• Title/Summary/Keyword: 성장방향

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R-plane 사파이어의 경사각에 따른 비극성 a-plane GaN 성장 거동 고찰

  • Park, Seong-Hyeon;Park, Jin-Seop;Mun, Dae-Yeong;Yu, Deok-Jae;Kim, Jong-Hak;Kim, Nam-Hyeok;Kim, Jeong-Hwan;Gang, Jin-Gi;Yun, Ui-Jun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.151-152
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    • 2010
  • 극성 [0001] 방향으로 성장 된 질화물 기반의 LEDs (light emitting diodes) 는 분극현상에 의해 발생하는 강한 내부 전기장의 영향을 받게 된다. 이러한 내부 전기장은 양자우물 내의 전자와 정공의 공간적 분리를 야기하고 quantum confined Stark effect (QCSE) 에 의한 발광 파장의 적색 편이가 발생하며 양자효율의 저하를 가져오게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 양자 우물구조를 GaN 의 m-plane (100) 이나 a-plane (110) 등 비극성면 위에 성장하려는 시도를 하고 있다. 그러나 비극성면의 비등방성 (anisotropy) 으로 인하여 결정성이 높은 비극성 GaN을 성장하는 데에는 많은 어려움이 있다. 비극성 a-plane GaN 의 결정성과 표면 거칠기의 향상을 위해 경사각을 가지는 r-plane 사파이어를 기판으로 이용하는 연구들이 많이 진행되어 있다 [1-4]. 그러나 r-plane 사파이어 기판의 경사각과 표면의 pit 형성에 관한 상관관계의 체계적인 연구는 상대적으로 많이 진행되지 않았다. 본 연구에서는 경사각을 가진 r-plane 사파이어 기판에 유기금속화학증착법을 (MOCVD) 이용하여 a-plane GaN 을 성장하였으며, 성장 시 기판의 경사각이 a-plane GaN의 성장 거동 및 표면형상에 미치는 영향을 분석하였다. 본 실험에서는r-plane에서 m-axis방향으로 0도에서 -0.65도의 경사각을 가지는 r-plane 사파이어 기판을 이용하였다. a-plane GaN 성장에는 고온 GaN 핵 형성층을 (nucleation layer) 이용하는 2단계 성장 법이 사용되었다 [5]. -0.37도 보다 크기가 큰 경사각을 가진 r-plane 사파이어에 성장된 a-plane GaN의 표면에는 수 ${\mu}m$ 크기의 삼각형 형태의 pit이 형성되었다. 사파이어의 경사각이 -0.37도에서 -0.65도로 증가하였을 경우에, GaN의 m방향 X-ray 록킹커브 반치폭은1763 arcsec에서 1515 arcsec로 감소하였으나 표면에 삼각형 pit의 밀도는 103 cm-2 이하에서 $2{\times}106$ cm-2으로 증가하였다. 이러한 r -plane 사파이어 기판의 경사각의 차이로 표면에 pit이 발생과 결정성변화의 원인을 확인하기 위해서, 여러가지 다른 경사각을 가진 사파이어 기판의 표면에 성장된 핵 형성층의 표면 양상을 확인하였다. 발표에서는 경사각의 차이에 따른 기판 표면에서의 원자 step 구조와 GaN 의 핵 형성 간의 상관관계에 대하여 구체적으로 논의할 것이다.

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Spatial variation in quality of Ga2O3 single crystal grown by edge-defined film-fed growth method (EFG 방법으로 성장한 β-Ga2O3 단결정의 영역별 품질 분석)

  • Park, Su-Bin;Je, Tae-Wan;Jang, Hui-Yeon;Choi, Su-Min;Park, Mi-Seon;Jang, Yeon-Suk;Moon, Yoon-Gon;Kang, Jin-Ki;Lee, Won-Jae
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.32 no.4
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    • pp.121-127
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    • 2022
  • β-Gallium oxide (Ga2O3), an ultra-wide bandgap semiconductor, has attracted great attention due to its promising applications for high voltage power devices. The most stable phase among five different polytypes, β-Ga2O3 has the wider bandgap of 4.9 eV and higher breakdown electric field of 8 MV/cm. Furthermore, it can be grown from melt source, implying higher growth rate and lower fabrication cost than other wide bandgap semiconductors such as SiC, GaN and diamond for the power device applications. In this study, β-Ga2O3 bulk crystals were grown by the edge-defined film-fed growth (EFG) process. The growth direction and the principal surface were set to be the [010] direction and the (100) plane of the β-Ga2O3 crystal, respectively. The spectra measured by Raman an alysis could exhibit the crystal phase an d impurity dopin g in the β-Ga2O3 ingot, and the crystallinity quality and crystal direction were analyzed using high-resolution X-ray diffraction (HRXRD). The crystal quality and various properties of as-grown β-Ga2O3 ribbon was systematically analyzed in order to investigate the spatial variation in entire crystal grown by EFG method.

Growth of CdS Single Crystal Thin Films by HWE Method (HWE법에 의한 CdS 단결정 박막의 성장)

  • 양동익;최용대;김진배
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.1 no.3
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    • pp.353-359
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    • 1992
  • 본 연구에서는 HWE 방법에 의하여 GaAs(100) 기판위에 입방정의 단결정 박막을 성장하였다. 성장된 CdS 단결정 박막의 결정구조와 방향을 ECP(electron channeling pattern)로 결정하였다. CdS 박막의 (400)면이 기판과 평행하게 성장됨을 알았다. CdS 박 막의 photoluminescence를 20K에서 측정하였는데, free exception, bound exception 및 donor-acceptor pair에 의한 발광이 관측되었다.

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The effects of Growth Needs and Job-esteem on Customer Orientation (호텔직원의 성장욕구와 직업존중감이 고객지향성에 미치는 영향)

  • Lim, ji-eun
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.221-222
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    • 2017
  • 본 연구는 호텔직원의 성장욕구와 직업존중감이 고객지향성에 미치는 영향과 심리적 주인의식이 직원의 고객지향성의 관계에 미치는 매개효과에 대해 연구하였으며 서울지역에 소재한 특급호텔 직원을 대상으로 실증분석을 시행하였다. 그 결과, 직원의 성장욕구와 직업존중감이 고객지향성에 유의한 영향력이 있고 심리적 주인의식이 직원의 성장욕구와 직업존중감과 고객지향성의 관계에 완전한 매개효과를 미치는 것을 확인하였다. 이러한 연구결과를 바탕으로 호텔 인사담당자를 위한 직원관리에 대한 이론적 의미와 시사점 그리고 향후연구방향을 제시하였다.

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