• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.208-208
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• 2011

최근 유연기판 기술을 기반으로 대면적 roll to roll 공정기술 개발이 활발히 연구됨에 따라 이에 적용 가능한 대면적 플라즈마 소스의 중요성이 대두되고 있다. 대면적 플라즈마 처리 공정에 적용 가능한 소스 중 closed drift 타입의 선형 이온 소스는 제작 및 대면적화가 용이함에 따라 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다. 선형 이온 소스를 다양한 표면처리 공정에 효과적으로 적용하기 위해서는 방전 특성에 대한 이해를 바탕으로 각 공정에 맞는 이온빔 전류 밀도, 방전 전압 등의 방전 인자 조절이 필수적이다. 본 연구에서는 표면 개질, 식각 및 박막 증착 등의 다양한 분야에 활용 가능한 선형 이온 소스를 개발하였으며, 선형 이온 소스를 통한 표면 식각 공정을 집중적으로 연구하였다. 전극 및 자기장 구조에 따른 선형 이온 소스 내 플라즈마 방전거동 분석을 위해 object oriented particle in cell(OOPIC) 전산모사를 수행하였으며, 이를 통해 식각 또는 증착 공정에 적합한 이온 소스의 구조 및 공정 조건을 예측하였다. 또한 OOPIC 전산모사를 통해 예측된 이온빔 인출 경향을 Faraday cup을 이용한 이온빔 전류 밀도 측정을 통해 확인하였다. 실리콘 기판 식각 공정의 경우, 이온 전류밀도 및 에너지에 따른 식각 거동 분석, 이온빔 입사각 변화에 따른 식각 특성 분석을 통해 최적 식각 공정 조건을 도출하였다. 특히, 이온빔 입사각 변화에 따른 식각률 변화는 일반적으로 알려진 입사각에 따른 스퍼터링율과 유사한 경향을 보였다. 이온빔 에너지 3 kV, Ar 압력 1.3 mTorr 조건에서 기판 정지 상태시 약 8.5 nm/s의 식각 속도를 얻었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.91-91
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• 2014

2002년 21세기 프론티어 연구개발사업으로 착수한 양성자기반공학기술개발사업이 2012년말 완료되었다. 이 사업을 통하여 이온원, RFQ, DTL, 초전도 가속관, 빔라인, 고주파 시스템, 제어 시스템 등 양성자 및 이온 가속기의 핵심 요소기술을 개발하고 100 MeV 선형 양성자가속기 및 이온가속기를 제작하여 경주에건설한 양성자속기연구센터에 설치하고 사업을 마무리하였다. 2013년 상반기에 냉각시스템 등 부대시설의 시운전, 양성자가속기와 20 MeV 및 100 MeV 빔라인 각 1기를 포함한 모든 시설의 시운전을 마무리하고, 한국원자력안전기술원의 방사선안전시설검사를 거쳐 7월부터 운영을 착수하였다. 양성자가속기는 2013년말 까지 총 2,290 시간을 가동하여 937건의 이용자 빔 서비스를 제공하였다. 기체, 금속, 대전류 이온을 공급할 수 있는 이온가속기 3대는 기업체의 공정 및 제품개발을 위한 이용을 중심으로 622건의 이용자 빔 서비스를 제공하였다. 2014년도는 양성자가속기는 연간 2,500 시간 가동, 빔 서비스 1,100건을 목표로 하고 있으며, 현재 20 MeV 및 100 MeV 각 1기인 뿐인 빔라인 증설을 준비하고자 한다. 이온가속기는 상반기에만 이용자 빔 서비스를 제공하고 2014년 11월 완공될 빔이용연구동으로 이전 설치하여 보다 양질의 이온빔을 공급할 수 있도록 장치를 보완 할예정이다. 더불어 2015년에는 3 MeV 헬륨빔과 1 MeV 기체 이온빔을 제공할 수 있는 장치도 추가로 설치할 예정이다. 빔이용연구동 및 이온가속기 업그레드가 완료되면 보다 다양한 양질의 이온빔을공급하여, 특히 중소기업의 제품 개발에 도움을 줄 수 있도록노력할 예정이다. 양성자가속기연구센터는 장기 비전인 펄스형 중성자원의 구축을 실현하고자 노력을 지속할 것이다. 미국의 SNS 및 일본의 J-PARC 파쇄 중성자원은우수한 연구 성과를 생산하기 시작하였고 우리나라도 이에 대한 수요가 생겨나도 있다. 충분한 수요가 형성되면 이미 확보한 부지와 초전도 가속기 기술을 활용하여 단시간 내에 펄스형 중성자원 구축이 가능할 것이다. 펄스형 중성자원이 구축되면 양성자가속기연구센터는 당초 목표한 양성자, 중성자 및 다양한 종의 이온을 한 사이트에서 제공하여, 입자빔을 이용한 다양한 연구개발에서 상당한 시너지 효과를 낼 수 있을 것으로 기대한다.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.22 no.1
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• pp.33-39
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• 2018

An additive noise reduction algorithm for a mass spectrum analyzer is proposed. From the measured ion signal, we first used an estimated threshold from the mode of the measured signal to eliminate background noises with the white Gaussian characteristics. Also, a signal block corresponding to each mass index is constructed to perform a second order curve fitting and a linear approximation to signal block. In this process, the effective signal block composed of only the ion signal can be reconstructed by removing the impulsive noises and the sample signals which are insufficient to be viewed as normal ion signals. By performing curve fitting on the effective signal block, the noise-free mass spectrum can be obtained. To evaluate the performance of the proposed method, a simulation was performed using the signals acquired from the development equipment. Simulation results show the validity of the threshold setting from the mode and the superiority of the proposed curve fitting and linear approximation based noise canceling algorithm.

