• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2011년도 추계학술발표대회
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• pp.23-23
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• 2011

Chemical-Mechanical Planarization (CMP) 공정이란 화학적 반응 및 기계적인 힘이 복합적으로 작용하여 표면을 평탄화하는 공정이다. 이러한 CMP 공정은 반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위하여 도입되었으며 반도체 제조를 위한 필수공정으로 그 중요성이 강조되고 있다. 특히 최근에는 Inter-Level Dielectric (ILD)의 형성과 Shallow Trench Isolation (STI) 공정에서실리콘 산화막을 평탄화하기 위한 CMP 공정에 대해 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그러나 CMP 공정 후 scratch, pitting corrosion, contamination 등의 Defect가 발생하는 문제점이 존재한다. 이 중에서도 scratch는 기계적, 열적 스트레스에 의해 생성된 패드의 잔해, 슬러리의 잔유물, 응집된 입자 등에 의해 표면에 형성된다. 반도체 공정에서는 다양한 종류의 실리콘 산화막이 사용되고 gks이러한 실리콘 산화막들은 종류에 따라 경도가 다르다. 따라서 실리콘 산화막의 경도에 따른 CMP 공정 및 이로 인한 Scratch 발생에 관한 연구가 필요하다고 할 수 있다. 본 연구에서는 scratch 형성의 거동을 알아보기 위하여 boronphoshposilicate glass (BPSG), plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) tetraethylorthosilicate (TEOS), high density plasma (HDP) oxide의 3가지 실리콘 산화막의 기계적 성질 및 이에 따른 CMP 공정에 대한 평가를 실시하였다. CMP 공정 후 효율적인 scratch 평가를 위해 브러시를 이용하여 1차 세정을 실시하였으며 습식세정방법(SC-1, DHF)으로 마무리 하였다. Scratch 개수는 Particle counter (Surfscan6200, KLA Tencor, USA)로 측정하였고, 광학현미경을 이용하여 형태를 관찰하였다. Scratch 평가를 위한 CMP 공정은 실험에 사용된 3가지 종류의 실리콘 산화막들의 경도가 서로 다르기 때문에 동등한 실험조건 설정을 위해 동일한 연마량이 관찰되는 조건에서 실시하였다. 실험결과 scratch 종류는 그 형태에 따라 chatter/line/rolling type의 3가지로 분류되었다 BPSG가 다른 종류의 실리콘 산화막에 비해 많은 수에 scratch가 관찰되었으며 line type이 많은 비율을 차지한다는 것을 확인하였다. 또한 CMP 공정에서 압력이 증가함에 따라 chatter type scratch의 길이는 짧아지고 폭이 넓어지는 것을 확인하였다. 본 연구를 통해 실리콘 산화막의 경도에 따른 scratch 형성 원리를 파악하였다.

• The Journal of Korean Physical Therapy
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• 제18권4호
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• pp.41-50
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• 2006

Purpose: The purpose of this study was to determined that the efficacy and comfort of iontophoretic transdermal delivery of lidocaine by comparison of local anesthetic duration, sensory threshold, pain threshold and pain tolerance levels according to four different cleansing regimes. Methods: Forty healthy volunteers were randomly assigned to four groups; oil cleansing group, lotion cleansing group, solution cleansing group and alcohol cleansing group. All subjects were received lidocaine iontophoresis on the forearm using direct current with 4 mA for 10 minutes. All subjects were measured the duration of local anesthesia after lidocaine iontophoresis, also evaluated the sensory threshold, pain threshold and pain tolerance level during iontophoresis. For comparisons of the efficacy and the sensory characteristics of iontophoresis within the groups, an one-way ANOVA was used. Results: The duration of local anesthesia were found significant difference between groups (p<0.001). The anesthetic duration in solution and alcohol cleansing groups were significantly longer than oil and lotion cleansing group by post hoc (p<0.05). Statistically significant difference were noted in respect to all sensory characteristics such as sensory threshold, pain threshold and pain tolerance between groups (p<0.001). The sensory threshold in solution and alcohol cleansing group were significantly lower than oil and lotion cleansing group by post hoc using Duncan multiple range test (p<0.05). The pain threshold and pain tolerance in solution and alcohol cleansing group were significantly higher than oil and lotion cleansing group by post hoc (p<0.05). Conclusion: These results demonstrated that cleansing regimes have affected the efficacy and discomfort of iontophoretic transdermal delivery of lidocaine. These findings indicate that cleansing agents without oil ingredient contributed to more comfort, and more successful achievement of the iontophoretic transdermal delivery.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제39권3호
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• pp.217-222
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• 2015

