended to do this study without limitation and further studies is considered on this subjects. 비하여 전반적으로 낮은 염증반응을 보였다. 7) 각 군간 결과의 차이에 통계적 유의성은 없었다(p>0.05).mmunity. Then, a hierarchical language is to defeat its own purpose.중 행정부가 북한에 대해 실시한 포용정책이 어떠한 성과를 거두고 어떠한 문제점을 간과하고 있는가에 대해 논의하고, 대북 정책의 새로운

폐 Ni-Mo 및 폐 Co-Mo계 촉매상에서 방향족 화합물의 촉매산화: 물리화학적 전처리 효과 (Catalytic Oxidation of Aromatic Compounds over Spent Ni-Mo and Spent Co-Mo based Catalysts: Effect of Physico-chemical Pretreatments)

  • 심왕근;강웅일;김상채
    • 공업화학
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    • 제21권1호
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    • pp.63-70
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    • 2010
  • 석유화학공업에서 발생한 2종류의 금속산화물계열 폐 촉매(Ni-Mo, Co-Mo)를 휘발성유기화합물(VOCs) 제거를 위한 촉매 연소 공정에 재이용하였다. 특히 폐 촉매의 재생방법에 따른 VOCs 제거효과를 검토하여 최적의 재생 조건을 살펴보았다. 폐 촉매는 1) 산 수용액, 2) 알칼리 수용액, 3) 세정액 및 4) 스팀(steam) 등을 이용하여 재생 처리하였고, 재생 처리 전-후의 이들 촉매의 물리화학적 특성 변화는 질소흡착등온선, X-선 회절분석기(XRD) 및 에너지분산 X-선 분광기(EDS)를 갖춘 주사현미경(SEM)으로 조사하였다. Benzene 산화반응 실험 결과 폐 촉매는 VOCs 연소 촉매로 재이용 가능성이 높았다. 그리고 이들 폐 촉매의 활성은 전처리 조건에 따라 다르게 나타났으나, 두 폐 촉매 모두 0.1 N $C_2H_2O_4$ 용액으로 처리할 때 활성이 가장 좋았다. 또한 최적 조건(0.1 N $C_2H_2O_4$)에서 처리한 촉매는 다른 방향족 화합물(Toluene/Xylene) 처리에도 충분히 적용할 수 있었다.

TomoTherapy: 치료 소요시간 및 영향 요인 분석 (TomoTherapy: Analysis of treatment time and influencing factor)

  • 손종기;강현성;황철환;서세정;최민호
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제29권2호
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    • pp.119-128
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    • 2017
  • 목 적: 본 연구의 목적은 TomoTherapy 치료시에 평균 실제 치료시간을 측정하고, 치료과정에서 실제 치료시간에 영향을 미치는 절차들의 소요시간을 조사하고자 한다. 환자 및 방법: TomoTherapy치료를 받은 31명의 환자를 대상으로 치료과정에서 절차에 의한 소요시간을 측정하였다. Beam-on time, Image registration time, 그리고 Set-up with scan time, Actual treatment time을 측정하고 단계적 선형 회귀분석을 수행하였다. 결 과: 치료부위 당 평균 실제 치료시간은 21.44 - 23.92분 이었다. Beam-on time, Image registration time, 그리고 Set-up with Scan time들이 실제치료 시간에 영향을 미치는 중요한 요인이었으며, 가장 큰 영향요인은 Beam-on time이었고, 그 다음으로 Set-up with Scan time이었다. 그리고 Image registration time은 영향이 적은 것으로 분석되었다. 결 론: TomoTherapy 치료환자 1명당 실제 치료시간은 평균 $22.68{\pm}3.37$분이었다. 정규시간 8시간 이내에 약 21명의 환자가 치료받을 수 있을 것으로 예상된다. 그러나 치료가 중단되거나 치료과정에서 절차의 진행시간이 달라지면, 일일 치료환자들의 스케줄에 영향을 미치며, 업무 부하량이 늘어날 것으로 생각된다.

