• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2007.10a
• /
• pp.139-140
• /
• 2007

본 연구에서는 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어 차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피이던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피이던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. 평가결과, 설계변수의 조합에 대하여 감시 성능이 크게 달랐지만, 각 센서 정보의 감시 성능을 증진시키는 설계변수의 조합이 있었음을 확인하였으며, 이는 각 종 다양한 센서정보 별 CUSUM 제어 차트의 설계가 필요함을 의미한다. 연구에서는 Raw 데이터 대비 성능 분석을 위해 CUSUM 제어 차트의 설계 변수를 변수인 d와 $\Theta$값의 변화를 주어 다수의 (0, $\Theta$)의 조합에 따른 감시 성능을 평가하였으며, 평가에 이용된 데이터는 소스전력이 750 W, 압력이 15 mTorr, $O_2$ 유량이 50 sccm일 때 수집 하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
• /
• 2007.11a
• /
• pp.460-461
• /
• 2007

본 연구에서는 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. 평가결과, 설계변수의 조합에 대하여 감시 성능이 크게 달랐지만, 각 센서 정보의 감시 성능을 증진시키는 설계변수의 조합이 있었음을 확인하였으며, 이는 각 종 다양한 센서정보별 CUSUM 제어 차트의 설계가 필요함을 의미한다. 연구에서는 Raw 데이터 대비 성능 분석을 위해 CUSUM 제어 차트의 설계변수를 변수인 d와 ${\Theta}$값의 변화를 주어 다수의 (d, ${\Theta}$)의 조합에 따른 감시 성능을 평가하였으며, 평가에 이용된 데이터는 소스전력이 750 W, 압력이 15 mTorr, Ar 유량이 50 seem일 때 수집하였다.

• Journal of the Korean Society for Railway
• /
• v.12 no.4
• /
• pp.574-581
• /
• 2009

Displacement of the bridge and additional rail stress due to interaction between track and bridge should be limited to the design criteria. Interaction analysis was conducted to investigate the displacement and additional rail stress on CWR in railway bridge of conventional line. Particularly, various parameters affecting interaction phenomena were taken into account in the analysis to enhance an applicability. These parameters included configuration of structure, stiffness of deck and support, steel/concrete bridge, ballast/concrete track and FM/MFM type etc. The results were presented in the form of the design chart which could be useful in preliminary design of the bridge.

• Journal of the Korean Society for Railway
• /
• v.12 no.4
• /
• pp.565-573
• /
• 2009

Displacement of the bridge and additional rail stress due to interaction between track and bridge should be limited to the design criteria. Interaction analysis was conducted to investigate the displacement and additional rail stress on CWR in high speed railway bridge. Particularly, various parameters affecting interaction phenomena were taken into account in the analysis to enhance an applicability. These parameters included configuration of structure, stiffness of deck and support, steel/concrete bridge, ballast/concrete track and FM/MFM type etc. The results were presented in the form of the design chart which could be useful in preliminary design of the bridge.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
• /
• v.30 no.3B
• /
• pp.315-324
• /
• 2010

We developed a design chart for very large floating structures through intensive hydroelastic analysis. Using this chart, one can predict the hydroelastic response of very large floating structures preliminarily at design stage without the cost-demanding hydroelastic analysis. This paper presents two new design charts based on the theory of VLFS. The purpose of the first design chart is to determine RAOs of the maximum longitudinal stress of VLFS considering properties of waves and structures. The design chart I can be applied to any sizes of VLFS in same aspect ratios and dimensionless stiffness parameters. The second design chart is developed to take into account the actual wave condition by using the Bretschneider spectrum with Beaufort sea state.

• Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
• /
• 2000.11a
• /
• pp.107-112
• /
• 2000

최근 들어 급속한 인터넷 사이트와 이용자들의 증가로 인해 많은 정보 제공 사이트들은 이용자들의 요구에 상응하는 정보를 제공하기 위하여 보다 이해하기 쉬운 그림, 도표, 차트 등의 그래픽으로 처리된 정보들을 생성하고 관리한다. 본 연구에서는 이용자들의 요구에 부합되며 인터넷 상에서 원격 관리가 가능한 실시간 차트서버와 차트 클라이언트, Java application 내부에서 처리되는 java chart component 등을 제안하고 설계 및 구현한다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
• /
• 2006.10a
• /
• pp.90-95
• /
• 2006

본 연구에서는 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피이던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피이던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. 평가결과, 설계변수의 조합에 대하여 감시 성능이 크게 달랐지만, 각 센서 정보의 감시 성능을 증진시키는 설계변수의 조합이 있었음을 확인하였으며, 이는 각 종 다양한 센서정보 별 CUSUM 제어 차트의 설계가 필요함을 의미한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2007.11a
• /
• pp.169-170
• /
• 2007

본 연구에서 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피이던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피이던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. CUSUM 설계변수에 따른 감시와 진단성능을 평가하였으며, 최적화된 설계변수의 결정으로 감시와 진단성능을 증진시킬 수 있었다. 한편, 고정설계변수에 비해 가변 설계변수가 감시성능을 증진하느데 더 효과적임을 알 수 있었다. 평가에 이용된 데이터는 소스전력이 500 W, 압력이 15 mTorr, $O_2$ 유량이 75 socm일 때 수집하였다.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
• /
• 2006.06c
• /
• pp.166-168
• /
• 2006

Stalemate는 정형이론 및 Statechart를 기반으로 하는 설계도구로서 시스템의 기능적, 구조적 분해를 통해 계층적으로 모듈화된 설계 단위를 작성할 수 있도록 한다. 또한 동일한 기능을 수행하는 설계모듈을 반복적으로 재사용하기 위한 일반화 차트 메커니즘을 지원하는데 본 논문에서는 Statemate가 지원하는 Ada 언어의 재사용 컴포넌트 개념을 적용하여 일반화 차트가 처리할 수 있는 형식매개변수의 자료형 제약을 완화시킨 확장된 개념의 재사용 설계모듈을 제시한다.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
• /
• 2006.10c
• /
• pp.366-370
• /
• 2006

정형명세는 자연어의 모호함을 없는 명료한 시스템 설계를 가능하게 한다. 상태차트와 같은 정형명세 된 요구사항은 시뮬레이션이나 정형검증을 통해 요구사항을 실행하여 볼 수 있으며, 더 나아가 여러 가지 특성을 정형검증과 같은 검증 기법으로 검증 할 수 있다. 하지만 자연어 요구사항을 상태차트로 변환하여 다양한 요구사항의 특성을 기술하기 위해서는 상당한 노력과 경험이 필요로 하다. 본 논문에서는 자연어 요구사항을 상태차트로 직접 변환하는 기법을 제안한다. 이를 위해 본 논문에서는 기능적인 요구 사항의 자연어를 분석하고, 또한 소프트웨어 요구사항 기술에 적절하도록 상태차트 문법의 의미를 제안한다.