산업혁명과 함께 급격히 증가한 화석연료의 사용은 기존에 없었던 다양한 대기오염의 원인이 되었다. 특히 NOx와 SOx의 경우 산성비, 광화학 스모그의 원인이 되어 지속적인 규제와 그에 따르는 저감 노력이 이루어지고 있는데, 가장 대표적인 방법이 습식 스크러버 시스템이다. 본 연구에서는 3298cc 상용 디젤기관에 습식 스크러버 시스템을 적용하여 스크러버 형상비, 내부 충진율, 세정수 분무유량, 엔진 부하 조건을 달리하며 스크러버 전후의 스모크 저감률을 측정하였고, 이를 이용하여 스크러버의 최적 형상 및 충진율을 확인하였다. 실험결과 충진재 투입에 의한 큰 스모크 저감률 향상을 확인하였고, 형상비 및 세정수 분무유량 또한 스모크 저감률 향상에 영향을 미치는 인자임을 확인하였다.

• 한국미생물·생명공학회지
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• 제32권3호
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• pp.265-270
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• 2004

하수 중계펌프장에서 발생되는 악취를 효율적으로 저감할 수 있는 기술로 4가지 기술(활성탄 흡착법, 약액세정법, 지렁이 분변로를 이용한 탈취법, 바이오필터법)의 탈취 효율과 경제성을 조사하였다. PU 바이오필터와 활성탄 흡착법의 평균탈취 효율은 98% 이상이었으나, 지렁이 분변토 바이오필터와 약액세정법은 60-80%의 탈취율을 보였다. PU 바이오필터 탈취 성능은 악취가스의 체류시간이 4-36초에서 체류시간과 무관하게 약 98-99%로 매우 안정적이었고, 최대 탈취능은 으로 평가되었다. $1.6${\times}$10^{ 7}$ $OUm^{-3}$$h^{-1}$ PU 바이오필터와 활성탄 흡착법의 탈취비용을 조사하였다. 악취 강도가 증가함에 따라 활성탄 흡탁법의 운전비는 선형적으로 증가하였지만 바이오필터법은 약간 증가하였다. 바이오필터의 초기 시설비의 비용이 활성탄 흡탁법의 2배 이상이었지만 운전비가 활성탄 보다 아주 저렴한 것으로 평가되었다. 결론적으로 탈취효율과 경제성이 우수한 생물여과법이 가장 유망한 기술로 평가되었다.

• 대한치과보철학회지
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• 제58권4호
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• pp.385-391
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• 2020

의치 접착제는 의치의 유지와 안정을 향상시키기 위해 사용하는 재료로, 용해성과 비용해성으로 구분된다. 의치 접착제는 의치의 유지와 안정, 환자의 저작 기능 향상에 도움을 준다. 세정 등 위생관리가 잘 이루어져야 하며, 지지 조직 상태 및 의치의 적합을 평가하기 위한 주기적인 검진이 필수적이다. 수많은 치과의사들은 의치 접착제의 효과에 대해 막연히 알고만 있을 뿐, 사용 시 주의사항이나 관리 방법에 관해서는 제조사의 지시에 의존하는 경우가 많다. 본 논문에서는 의치 접착제의 성질, 효과, 사용 시 주의사항을 살펴보고, 환자와 전문가를 위한 임상적 지침을 제시하고자 하였다.