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Optimization of highly scalable gate dielectrics by stacking Ta2O5 and SiO2 thin films for advanced MOSFET technology

  • 김태완;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.259-259
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    • 2016
  • 반도체 산업 전반에 걸쳐 이루어지고 있는 연구는 소자를 더 작게 만들면서도 구동능력은 우수한 소자를 만들어내는 것이라고 할 수 있다. 따라서 소자의 미세화와 함께 트랜지스터의 구동능력의 향상을 위한 기술개발에 대한 필요성이 점차 커지고 있으며, 고유전(high-k)재료를 트랜지스터의 게이트 절연막으로 이용하는 방법이 개발되고 있다. High-k 재료를 트랜지스터의 게이트 절연막에 적용하면 낮은 전압으로 소자를 구동할 수 있어서 소비전력이 감소하고 소자의 미세화 측면에서도 매우 유리하다. 그러나, 초미세화된 소자를 제작하기 위하여 high-k 절연막의 두께를 줄이게 되면, 전기적 용량(capacitance)은 커지지만 에너지 밴드 오프셋(band-offset)이 기존의 실리콘 산화막(SiO2)보다 작고 또한 열공정에 의해 쉽게 결정화가 이루어지기 때문에 누설전류가 발생하여 소자의 열화를 초래할 수 있다. 따라서, 최근에는 이러한 문제를 해결하기 위하여 게이트 절연막 엔지니어링을 통해서 누설전류를 줄이면서 전기적 용량을 확보할 수 있는 연구가 주목받고 있다. 본 실험에서는 high-k 물질인 Ta2O5와 SiO2를 적층시켜서 누설전류를 줄이면서 동시에 높은 캐패시턴스를 달성할 수 있는 게이트 절연막 엔지니어링에 대한 연구를 진행하였다. 먼저 n-type Si 기판을 표준 RCA 세정한 다음, RF sputter를 사용하여 두께가 Ta2O5/SiO2 = 50/0, 50/5, 50/10, 25/10, 25/5 nm인 적층구조의 게이트 절연막을 형성하였다. 다음으로 Al 게이트 전극을 150 nm의 두께로 증착한 다음, 전기적 특성 개선을 위하여 furnace N2 분위기에서 $400^{\circ}C$로 30분간 후속 열처리를 진행하여 MOS capacitor 소자를 제작하였고, I-V 및 C-V 측정을 통하여 형성된 게이트 절연막의 전기적 특성을 평가하였다. 그 결과, Ta2O5/SiO2 = 50/0, 50/5, 50/10 nm인 게이트 절연막들은 누설전류는 낮지만, 큰 용량을 얻을 수 없었다. 한편, Ta2O5/SiO2 = 25/10, 25/5 nm의 조합에서는 충분한 용량을 확보할 수 있었다. 적층된 게이트 절연막의 유전상수는 25/5 nm, 25/10 nm 각각 8.3, 7.6으로 비슷하였지만, 문턱치 전압(VTH)은 각각 -0.64 V, -0.18 V로 25/10 nm가 0 V에 보다 근접한 값을 나타내었다. 한편, 누설전류는 25/10 nm가 25/5 nm보다 약 20 nA (@5 V) 낮은 것을 확인할 수 있었으며 절연파괴전압(breakdown voltage)도 증가한 것을 확인하였다. 결론적으로 Ta2O5/SiO2 적층 절연막의 두께가 25nm/10nm에서 최적의 특성을 얻을 수 있었으며, 본 실험과 같이 게이트 절연막 엔지니어링을 통하여 효과적으로 누설전류를 줄이고 게이트 용량을 증가시킴으로써 고집적화된 소자의 제작에 유용한 기술로 기대된다.

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충남 서해안지역 강수 중 수용성 이온 성분의 변화특성 (Water Soluble Ionic Components in Precipitation at ChungNam West-Coast Area)

  • 정진도;이천호
    • 한국환경과학회지
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    • 제12권12호
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    • pp.1285-1292
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    • 2003
  • 당진 지역과 안면도 지역의 강수특성을 비교해 보기 위하여 수용성 이온성분 및 pH, 전기전도도 등을 2002년 4월 1일부터 2002년 11월 30일까지 당진 지역 총 47개의 시료와 안면도 지역 총 59개의 시료를 측정 분석해 본 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1) 강수의 신뢰성 검토에는 WMO에서 사용하고 있는 이온수지법과 전기전도도법에 의한 방법 두 가지를 사용하였는데, 당진 지역의 강수는 이온수지법($r^2$ : 0.9429), 전기전도도법($r^2$ : 0.9916)의 값을 나타냈으며, 안면도 지역의 강수는 이온수지법($r^2$ : 0.9620), 전기전도도법($r^2$ : 0.9955)의 값을 보임으로써 WMO에서 권고하는 분석 자료에 대한 신뢰성을 확인 할 수 있었다. 2) 당진과 안면도 지역의 pH 분포는 당진 지역이 년 평균 pH 4.6, 안면도 지역이 년평균 pH 4.8로 산성비 기준인 5.6보다 산성을 나타내었다. 산성비 기준인 pH 5.6이하의 총 발생빈도는 당진이 약 76.8%, 안면도 지역이 81.4%로 나타났는데 이것은 두 지역에서 산성비가 그만큼 내렸다는 것과 같고, 또한 pH의 저하요인인 음이온이 상대적으로 많이 포함되어 있음을 추측할 수 있다. 3) 강수량과 pH와의 관계를 살펴보면 당진 지역과 안면도 지역 모두 여름철인 7, 8월에 강수량이 집중되었고 pH 또한 4.1-5.5 사이로 봄철이나 가을철에 비해 pH가 높게 나타났다. 이는 여름철의 장마로 인한 대기 중의 세정효과로 볼 수 있다.

