• Title/Summary/Keyword: 성장중단법

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MOCVD의 성장 중단법을 이용한 저밀도 InAs/InP 양자점의 성장

  • Choe, Jang-Hui;Han, Won-Seok;Jo, Byeong-Gu;Song, Jeong-Ho;Jeong, Hyeok;Jin, Byeong-Mun;Jang, Yu-Dong;Lee, Dong-Han
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.363-364
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    • 2012
  • 기존 양자점에 대한 연구는 레이저 다이오드와 광증폭기등과 같은 광소자의 활성층에 사용되던 양자우물을 대체하기 위하여 고밀도, 고균일 양자점 성장에 관한 연구가 활발히 진행되었지만, 최근에는 양자점을 이용한 Single-photon source의 관심이 높아짐에 따라 저밀도 양자점 성장에 관한 연구가 주목 받고 있다. 본 연구에서는 수직형 저압 Metal organic chemical vapor deposition (MOCVD)를 이용하여 InP 기판 위에 저밀도 InAs 양자점을 성장하였다. 저밀도의 양자점을 성장하기 위하여 양자점과 덮개 층($1.1 {\mu}m$ InGaAsP)사이에 V족 원료 가스인 As만 공급하는 성장 중단 시간 (GI:Growth interruption)을 삽입하였다. 시료의 구조는 InP (100)기판위에 50 nm InGaAsP barrier, 1.5ML GaAs를 성장 후 InAs 1.9 ML를 성장하였다. 그 후 0, 1, 2, 5 분의 GI을 삽입한 후 InGaAsP 와 InP 덮개층을 성장하였다. 양자점의 밀도와 형상을 측정하기 위하여 Atomic force microscopy (AFM)을, 광학적 특성 분석을 위하여 저온 Micro Photoluminescence (${\mu}$-PL)을 측정하였다. 성장 중단 시간의 증가에 따라 InAs/InP 양자점의 높이와 넓이는 증가하고 밀도는 감소하였다. 성장 중단 시간 3분 이후에는 밀도 감소가 둔화 되었으며, 5분일 때 $3.2{\times}10^7/cm^2$의 극저밀도 InAs/InP 양자점이 성장되었다. 또한 저밀도 양자점 시료의 저온 ${\mu}$-PL을 측정하여 단일 양자점의 exciton과 bi-exciton peak가 측정되었다.

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Indium Pre-deposition 법으로 성장한 InAs/GaAs 양자점의 광학적 특성

  • O, Jae-Won;Gwon, Se-Ra;Ryu, Mi-Lee;Jo, Byeong-Gu;Kim, Jin-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.332-332
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    • 2012
  • 분자선 에피탁시(molecular beam epitaxy)를 이용하여 GaAs 기판에 성장한 InAs 양자점(QDs: quantum dots)은 성장 온도, 압력, As/In의 공급비 등의 성장 조건에 따라 다른 변수(parameter)를 갖는다. 따라서 성장변수에 따라 양자점의 모양과 크기, 밀도가 달라져 균일한 양자점 형성에 어려움이 있어 많은 연구가 진행되고 있다. 예를 들면 In-interruption 법으로 성장한 양자점의 특성이 S-K mode (Stranski-Krastanov mode)로 성장한 양자점에 비해 광학적 특성이 향상되었다. 본 연구에서는 In pre-deposition (IPD) 법으로 성장한 InAs/GaAs 양자점의 광학적 특성을 PL(photoluminescence)와 TRPL (time-resolved PL)을 이용하여 분석하였다. InAs QDs 시료들은 In과 As 공급시간을 각각 1초와 19초 (QD1), 2초와 18초 (QD2), 3초와 17초 (QD3)로 조절하여 성장하였으며, In이 공급되는 시간 동안 As shutter를 차단하여 As 공급을 중단하였다. In과 As의 차단 없이 S-K mode로 성장한 시료를 기준시료로 사용하였다 (QD0). AFM (atomic force microscope) 측정결과, In 공급시간이 1초에서 2초로 증가할 때, 양자점의 밀도와 종횡비(aspect ratio)가 증가하였고, 양자점의 균일도가 증가하였다. 그러나 QD3 시료는 QD1 시료에 비해 밀도와 종횡비, 균일도가 감소하였다. 10 K에서 PL 피크는 In 공급 시간이 증가할 때, 970 nm에서 1020 nm로 적색편이 하였고 반치폭 (FWHM: full width at half maximum)은 75 meV에서 85 meV로 증가하였다. QD2 시료의 PL 피크 에너지가 가장 낮았고, 가장 강한 PL 세기를 보였다. IPD 시간이 증가함에 따라 PL 피크에서 측정한 PL 소멸은 점차 빨라졌다. IPD 기법으로 성장한 양자점의 빠른 PL 소멸은 양자점 밀도와 종횡비 향상에 의한 파동함수 중첩의 증가와 구속 에너지 증가에 의한 것으로 설명된다.