• 대한화장품학회지
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• 제45권2호
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• pp.105-116
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• 2019

두발이나 인체 세정 과정에서 일어나는 오일 흡착은 내부 성분량 변화와 컨디셔닝 기능에 큰 영향을 준다. 본 연구에서는 오일을 흡착재에서 직접 검출하여 편리하게오일량을 정량할 수 있는 흡수 분광 평가법을 개발하였다. 먼저, 오일 흡착량에 영향을 미치는 코아세르베이트 함량을 판단하기 위해서 음이온과 양쪽성 계면 활성제간 몰비율에 따른 코아세르베이트 함량을 조사하였다. 이 데이터를 활용하여 오일 흡착량 평가에 가장 적합한 오일 점도값을 확보하였고 세정제의 계면활성제간 몰비 조정 등을 통해 모발 대체 흡착재와 흡착 및 용출에 필요한 가장 최적의 방법을 확립하였다. 이렇게 확립한 평가법으로 자외선 흡광도가 있는 오일을 자외선 흡광도가 없는 실리콘 같은 오일 대신 배합해서 흡착시키고 용출시킨 후 흡수 분광법으로 오일 흡착량을 정량 계산해 본 결과를 HPLC의 질량분석과 AFM을 이용한 점착력 결과와 비교하였다. 오일 흡착에 영향을 미치는 요인인 양이온 폴리머를 다르게 하고 복합 폴리머를 사용해 본 결과 본 평가법이 모든 오일의 흡착량 평가에 적용할 수 있음을 입증하였다.

• 한국시뮬레이션학회논문지
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• 제18권3호
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• pp.147-154
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• 2009

본 연구에서는 자동차 도장 공장의 가장 큰 낭비 요소인 상도 공정의 세정 비용의 절감 및 환경 보호를 목적으로 상도 공정 이전의 각 컨베이어 연결점에서의 운영 알고리즘 변경시의 셋업 감소 효과를 시뮬레이션 모델링을 통해 분석하였다. 또한 본 연구의 동기가 된 도장 공정에서의 세정 비용 최소화 프로젝트 및 도장 공장 현황에 대해 설명하였다. 시뮬레이션 결과 컨베이어 연결점에서의 운영 알고리즘 개선시 현재 1.8대의 그룹화 효율을 2.5대 수준으로 향상시킬 수 있음을 알 수 있었다. 본 연구에서 적용한 접근법을 사용할 경우 그룹화 효율 향상에 별도 설비 투자가 필요 없고, CRS(Color Rescheduling Storage) 설치와 병행 적용하여 그룹화 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 이점을 가지고 있다.

• 대한화장품학회지
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• 제42권2호
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• pp.103-109
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• 2016

화장품 사용 전후의 피부 상태는 주로 시각과 촉각 및 피부 구조에 기초한 정성적, 정량적 방법에 의해 평가되어 왔다. 본 연구에서는 화장품을 피부에 도포할 때 문지름으로 인한 마찰 소음이 발생한다는 사실을 기반으로, 피부 문지름에서 발생하는 소리를 측정하여 청각을 기반으로 하는 새로운 피부 상태 평가법을 개발하고자 하였다. 우선 무향 조건에서 고감도의 계측용 마이크로폰을 사용하여 피부를 문질렀을 때 발생하는 소리를 계측하였으며, 주파수 영역(1/3 옥타브 스펙트럼) 해석법을 이용하여 세정 전, 세정 후, 화장품 도포 후의 세 가지 피부 조건에 따른 소리의 스펙트럼 변화를 분석하였다. 그 결과, 세정 전보다 세정 후에 피부 문지름에서 발생하는 소리의 세기가 증가하는 경향을 보였으며, 화장품 도포 후에는 문지름 소음의 총 세기가 가장 작음을 확인하였다. 또한, 화장품 도포 후는 도포 전과 비교해볼 때, 2 kHz 미만의 저주파 대역의 에너지는 증가하며 반대로 2 kHz 이상의 고주파 영역의 에너지는 상대적으로 감소하는 변곡점이 발생하였다. 화장품 도포 후에 변곡점 근처에서 에너지 차이가 반전되는 이러한 현상은 피부의 물리적 모델인 풍선으로 해석되며, 저주파 영역에서의 소리 세기의 증가를 설명하기 위해 "유연함 지표"를 도입하고, 고주파 영역에서의 소리 세기의 감소를 설명하기 위해서는 "부드러움 지표"를 도입하였다. 그리고, 이러한 소리 측정을 통한 유연함 증가와 부드러움 증가는 각각 cutometer와 primos을 사용한 피부 유연함 측정과 피부 거칠기 측정 결과와 유사함을 확인하였다. 이상의 연구 결과를 통해 유연함과 부드러움 지표를 사용하는 청각에 기초한 평가 방법은 새로운 피부 상태 평가법으로 활용 가능할 것으로 판단된다.