작은땃쥐(Crocidura shantungensis)의 정자 변태 (Spermiogenesis in the Crocidura shantungensis)

  • 정승돈;이정훈
    • 한국발생생물학회지:발생과생식
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    • 제11권1호
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    • pp.31-41
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    • 2007
  • 작은땃쥐(Crocidura shantungensis)의 정자 변태에 대한 연구를 전자현미경을 이용한 방법을 통해 이루어졌다. 정자세포의 핵과 세포질내 소기관의 형태학적 특징을 기초하여 정자 변태 전 과정을 11기(phase) 15 단계(step)로 각각 구분되었다. 골지 및 두모 단계의 정자세포가 구형인데 반해 첨체 전기에는 타원형으로 변하고, 이 시기부터 꼬리가 생성되기 시작하였고, 성숙기에는 가늘고 긴 정자 두부가 형성되었다. Step 7까지는 정자세포의 두부 방향이 내강쪽을 향하고 있는데 반해 step 8부터 step 15까지는 세정관 상피의 기저막쪽으로 향하였다. Step 12에서 정자세포는 핵과 첨체가 최대로 신장되어 나타났다. Step 13에서부터 정자세포의 핵은 납작해지고, 첨체는 납작하게 확장되면서 전체길이는 짧아지는 경향을 보였다. Step 14에 도달한 정자세포의 첨체는 정자 두부와 더불어 최종적인 모양을 취하게 되고, 핵은 쐐기모양을 하고 있으며, 염색질은 완전히 응축되고 균질화 되어졌다. 이탈기(spermiation phase)의 정자세포는 세르톨리 세포의 세포질로부터 점차적으로 떨어져 나갔으며, 이 시기에 정자세포의 첨체는 짧아지고 납작해져서 완전한 정자를 형성하였다. 이상의 결과를 종합하여 볼 때, 정자 변태과정은 정자 형성세포의 분화 단계를 분석하는데도 유용한 정보를 제공하리라 여겨진다.

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인력 수급 계획 수립을 위한 시스템 다이내믹스의 활용 - UIT도입에 따른 정보 보호 환경 변화를 중심으로 -

