• Title/Summary/Keyword: 세라믹 기판

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Microstructure of $SrBi_2(Ta,Nb)_2O_9$ Thin Films on $SrTiO_3$(001) Single Crystal ($SrTiO_3$(001) 단결정 위에 제조된 $SrBi_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막의 미세구조)

  • 이지현
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.37 no.10
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    • pp.1008-1013
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    • 2000
  • SrTi $O_3$(001) 단결정 기판 위에 졸-겔 스핀코팅으로 $SrBi_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막을 도포하고 그 결정화 과정을 고온 X-선 회절분석 (HTXRD)으로 추적하면서 Pt(111)/Ti/ $SiO_2$/Si 위에 성장한 박막과 비교하였다. SrTi $O_3$(001) 단결정 기판 위에 도포된 $SrBi_2Nb_2O_{9}$ 박막은 fluorite-like phase와 같은 transient phase를 거치지 않고 곧바로 순수한 $SrBi_2Nb_2O_9$ 상으로 결정화가 시작되었으며 결정화가 시작되는 온도인 ${\sim}540^{\circ}C$부터 c축 배향성장하였다. 또한 $SrB i_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막은 Ta/Nb 비에 관계없이 $SrTiO_3$(001) 위에서 모두 $(00{\ell})$로 배향되었으며, 코팅 횟수가 늘어나 필름의 두께가 증가함에 따라 c축 배향성은 미세한 감소를 보였다. $SrBi_2Nb_2O_9/SrTiO_3$단면을 TEM으로 관찰한 결과 $SrBi_2Nb_2O_9$은 대체로 불규칙한 크기의 다결정체로 되어 있었으나 계면 부근에서는 [001]$_{SBN}$//[001]$_{SrTi}$ $O_3$/, [100]$_{SBN}$//[100]$_{SrTi}$ $O_3$/라는 결정학적 관계를 가지며 에피탁샬 성장했음을 알 수 있었다.있었다.

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Strengthening of Substrate Glass for LCD by Single ton Exchange Process (Single Ion Exchange Process에 의한 LCD용 기판유리의 강화)

  • 이회관;오영석;이용수;강원호
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.39 no.7
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    • pp.675-679
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    • 2002
  • To produce a strengthened glass, single ion exchange properties such as three-point bend strength and residual stress were investigated in soda-lime-silicate substrate glass for display use. The present work showed that the maximum value of strength was 62.5${\times}$10$\sub$6/ kg/㎡ after, the two-step single ion exchange process at 470$^{\circ}C$ for 1 h and 450$^{\circ}C$ for 24 h. As the result of the fracture analysis after bending test, the residual stress on the fractured surface of the strengthened glass increased the flexibility by means of absorbing the elastic deformation energy in the glass. Also, the effects of absorbing the elastic deformation energy were analysed by curvature change, number of multiple crack branches and brittleness.

Pb(${Zr_{0.45}}{Ti_{0.55}}$Ferroelectric Thick Films on Stainless Steel Substrates (스테인레스 스틸 기판 위에 제조된 Pb(${Zr_{0.45}}{Ti_{0.55}}$후막의 강유전 특성)

  • 이지현
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.37 no.10
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    • pp.975-980
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    • 2000
  • 스테인레스 스틸 기판 위에 Pb($Zr_{0.45}$ $Ti_{0.55}$) $O_3$후막을 졸-겔 스핀 코팅법으로 제조하였다. 스테인레스 스틸은 그 자체로 좋은 도체이지만 PZT 후막의 강유전 특성을 개선하고자 Ru $O_2$박막을 중간층 겸 하부전극으로 사용하였다. PZT 전구체 용액을 코팅하고 급속 열처리하였을 때 5$50^{\circ}C$ 이하에서 pyrochlore 상이 먼저 나타났고 이 transient 상은 61$0^{\circ}C$에서 모두 perovskite 상으로 변화하였다. $600^{\circ}C$에서 열처리된 PZT 후막은 잔존하는 pyrochlore로 인해 걸어준 전기장에 무관하게 5-7$\mu$C/$ extrm{cm}^2$의 낮은 $P_{r}$값을 나타내었으나 61$0^{\circ}C$ 이상에서 열처리된 시편들은 모두 25$\mu$C/$\textrm{cm}^2$ 이상의 잔류분극을 가지고 있었다. 또한 Ru $O_2$중간층이 PZT의 강유전성에 미치는 영향을 조사하였을 때 잔류분극 값은 거의 영향을 받지 않았으나 항전계 값은 상당한 영향을 받았다. 즉 100nm 두께의 Ru $O_2$박막을 중간층으로 사용할 경우 중간층 없이 직접 스테인레스 스틸 위에 코팅할 때에 비해 항전계 값을 45% 가량 줄일 수 있었다.