• 대한치과보철학회지
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• 제59권3호
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• pp.291-298
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• 2021

목적: 다섯 종류의 치간 세정 용품들을 이용하여, 지르코니아 크라운으로 수복된 치아의 치간공간에서 치면세균막 제거 효과의 임상적 차이를 살펴보는 것이다. 재료 및 방법: 하악 우측 제2소구치, 제1대구치 부위에 지대치를 형성한 모형을 제작하고, 두 지대치에 장착할 지르코니아 크라운을 각 10개씩 제작하였다. 인공 치면세균막을 제2소구치 원심면, 제1대구치 근심면에 도포한 후, 1인 실험자가 실제 구강 내에서 사용하는 모습을 재현하여 치간칫솔, 엔드터프트칫솔, 치실, 이지픽, 워터픽으로 군 당 10회 실험하였다. 디지털 카메라로 촬영된 이미지를 이용하여 제거된 양상 및 면적을 분석하였다. 통계 분석으로는 일요인 분산분석을 시행하였고, Scheffé 방법으로 사후검정 시행하였다 (P < .05). 결과: 치간 세정 용품에 따른 인공 치면세균막 제거 양상을 비교한 결과, 용품의 특성에 따라 제거되는 부위와 양상에 차이가 나타났다. 치실에서 변연 경계부를 포함하여 가장 넓은 면적이 제거되었다. 치간칫솔에서는 변연 경계부 위주로 제거가 되었으며, 이지픽은 치간칫솔보다 좁은 부위가 제거되었다. 엔드터프트칫솔은 협설면에서 인접면으로 이행되는 부분이 치간칫솔, 이지픽에 비해서 넓은 부위가 제거된 양상을 보였으나, 접촉점 직하방 부위는 거의 제거되지 않은 양상을 보였다. 워터픽에서는 거의 제거 되지 않은 양상을 보였다. 인공 치면세균막 제거율은 치실(69.47%), 엔드터프트칫솔(49.36%), 치간칫솔(44.20%), 이지픽(13.04%), 워터픽(0.59%) 순으로 나타났다. 결론: 지르코니아 크라운으로 수복된 치간공간에서의 치면세균막 제거율은 치실이 가장 높게 나타났으며, 변연경계부에서의 치면세균막 제거는 치간칫솔이 가장 효과적으로 나타났다.

• 한국건설관리학회:학술대회논문집
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• 한국건설관리학회 2003년도 학술대회지
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• pp.450-453
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• 2003

건선 사업에 일어서 초기 계획과 기성의 주기적이고 반복적인 비교 검토는 매우 중요하다. 이를 위해서는 정확한 현장 실적자료가 제공되어야하고, 작업량을 객관적으로 계량화하는 기준 및 진행상황을 정확히 반영한 진도율 산정이 필요하다. 이러한 진도율 산정을 위해서는 전체 사업이 명확한 작업범위를 갖는 단위작업으로 분할되어, 각 단위 작업에 필요한 정보가 할당되어야 한다. 국내 건설 사업에서와 같이 내역중심의 사업관리가 이루어지고 있는 상황하에서는 각 단위작업의 물량, 공사비 둥을 포함한 비용 정보 뿐만 아니라 일정 정보를 반영한 진도율 산정 방법이 필수적이며, 본 연구에서는 두 가지 정보에 의한 가중 진도율 산정방법을 제시하고자 한다.