• 제목/요약/키워드: 서큘러소스

검색결과 2건 처리시간 0.015초

대면적 OLED증착용 서큘러소스의 성능개선 (Performance Improvement of Circular Source for Large Size OLED vapor deposition)

  • 엄태준;주영철;김국원;이상욱
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제7권5호
    • /
    • pp.759-765
    • /
    • 2006
  • 유기발광다이오드(OLED)증착을 위한 서큘러소스의 열전달 해석을 통하여 온도분포를 연구하였다. 대면적의 OLED용 평판의 유기물증착을 위해 서큘러소스가 사용되는데, 소스내의 유기물이 가열되고, 승화되어 증착된다. 유기물의 수율을 높이기 위해 히터설계를 개선하고, 이에 대한 열전달해석을 수행하였다. 그리고, 효율을 높이기 위한 새로운 제조공정인 OVPD공정의 개념과 유도 및 열전달특성에 관한 기본적인 연구결과를 제시하였다.

  • PDF

OLED 증착용 서큘러소스의 열적성능 해석 (Thermal Performance Analysis of Circular Source for OLED Vapor Deposition)

  • 주영철;한충환;엄태준;이상욱;김국원
    • 반도체디스플레이기술학회지
    • /
    • 제6권4호
    • /
    • pp.39-42
    • /
    • 2007
  • Temperature distribution of the circular heat source was studied by analyzing the heat transfer of the environment of the circular source for OLED. Circular nozzle source was used to fabricate thin organic layer as the organic material in it was heated, vaporized and deposited to the large size panel. A modified heater structure of circular source has been suggested. The results of numerical analysis shows that the modified heater structure can use 15% more powder in a batch than the original heater structure does. Moreover, the modified heater structure can improve the uniformity of organic vapor deposition by controlling the temperature.

  • PDF