• Polymer(Korea)
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• v.24 no.3
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• pp.382-388
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• 2000

Polymer electrolyte films consisting of poly(vinylidenefluoride-hexafluoropropylene) (PVdF-HFP), LiClO$_3$ and a mixture of ethylene carbonate (EC) and ${\gamma}$-butyrolactone (GBL) were examined in order to obtain the best compromise between high ionic conductivity, homogeniety, dimensional and electrochemical stability. Measurements of ionic conductivity, differential scanning calorimetry and linear sweep voltammetry have been carried out for various compositions. The highest conductivity of 3.8$\times$10$^{-3}$ S$cm^{-1}$ / at 3$0^{\circ}C$ were obtained for a film of 30(PVdF-HFP)+7.8LiClO$_4$+62.2EC/GBL. From the DSC study, it has been found that the PVdF-HFP gels are stable up to 10$0^{\circ}C$, and the salt lowers the melting temperature of crystalline part of PVdF by interacting sensitively with polymer segments. When Lithium metal is in contact with the gel films, it tends to undergo corrosion and the reaction products accumulate resulting in the formation of a passive film on Li electrode. As the aging time progresses, the interfacial resistance increases continuously. Anodic stability is measured to extend up to about 4.5 V vs. Li.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.5 no.8
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• pp.1020-1025
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• 1995

The Schottky barrier hieght(SBH) of Au/n-Si(100) were investigated by current-voltage(I-V) and capacitance voltage(C-V) measurement within a temperature range of l00K∼300K. The values of SBH at room temperature obtained from these two measurements were (0.79${\pm}$0.02)eV. The SBH obtained from the C-V measurement was temperature independent, while that obtained from the I-V measurement decreased linearly with decreasing temperature. This indicates that the Schottky diode has deviated from the thermionic emission theory at low-temperature, Thus, other current transport processes were considered and the contribution of recombination current was dominant at low temperature. We found that it leads to a lower SBH value. Thus, the conflicating results between C-V and I-V measurement were explained, C-V measurement is believed to yield mare reliable SBH values in present study since it is not affected by the current transport uncertainties.

• The Journal of Korean Society for Radiation Therapy
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• v.31 no.1
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• pp.17-24
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• 2019

Purpose: The present study aims to assess the level of coherency and the accuracy of Point dose of the Isocenter of VERO, a linear accelerator developed for the purpose of the Stereotactic Body Radiation Therapy(SBRT). Materials and Method: The study was conducted randomly with 10 treatment plans among SBRT patients in Kyungpook National University Chilgok Hospital, using VERO, a linear accelerator between June and December, 2018. In order to assess the equipment's power stability level, we measured the output constancy by using PTW-LinaCheck, an output detector. We also attempted to measure the level of accuracy of the equipment's Laser, kV(Kilo Voltage) imaging System, and MV(Mega Voltage) Beam by using Tofu Phantom(BrainLab, Germany) to assess the accuracy level of geometrical Isocenter. We conducted a comparative analysis to assess the accuracy level of the dose by using an acrylic Phantom($30{\times}30{\times}20cm$), a calibrated ion chamber CC-01(IBA Dosimetry), and an Electrometer(IBA, Dosimetry). Results: The output uniformity of VERO was calculated to be 0.66 %. As for geometrical Isocenter accuracy, we analyzed the error values of ball Isocenter of inner Phantom, and the results showed a maximum of 0.4 mm, a minimum of 0.0 mm, and an average of 0.28 mm on X-axis, and a maximum of -0.4 mm, a minimum of 0.0 mm, and an average of -0.24 mm on Y-axis. A comparison and evaluation of the treatment plan dose with the actual measured dose resulted in a maximum of 0.97 % and a minimum of 0.08 %. Conclusion: The equipment's average output dose was calculated to be 0.66 %, meeting the ${\pm}3%$ tolerance, which was considered as a much uniform fashion. As for the accuracy assessment of the geometric Isocenter, the results met the recommended criteria of ${\pm}1mm$ tolerance, affirming a high level of reproducibility of the patient's posture. The difference between the treatment plan dose and the actual measurement dose was calculated to be 0.52 % on average, significantly less than the 3 % tolerance, confirming that it obtained predicted does. The current study suggested that VERO equipment is suitable for SBRT, and would result in notable therapeutic effect.