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Optical Properties of InAs Quantum Dots Grown by Using Arsenic Interruption Technique

  • Choe, Yun-Ho;Kim, Hui-Yeon;Ryu, Mi-Lee;Jo, Byeong-Gu;Kim, Jin-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.268-268
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    • 2011
  • GaAs (001) 기판에 MBE를 이용하여 자발형성법으로 성장한 InAs 양자점(QDs: quantum dots)의 광학적 특성을 PL (photoluminescence)과 TRPL (time-resolved PL)을 이용하여 분석하였다. InAs 양자점 성장 동안 In 공급은 계속하면서 As 공급을 주기적으로 차단과 공급을 반복하면서 성장하였다. As 차단과 공급을 1초, 2초, 그리고 3초씩 하면서 InAs 양자점을 성장하였다. 기준시료는 In과 As 공급을 중단하지 않고 20초 동안 성장하였다. As interruption mode로 성장한 시료들의 QD density는 기준시료에 비해 증가하였으며, size distribution도 기준시료에 비해 향상되었다. 기준시료와 비교하였을 때, As interruption mode로 성장한 시료들의 PL 피크는 적색이동 (red-shift)를 보였으며, PL 세기는 2배 이상 증가하였다. PL 소멸곡선은 파장이 증가함에 따라 점차 느려지다가 PL 피크에서 가장 느린 소멸을 보인 후 다시 점차 빠르게 소멸하였다. 시료의 온도를 10 K에서 60 K까지 증가하였을 때 PL 피크 에너지는 변하지 않았으며, PL 소멸시간은 서서히 증가함을 보였다. 온도를 더 증가하였을 때 PL 피크 에너지는 적색이동 하였으며 PL 소멸시간도 빠르게 감소함을 보였다. As interruption mode로 성장한 양자점 시료의 구조적 특성 변화에 의한 광학적 특성 변화를 확인하였다.

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Parameter Estimation and Prediction methods for Hyper-Geometric Distribution software Reliability Growth Model (초기하분포 소프트웨어 신뢰성 성장 모델에서의 모수 추정과 예측 방법)

  • Park, Joong-Yang;Yoo, Chang-Yeul;Lee, Bu-Kwon
    • The Transactions of the Korea Information Processing Society
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    • v.5 no.9
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    • pp.2345-2352
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    • 1998
  • The hyper-geometric distribution software reliability growth model was recently developed and successfully applied Due to mathematical difficultv of the maximum likclihmd method, the least squares method has hem suggested for parameter estimation by the previous studies. We first summarize and compare the minimization criteria adopted by the previous studies. It is theo shown that the weighted least squares method is more appropriate hecause of the nonhomogeneous variability of the number of newly detected faults. The adequacy of the weighted least squares method is illustrated by two numerical examples. Finally, we propose a new method fur predicting the number of faults newly discovered by next test instances. The new prediction method can be used for determining the time to stop testing.

