RF magnetron 스퍼터링과 급속 열처리에 의한$YBa_2Cu_3O_{7-x}$
(Characteristics of rapid-thermal-annealed $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ superconducting thin-films grown by rf magnetron sputtering)
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- E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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- 제6권4호
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- pp.318-323
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- 1993