  • 박상현;연승준;김상욱
    • 한국시스템다이내믹스학회:학술대회논문집
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    • 한국시스템다이내믹스학회 2003년도 하계학술대회발표논문집
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    • pp.83-108
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    • 2003
  • 한 산업에서 인력 수급을 전망하는 것은 인력의 수요자인 기업의 측면에서는 안정적인 인력 확보 전략을 수립하기 위해서, 공급자인 산업 종사자들에게 있어서는 자신들이 앞으로 진출해야할 산업의 매력도를 파악하기 위해서, 그리고 정부 차원에서는 관련 산업에 있어서 중복 투자의 방지와 효율적이고 균형 된 산업 발전을 위한 정책 수립을 위해서 매우 중요하다. 그러나 이러한 인력 수급 전망들은 종종 잘못된 시장 분석으로 인하여 인력의 과소 공급 또는 과잉 공급이라는 의도하지 않은 결과를 가져오는 경우가 있다. 이는 전체적인 시각에서 시장의 구조적 특성을 분석하기보다는 현상을 조사하는 수준에 머물거나 현재의 상황 또는 단일 산업만을 고려할 뿐 시간의 흐름에 따른 동태적 변화와 지연된 피드백의 효과, 그리고 관련 산업간의 유기적 연관관계를 반영하지 못한 채 단기적이고 단선적인 관점에서 인력 수급을 전망하는데 그 원인이 있다고 볼 수 있다. 특히, 다른 산업과의 연관 관계가 복잡하고 인력의 수요의 급증에도 불구하고 산업에서 요구하는 인력을 양성하기까지 많은 시간이 소요되는 첨단 산업 및 신생 산업에서의 경우 이러한 현상은 더욱 두드러지게 나타날 수 있다. 이러한 관점에서 본 논문은 변수간의 상호 동태적인 관계와 시간의 흐름에 따른 행태를 분석하는 데 용이한 SD 방법론에 기초하여 최근 빠르게 성장하고 있는 정보보호산업에서의 동태적인 인력 수급 모델을 구현하여 향후 국내 정보 보호 인력의 수급 행태가 어떻게 전개될 것인지를 분석해 보았으며 이를 통하여 동태적 시각에서 인력 수급 불균형 현상의 원인을 파악하고 문제 해결을 위한 대안을 제시하고자 한다.채취하여 임신진단키트(제네디아프로테 트, 녹십자)를 이용하여 임신여부를 1차적으로 확인하였다. 과배란을 유기한 13두의 공란우중 9두(69.2%)가 과배란 반응을 나타내었으며, 회수된 수정란 51개중 이식가능수정란은 38개(74.5%) 였다. 발정동기화를 유도한 수란우 40두중에서 35두(87.5%)가 발정이 동기화되었으며, 그 중 황체검사를 통하여 30두의 수란우에 수정란을 이식하였다. 수정란이식후 13일(발정주기 21일)에 혈액을 이용한 임신진단에서 농가별 수태율은 각각 37.5%, 70.0%, 60.0% 및 71.4% 로서 평균 60.0%를 나타내었다.서 39$^{\circ}C$, 5% $CO_2$ 배양기에 48시간 배양하면서 생존여부를 판단하였다. 실험 2에서 확장배반포배 수정란이 25.3%의 생존율을 나타내었으며, 실험 1과 실험 3에서는 수정란의 형태와 관계없이 생존성을 확인할 수 없었다. 이상의 결과로 보아 glycerol 완만동결에서는 확장배반포기 수정란 이상이 보존가능한 것으로 추정되나 더 추가적인 연구가 요구된다.c kinase 활성의 변동은 정소 내 간충조직, 세정관 상피의 증식 및 기능적 분화 과정을 매개하는 생리적 활성분자 수용체 하위의 신호전달 과정에 Src-Csk loop에 의한 조절가능성을 확인할 수 있었다.rugrene의 향기성분이 주요 성분군으로 확인되었다. 2. 생강나무에서 생강의 향기를 발산하는 성분으로는 $\beta$-myrcene, o-terpinolene, phellandrone, ι-limonene, $\beta$-eudes

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iMBR 공정을 이용한 수산물가공폐수 처리에 관한 실증적 고찰 (The Practical Study for the Treatment of Fish Processing Saline Wastewater Using Immersed MBR)

  • 박성균;이동준
    • 대한환경공학회지
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    • 제38권9호
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    • pp.469-475
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    • 2016
  • 본 연구는 실제 운영되는 수산물 가공 산업폐수의 immersed MBR (iMBR)공정을 이용한 폐수처리시설 운영 결과에 대한 실증적 고찰을 수행한 것이다. 수산물 가공 산업의 특성상 일별, 월별 유량 변동이 심하여 유량조정조의 설계 및 운전방법이 중요하며, 유량조정조 교반시 포기식 교반을 적용하면 산발효 방지를 통하여 후속 응집/부상 공정의 약품비 절감이 가능하다. 동 현장은 유량조정조, 가압부상조, iMBR을 거쳐 방류하며, 이때 가압부상조를 거쳐 iMBR로 유입되는 BOD, $COD_{Mn}$, SS, T-N, T-P의 농도는 2,291 mg/L, 530 mg/L, 38 mg/L, 256.8 mg/L, 13.5 mg/L으로 나타났다. 수산물 가공 폐수와 같이 고농도의 염이 함유된 폐수의 생물학적 처리는 슬러지의 침강성과 관계없는 침지식 중공사막을 이용한 iMBR 공법을 적용하는것이 바람직한 것으로 나타났다. iMBR 공정의 주요 에너지 소모 요인인 공기세정에 대한 운영 값의 검토 결과 SADm값이 $0.31m^3/hr{\cdot}m^2$ membrane area이었으며, SADp값은 $26.5m^3/hr{\cdot}m^3$ permeate으로 상용화된 평막 대비 월등히 에너지 효율이 우수한 것으로 나타났다. 무산소, 혐기, 호기 탈기조로 구성된 침지식 중공사막이 결합된 iMBR 공정에서 막오염 지표인 Normalized TMP와 온도, MLSS 등을 비교 분석한 결과 F/M비가 0.08~0.10 gBOD/gMLSS에서 임계 F/M 값을 나타냈다. 생물반응조에서의 BOD, $COD_{Mn}$, SS, T-N, T-P의 처리수질은 각각 1.8 mg/L, 11.0 mg/L, 1.1 mg/L, 11.0 mg/L, 0.24 mg/L으로 운전되었으며, 제거율은 99.9%, 97.9%, 96.3%, 95.7%, 97.8%으로 나타났다.