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In-situ Stress behavior of Cu thin films during thermal evaporation (열증착법에 의한 구리박막의 실시간 응력 거동연구)

  • Ryu, Sang;Lee, Gyeong-Cheon;O, Seung-Geun;Kim, Yeong-Man
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2007.04a
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    • pp.107-108
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    • 2007
  • 박막형태의 소재는 일반적으로 광 전자 및 소재가 공 관련 산업에서 특수한 기능이 요구되는 부품 제조에 광범위하게 응용되고 있다. 이러한 박막 소재는 물성 면에서 벌크물질일 때의 물성과 매우 다를 수 있는 것으로알려져 있다. 박막에 스트레인이 존재하면 전자의 이동도나 밴드갭 에너지를 변화시켜 줄 수 있으며, 계면의 전위는 소자를 열화 시키는 역할을 하기도 한다. 이러한 이유로 박막 성장 시 실시간으로 스트레인을 관찰하고 이 결과를 실제 제조공정에 피드백 하여, 소자의 신뢰성을 확보하는 노력이 행해지고 있다. 구리박막의 실시간 응력거동은 F.Spaepen에 의해 보고된 초기 압축응력, 인장응력, 2차적으로 나타나는 점진성의 압축응력의 독특한 3단계 응력거동으로 나타나는 것으로 알려져 있으며, 본 실험에서는 박막증착도중 단시간 증착을 중단한 이후 재 증착을 하여 응력거동을 관찰함으로써 독특한 3단계 응력거동의 메커니즘을 알고자 하였다.

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MOCVD $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속 원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선

  • 이석규;김준형;황민욱;엄명윤;김윤해;김진용;김형준
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.103-103
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    • 2000
  • 강한 결정 방향 의존성과 낮은 항정계를 갖는 Bi4Ti3O12 강유전체 박막은 NDRO형 비휘발성 강유전체 메모리 분야에서 매우 유망한 재료이다. 이를 위해서는 실리콘 기판과의 계면조절과 실리콘 기판성에서 고품질의 강유전성 박막을 성장시키는 기술이 필수적이다. MOCVD에 의한 Bi4Ti3O12 의 증착에서는 Bi 성분의 강한 휘발 특성과 낮은 반응성으로 인하여 조성과 두께 등의 조절이 매우 어렵다. 따라서 화학기상증착의 기구를 이해하고 제어하는 기술이 양질의 박막을 얻는데 필수적이다. 본 연구에서는 유기금속 원료 TPB, TIP 과 산소를 이용하여 실리콘 기판위에 Bi4Ti3O12 강유전체 박막을 증착할 때, 증착 변수의 변화에 따른 박막의 증착 거동과 구조적, 전기적 특성을 연계하여 분석하였다. 특히 기판부착력이 낮고 휘발성이 강한 Bi의 특성으로 인한 문제를 개선하기 위하여 TIP원료를 주기적으로 공급, 중단을 반복하는 펄스주입법을 고안하여 그 효과를 살펴보았다. 실리콘 기판위에서 TiO2의 증착속도는 실험온도 영역에서 온도에 따라 변화하지 않는 전형적인 물질 전달에 의해 지배되는 양상을 나타내었다. 반면 Bi2O3 경우에는 50$0^{\circ}C$ 이상에서 급격하게 증착속도가 감소하는 특이한 경향을 나타내었으며 이는 Bi2O3의 높은 휘발성 때문일 것이다. Bi4Ti3O12 박막은 온도증가에 따라 증착속도가 증가한 후 $600^{\circ}C$ 이상에서 포화되는 경향을 보였다. 이로부터 실리콘 기판위에서의 Bi4Ti3O12 박막의 증착 모델을 제시하였다. Bi2O3에 비해 상대적으로 표면 부착력이 월등히 큰 TiO2가 우선적으로 실리콘 펴면에 형성된 후 TPB 유기금속 원료가 이 TiO2와 반응하는 과정으로 Bi4Ti3O12 박막이 증착된다. $600^{\circ}C$이상에서는 증착 변수들을 바꾸어도 물성이 변하지 않는 자기조절기능이 있음을 알 수 있었는데 이는 고온에서의 Bi2O3의 강한 휘발성 때문일 것이다. 실리콘 기판에서 층상 페로브스카이트 상은 58$0^{\circ}C$ 이상에서 형성되며, 매우 좁은 온도 변화에도 결정구조, 박막현상 및 성분이 크게 바뀌는 온도에 민감한 증착거동이 관찰되었다. 증착 모델에서 예견되는 Bi의 불리함을 개선하기 위해 펄스주입법을 실시한 경우 Bi의 성분량이 증가되었고 결정성이 향상되었다. 이로부터 펄스주입법이 박막내에 부족하기 쉬운 Bi를 보충하여 박막의 특성을 개선함을 확인하였다. Bi4Ti3O12 박막의 증착온도에 따른 누설전류 특성 측정 결과 증착온도가 감소할수록 누설전류가 감소함을 알 수 있었고 펄스주입법이 연속주입법보다 더 낮은 누설전류를 보임을 알았다. 펄스주입법의 경우 -2.5V 인가 시의 누설전류는 7.4$\times$10-8A/cm2에서 1.3$\times$10+7A/cm2의 매우 우수한 값을 가졌다. 연속 주입법에 의해 증착된 박막은 C-V 측정 결과 강유전성 이력이 나타나지 않았으나, $600^{\circ}C$ 이상에서 펄스주입법에 의해 증착된 박박은 강유전성 이력을 나타내었다.