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A Study on the Coating Fracture in Silicon Nitride Bilayer : II. Effect of Coating Thickness (질화규소 이층 층상재료에서 코팅층의 파괴에 관한 연구 : II Coating Thickness의 영향)

  • 이기성;이승건;김도경
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.35 no.1
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    • pp.48-54
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    • 1998
  • The effect of coating thickness on the contact fracture was studied, in Si3N4 coated Si3N4-BN system When the elastic/plastic mismatch is relatively large betwen two layers in bilayer certain critical coating thickness was required to prevent cone crack initiation and this critical thickness was decreased by de-creasing the elastic/plastic mismatch,. In addition the required critical thickness should be increased when higher loads apply. In conclusion an appropriate coating thickness should be designed by elastic/plastic mismatch between two layers and environment (applied load) to prevent the coating fracture

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Properties of Li doped BST-MgO thick film Interdigital Capacitor (Li이 첨가된 BST-MgO Interdigital 커패시터의 특성연구)

  • Kim, Se-Ho;Han, Yong-Su;Koh, Jung-Hyuk
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.286-286
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    • 2007
  • Li이 첨가된 0.7(Ba,Sr)$TiO_3$-0.3MgO 후막 interdigital 커패시터를 연구하였다. Li이 첨가된 0.7(Ba,Sr)$TiO_3$-0.3MgO의 후막을 $Al_2O_3$ 기판 위에 형성하기 위하여 스크린 프린팅 방법을 이용하였다. $BaSrTiO_3$의 세라믹 물질은 높은 유전율(1MHz에서 500이상)과 낮은 유전 손실(1MHz에서 0.01)값을 가지고 있는 반면, $1350^{\circ}C$의 높은 온도에서 소결되는 단점이 있다. 따라서 본 연구에서는 $BaSrTiO_3$ 세라믹 물질의 유전특성을 향상시키고 $1350^{\circ}C$의 높은 소결온도를 낮추기 위해서, MgO(30wt%)와 Li(3wt%)을 $BaSrTiO_3$에 첨가하였다. 그리고 10um의 후막을 $Al_2O_3$ 기판 위에 스크린 프린팅 방법을 통해 형성한 후, 50um finger gap의 interdigital 커패시터를 Ag 전극을 이용하여 제작하였다. 샘플을 제작하기 전에, Frequency와 유전율의 상관관계를 알아보기 위해 3D simulator를 통해 시뮬레이션 하였고, 주파수와 온도별 유전 특성, 구조와 전암-전류에 대한 특성을 본 연구의 결과를 통해 토의 할 것이다.

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EHD 잉크젯에서의 전압과 기판속도 변화에 의한 토출 연구

  • Im, Byeong-Jik;Lee, Gyeong-Il;Lee, Han-Seong;O, Se-Uk;Lee, Cheol-Seung;Kim, Seong-Hyeon;Ju, Byeong-Gwon;Jo, Jin-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.633-633
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    • 2013
  • 직접쓰기 기술은 재료의 낭비가 적고, 생산가격의 절감, 빠른 공정속도 및 유독물질 발생 없이 친환경적인 공정이 가능하여 디스플레이 및 인쇄전자 산업 등 다양한 분야에서 적용이 가능한 기술로 평가 받고 있다. 특히 EHD (Electro-Hydro-Dynamics) 기술을 이용한 잉크젯 방식의 경우 기존의 직접쓰기 기술에서는 어려운 고해상도의 패터닝이 가능하고 다양한 특성의 잉크에 적용 가능하다는 장점을 지니고 있어 크게 각광받고 있다. 본 연구는 내경 $60{\mu}m$, 외경 100 ${\mu}m$인 지르코니아 재질의 세라믹 노즐을 사용하여 EHD 잉크젯에서의 인가전압과 기판속도 변화에 의한 토출 현상을 연구하였다. BM 잉크를 이용하여 전압을 1.7~2.25 kV 증가하여 토출 시 구현된 라인의 선폭은 22~38 ${\um}m$까지 커졌고, AMO 잉크를 이용하여 기판속도를 25~500 mm/s 증가시켜 토출 시 구현된 라인의 선폭은 $91{\sim}21{\mu}m$로 줄어들며 라인의 두께는 400~110 nm얇아지는 것을 확인하였다. 이처럼 노즐에 인가되는 전압과 기판 속도에 따라 토출의 양상이 달라지므로 이를 적절히 조합하면 안정적으로 원하는 토출을 구현할 수 있다.

