Localized Silicon Surface Oxidation Using Pulsed Electrochemical Processes based on AFM (AFM 기반의 Pulse 전기 화학 가공을 응용한 실리콘 표면의 국부적 산화 및 화학적 특성)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2010.11a
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- pp.405-406
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- 2010