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Growth promoting effect of short-term gonadotropin releasing hormone agonist with or without growth hormone in girls with early puberty (조기 사춘기 여아에서 단기간 성선자극호르몬 방출호르몬 효능약제와 성장호르몬 병합투여의 성장촉진 효과)

  • Lee, Eun-Ju;Han, Heon-Seok
    • Clinical and Experimental Pediatrics
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    • v.50 no.2
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    • pp.198-204
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    • 2007
  • Purpose : The hope that arresting pubertal developement might increase final adult height has led to an attempt to use GnRH agonist (GnRHa) in children with early puberty and poor growth prognosis. We investigated the growth-promoting effect of GnRH agonists with or without growth hormone (GH) in girls with early puberty and decreased predicted adult height (PAH). Methods : Thirty five girls with advanced bone age and early pubertal signs were randomized for treatment for about 1 year with monthly GnRHa in group 1 (n=18), or with a combination of GH and GnRHa in group 2 (n=17). The following growth parameters were compared between groups, and the difference ($\Delta$) before and after treatment : chronological age (CA), bone age (BA), $\Delta$(BA-CA), height (HT), target height (TH), predicted adult height (PAH), $\Delta$ (TH-PAH), serum insulin-like growth factor (IGF-1) and insulin-like growth factor binding protein (IGFBP-3). Results : Before treatment, BA, TH, PAH Standard deviation scores (SDS), $\Delta$(TH-PAH) were not different between the two groups, but CA was higher in group 2 and $\Delta$(BA-CA) were higher in group 1 (P<0.05). After $1.06{\pm}0.93$ year of treatment, $\Delta$ (BA-CA) decreased and there were significant changes in PAH and $\Delta$ (TH-PAH), especially in group 2 (P<0.05 in group 1, and P<0.001 in group 2). In both groups, IGF-1 and IGFBP-3 were not different before and after treatment, but after treatment, IGF-1 level in group 2 was marginally higher than IGF-1 in group 1 (P<0.1). Conclusion : Compromised predicted adult height in girls with early puberty and advanced bone age was significantly improved with GnRH with/without GH treatment in the short-term period. The addition of GH to GnRHa results in a significant increase in PAH compared to GnRHa alone because GnRHa suppressed growth hormone-IGF-1 axis. For comparison of final adult height, further longitudinal follow-up will be needed.

Synergistic Inhibition of Burkitt's Lymphoma with Combined Ibrutinib and Lapatinib Treatment (Ibrutinib과 Lapatinib 병용 치료에 의한 버킷림프종의 상호 작용적 억제)

  • Chae-Eun YANG;Se Been KIM;Yurim JEONG;Jung-Yeon LIM
    • Korean Journal of Clinical Laboratory Science
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    • v.55 no.4
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    • pp.298-305
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    • 2023
  • Burkitt's lymphoma is a distinct subtype of non-Hodgkin's lymphoma originating from B-cells that is notorious for its aggressive growth and association with immune system impairments, potentially resulting in rapid and fatal outcomes if not addressed promptly. Optimizing the use of Food and Drug Administration-approved medications, such as combining known safe drugs, can lead to time and cost savings. This method holds promise in accelerating the progress of novel treatments, ultimately facilitating swifter access for patients. This study explores the potential of a dual-targeted therapeutic strategy, combining the bruton tyrosine kinase-targeting drug Ibrutinib and the epidermal growth factor receptor/human epidermal growth factor receptor-2-targeting drug Lapatinib. Ramos and Daudi cell lines, well-established models of Burkitt's lymphoma, were used to examine the impact of this combination therapy. The combination of Ibrutinib and Lapatinib inhibited cell proliferation more than using each drug individually. A combination treatment induced apoptosis and caused cell cycle arrest at the S and G2/M phases. This approach is multifaceted in its benefits. It enhances the efficiency of the drug development timeline and maximizes the utility of currently available resources, ensuring a more streamlined and resource-effective research process.