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Effect of the Pore Structure on the Anodic Property of SOFC (SOFC 음극의 기공구조가 음극특성에 미치는 영향)

  • 허장원;이동석;이종호;김재동;김주선;이해원;문주호
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.39 no.1
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    • pp.86-91
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    • 2002
  • Solid Oxide Fuel Cells (SOFC) are of great interest of next generation energy conversion system due to their high energy efficiency and environmental friendliness. The basic SOFC unit consists of anode, cathode and solid electrolyte. Among these components, anode plays the most important role for the oxidation of fuel to generate electricity and also behaves as a substrate of the whole cell. It is normally requested that the anode materials should have the high electrical conductivity and gas permeability to reduce the polarization loss of the cell. In this study, the effect of pore former on the microstructure of anode substrate was investigated and thus on the electrical conductivity and the gas permeability. According to the results, microstructure and electrical conductivity of anode substrate were greatly influenced by the shape of pore former and especially by the anisotrpy of the pore former. The use of anisotropic pore former is supposed to deteriorate the cell performance by which the electrical conduction path is disconnected but also the effective gas diffusion path for the fuel is reduced.

The Effective $P_2O_5$ Doping into $B_2O_3-P_2O_5-SiO_2$ Silica Layer Fabrication by Flame Hydrolysis Deposition (FHD법에 의한 $B_2O_3-P_2O_5-SiO_2$ 실리카막의 효과적인 $P_2O_5$ 도핑)

  • 심재기;이윤학;성희경;최태구
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.35 no.4
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    • pp.364-370
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    • 1998
  • Boron-phoshor-silicate glass was fabricated on Si substrates by FHD(Flame Hydrolysis Deposition) The microstructrue of silica soot deposited at various conditon such as composition and substrate temperature was analysed by SEM. After consolidation the refractive index and composition of the silica layer were in-vestigated. For refractive index control B, P and Ge were used as additive elements while B and Ge oxides are easily mixed into $SiO_2$, P oxide($B_2O_3$) doping is difficult because of the volatile property due to low melt-ing point. Boron-phosphorous-silicate glass (BPSG) layer were fabricated using bertical torch and optimized flame temperature substrate temperature and distance of torch and substrate. P concentration of BPSG lay-er measured 3.3 Wt% and the consolidation temperature was lower than $1180^{\circ}C$. The measured refractive index of BPSG silica layer in $1.55\;\mu\textrm{m}$ wavelength was $1.4480{\pm}1{\times}10^{-1}$ and the thickness was $22{\pm}1\;\mu\textrm{m}$.

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Growth of YIG Thick Films by the Change of Supercooling and Substrate Rotation Speed (과냉도 및 기판회전조건 변화에 따른 YIG 단결정 후막의 성장)

  • Kim, Yong-Tak;Yoon, Seok-Gyu;Kim, Geun-Young;Im, Young-Min;Jang, Hyun-Duck;Yoon, Dae-Ho
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.39 no.5
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    • pp.498-502
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    • 2002
  • Pure-yttrium iron garnet($Y_3Fe_5O_{12}$2, YIG) thick films were grown from a $PbO/B_2O_3$ flux onto (111) SGGG substrate using liquid phase epitaxy. The effect of substrate rotation speed and supercooling on crystallinity, chemical composition and growth rate of the thick films was investigated. The FWHM of films decreased with increasing of growth temperature from 860 to 910${\circ}C$. A substrate rotation speed of 120 rpm at 910${\circ}C$ lead to growth rates up to $60{\mu}m/h$.

Growth and Characteristics of YIG, Bi:YIG, TbBi:YIG Single Crystal Thick Films (YIG, Bi:YIG, TbBi:YIG 단결정 후막의 성장과 특성)

  • 윤석규;김근영;김명진;이형만;김회경;윤대호
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.40 no.7
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    • pp.672-676
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    • 2003
  • The single crystalline thick films of Y$_3$Fe$\sub$5/O$\sub$12/(YIG), Y$_3$Fe$\sub$5/O$\sub$12/(Bi:YIG), (TbBi)$_3$(FeAlGa)$\sub$5/O$\sub$12/ (TbBi:YIG) were grown on (GdCa)$_3$(GaMgZr)$\sub$5/O$\sub$12/ (SGGG) by Liquid Phase Epitaxy (LPE). The change of lattice mismatch, Bi concentration, characteristic of magnetic and surface morphology were investigated in the thick film growth as a function of species and amount of chemical element, while substrate rotation speed, supercooling and growth time were kept constant. It was observed that the lattice constant of garnet single crystalline thick films of TbBi:YIG (12.500 ${\AA}$) is closed to the one of the substrate (12.496 ${\AA}$). Besides magnetic field of saturation exhibits excellent results (150 Oe).