휘발성 원소들의 원자흡수 분광분석을 위한 매트릭스 개선에 관한 연구 (제 1 보). 흑연로 원자화에 의한 흔적량 납의 정량 (Matrix Modification for Graphite Furnace Atomic Absorption Spectrophotometric Determination of Volatile Elements (Ⅰ). Determination of Trace Lead by Graphite Furnace Atomization)

  • 최종문;최호성;김영상
    • 대한화학회지
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    • 제39권3호
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    • pp.204-212
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    • 1995
  • 매트릭스 개선제를 이용하여 물시료중 흔적량 납의 흑연로 원자흡수 분광분석에 관하여 검토하였다. 이 때 시료의 매트릭스를 개선시킬 수 있는 개선제의 종류를 찾고 그것의 사용량을 최적화시켰다. 쉽게 휘발하는 성질을 가진 납은 개선제가 없으면 희화 및 원자화 온도가 많이 낮으며 측정되는 흡광도도 낮고, 재현성도 좋지 않다. 따라서 개선제를 사용할 필요가 있는데, 납 50 ${\mu}g/mL$ 용액에 팔라듐을 5 ng/mL되게 첨가하면 희화온도를 400$^{\circ}C$에서 1,000$^{\circ}C$로, 원자화 온도를 1800$^{\circ}C$에서 2,000$^{\circ}C$로 증가시킬 수 있었다. 또, 보조 개선제로 알루미늄을 1.5 ${\mu}g/mL$ 혼합하여 사용하면 희화온도를 150$^{\circ}C$ 더 증가시킬 수 있다. 개선제로 팔라듐을 사용했을 경우가 개선제를 사용하지 않았을 경우보다 감도를 5배 이상 증가시킬 수 있었고, 상대 표준편차도 5% 이내가 될 정도로 좋은 재현성을 나타내었다. 그리고 본 실험방법의 유용성을 알아보기 위하여 학교 폐수와 파이프 세정 작업중의 수돗물을 실제 시료로 선택하여 정량하였는데 재현성이 좋은 결과를 얻었고. 이들 시료에 일정량의 납을 첨가하여 회수율을 얻었는데 89% 이상으로 정량적이었다.

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과불화합물(PFCs) 가스 처리를 위한 고효율 열플라즈마 스크러버 기술 개발 동향 (Highly Efficient Thermal Plasma Scrubber Technology for the Treatment of Perfluorocompounds (PFCs))

  • 박현우;차우병;엄성현
    • 공업화학
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    • 제29권1호
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    • pp.10-17
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    • 2018
  • 반도체 및 디스플레이 제조공정 중에 화학기상증착(CVD), 식각(etching), 세정(cleaning) 공정에서 배출되는 과불화합물(PFCs)를 포함한 폐 가스 처리를 위해서 POU (point of use) 가스 스크러버 시스템을 도입하여 사용하고 있다. 과불화합물은 지구온난화 지수(GWP, global warming potential)와 대기 중 자연분해되는 기간(lifetime)이 $CO_2$에 비해 수천 배 높은 온실가스로 분류되어 있으며, 과불화합물의 열분해를 위해서는 3,000 K 이상의 고온이 요구되는 것이 일반적이다. 이러한 특징 때문에 과불화합물을 효과적으로 제어하기 위한 방법으로 열플라즈마 기술을 도입하고자 하는 노력들이 진행되어 왔으며, POU 가스 스크러버 기술을 개발하여 산업적으로 이용하고자 하였다. 열플라즈마 기술은 플라즈마 토치 기술, 전원공급장치 기술 및 플라즈마 토치-전원공급장치 매칭 기술 최적화를 통해 안정적으로 플라즈마 발생원을 유지시키는 것이 중요하다. 또한, 과불화합물 고효율 처리를 위한 고온의 플라즈마와 폐 가스의 효과적인 혼합이 주요 기술요인으로 확인되었다. 본 논문에서는 반도체 및 디스플레이 공정 폐 가스 처리를 위한 후처리 공정에 대한 기술적 정보를 제공함과 동시에 POU 플라즈마 가스 스크러버에 대한 기술개발 동향을 파악함으로써 향후 연구개발이 요구되는 핵심사항에 대해 논의하고자 한다.