Effect of GnRH analogue on predicted adult height in girls with early puberty (조기사춘기 여아에서 성선자극호르몬 방출호르몬 효능약제가 예측성인신장에 미치는 효과)

  • Ahn, Byung-Hoon;Han, Heon-Seok
    • Clinical and Experimental Pediatrics
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    • v.49 no.5
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    • pp.552-557
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    • 2006
  • Purpose : The recent results observed in precocious puberty and the hope that interrupting puberty might increase adult height have led to an attempt to use GnRH agonist(GnRHa) in children with premature puberty and a poor growth prognosis. We aimed to analyze the growth promoting effect of GnRHa in girls with early puberty and low predicted adult height(PAH). Methods : Thirty six girls were recruited. They were grouped according to the GnRHa treatment period(group 1>6 mo, n=18; group 2<6 mo, n=18). The following variables were analyzed before and after GnRHa treatment : chronological age(CA), bone age(BA), ${\Delta}age$(CA-BA), height, target height (TH), PAH, serum IGF-1, IGFBP-3. Results : Duration of the GnRHa treatment was $0.89{\pm}0.81yr$($1.37{\pm}0.92yr$ in group 1, and $0.41{\pm}0.08yr$ in group 2). Before treatment, none of the variables were different between the two groups. There were no differences in the following variables the between two groups at the end of treatment : CA, BA, ${\Delta}age$, PAH, serum IGF-1, IGFBP-3. But, growth velocity(GV) and PAH increment during treatment were significantly reduced in group 1. Compared with initial PAH, PAH at the end of treatment was significantly increased($3.7{\pm}3.2cm$). The last serum levels of IGF-1 and IGFBP-3 were lower than those before treatment. Conclusion : Even though last PAH didn't approach TH, short term GnRHa administration in early puberty with low predicted PAH was somewhat effective. But, GnRHa administration suppressed the growth hormone-IGF-1 axis. Therefore, it is recommended that growth hormone(GH) should be used in combination with GnRHa.

Effect of GnRH analogue on the bone mineral density of precocious or early pubertal girls (성조숙증 혹은 조기 사춘기가 있는 여아에서 단기간의 성선자극호르몬 방출호르몬 효능약제 사용이 골밀도에 미치는 영향)

  • Lim, Jeong Sook;Han, Heon-Seok
    • Clinical and Experimental Pediatrics
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    • v.52 no.12
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    • pp.1370-1376
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    • 2009
  • Purpose:Treatment of precocity with gonadotropin releasing hormone analogue (GnRHa) might theoretically exert a detrimental effect on the bone mass during pubertal development. We investigated the short-term changes in bone mineral density (BMD) during GnRHa treatment and the enhancement in the changes with the co-administration of GnRHa and human growth hormone (hGH). Methods:Forty girls with precocious or early puberty who were using GnRHa for more than 1 year were enrolled. Of them, 14 concurrently received hGH. Lumbar bone mineral density was measured before and after the treatment, and bone mineral density-standard deviation scores (BMD-SDSs) were compared according to chronologic age (CA) and bone age (BA), as well as according to the administration of GnRHa alone (Group I) or the co-administration of hGH and GnRHa (Group II). Results:BMDs before and after treatment were in the normal range according to CA but were significantly lower according to BA (P<0.05). During treatment, BMD-SDSs did not change according to CA but significantly increased according to BA (P<0.05). BMD-SDSs in group I did not change during treatment according to CA or BA, while those in group II increased significantly according to BA (P<0.05), but not according to CA. Conclusion:Lumbar BMD was adequate according to CA at initial manifestation of precocity but was lower if compared to BA, that is, BMD did not increase with BA. Because co-treatment with hGH significantly increased BMD-SDSs according to BA, hGH co-treatment could be considered during GnRHa therapy.