Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1998.02a
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pp.80-80
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1998
RU02 박막은 전이금속으로서 rutile 구조이며, 넓은 온도 영역에서 금속성의 를 나타내고, 700도 이상의 높은 온도에서 열적 안정성을 갖는 물질이다 이러한 특성 때문 에 RU02 박막은 실리콘 디바이스에서 배선 게이트 전극 확산 장벽 등에 응용가능성이 높 은 물질로 각광을 받고 있다- 특히 다결정 RU02 박막은 DRAM (dynamic random access m memory) 내의 강유전성 축전기의 전극으로서 유망한 물질이다. 지금까지 이러한 응용분야에 사용된 전극물질은 pt 금속이었다 그러나 이러한 금속전극은 SI 산소 그리고 강유전체의 구성물질 등과의 상호확산, pt 표면의 hillock의 존재로 생기는 전기적 단락, 기판과의 나쁜 점작성, 어려운 에칭 프로세스 등의 단점을 가지고 있다 더욱 더 심각한 문제는 P Pt'ferroelectric/Pt 구조에서 나타나는 aging과 fatigue인데, 이는 108 사이쿨 이후에 스위칭 가 능한 잔류 pOlarization 으$\mid$ 감소를 유발하게 된다- 최근 Berstein은 Pt 대신에 RU02를 사용함으로써 강유전체 축전기에서의 fatigue 현상을 크게 감소시켰다고 보고 한 바 있다 Burst川도 RU02 가 실리콘 표면과 유전체 물질 사이에 전기전도 어떠한 상호 확산도 일어나지 않음을 보였다. 그러나 이러한 연구 결과에도 증착조건과 RU02 박악의 특성에 관한 상호 관계가 충분히 더욱 더 중은 강유전성 박막올 만들기 위해서는 이러한 박막 전극에 않고 있다 연구되지 대한 상세한 연구가 반드시 필요하다고 본다. RU02 박막은 실리콘 기판 위에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착하였다. 사용 한 타켓은 2 인치의 직경을 가지는 CERAC 사에서 제작한 Ruol다 초기 진공은 1O~6 Torr 이하였고, 고주파 전력은 20 - 80W 까지 변화시켰다 반응성 스퍼터링율 하기 위해 아르곤과 산소롤 주입하였고, 산소/(산소+아르곤)의 비를 변화시켰다 기판의 온도와 증착압력은 각각 상온에 서 500도까지 , 5mTorr에 서 100mTorr 까지 변 화시 켰 다 RU02 박막의 결정성을 조사하기 위해 XRD 표면 형상과 단면을 조사하기 위해 SEM을 사용하였다‘ 박악의 비저항을 조사하기 위해 4-단자법 van der Pauw 방법을 사용하였다. RU02 박막은 증착압력이 높을수록 비저항은 높아지고, 두께는 감소하였다. 특히 1 100mTorr에서는 작업가스와 스퍼터된 입자사이의 심각한 산란 때문에 아예 증착이 이루어 지지 않았다‘ RF 전력이 증가할수록 비저항이 낮아졌다. 이는 두께에 의존하는 결과이며 전형적인 금속박막에서 나타나는 현상과 유사함을 알 수 있었다- 기판온도와 작업가스의 산소 분압이 높을수록 비저항이 감소하였다‘ 이러한 사실은 성장한 박악의 결정구조와 밀접한 관련이 있음을 보여준다.
The effects of the substrate temperature and the Pd underlayer on the structure and the magnetic properties of Pd/Co multilayer films prepared by the thermal evaporation were studied. As the substrate temperature increases up to $150^{\circ}C$, the crystallinity of sublayers, (111) texture and the interface sharpness of Pd/Co multilayers were improved due to the enhanced mobility of adatoms. As results of that, the perpendicular and surface anisotropy energies were increased but the coercivity was decreased because the pinning sites of domain wall decreased due to the grain growth. The grain size of the multilayers increased with Pd underlyer thickness. Thermal degradation was enhanced at above $200^{\circ}C$ due to interdiffusion at the Pd/Co interface. The intensity of the main diffraction peak rapidly decayed in the initial stage of aging and then decreased slowly. The rapid change of the intensity in the initial stage was speculated to be due to the structural relaxation phenomena and the later stage change was due to the interdiffusion. The activation energy for the interdiffusion in Pd4/Co1 multilayers was 14.9 KCal/mole.K.
Journal of the Korea Society of Computer and Information
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v.29
no.6
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pp.23-29
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2024
In this paper, we propose a fast GPU-based method for representing pore flow, absorption, emission, and diffusion effects represented by cloth-liquid interactions using smoothed particle hydrodynamics (SPH), a particle-based fluid solver: 1) a unified framework for GPU-based representation of various physical effects represented by cloth-liquid interactions; 2) a method for efficiently calculating the saturation of a node based on SPH and transferring it to the surrounding porous particles; 3) a method for improving the stability based on Darcy's law to reliably calculate the direction of fluid absorption and release; 4) a method for controlling the amount of fluid absorbed by the porous particles according to the direction of flow; and finally, 5) a method for releasing the SPH particles without exceeding their maximum mass. The main advantage of the proposed method is that all computations are computed and run on the GPU, allowing us to quickly model porous materials, porous flows, absorption, reflection, diffusion, etc. represented by the interaction of cloth and fluid.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.02a
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pp.211-211
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2013
나노 크기의 공간에서의 물질의 이동은 표면의 환경에 의해 영향을 받을 수 있다. 소수성그래핀과 친수성 실리콘 기판 사이의 계면에서의 물의 확산은 호기심을 자극할 뿐만 아니라 그래핀 소자의 특성을 좌우하는 전하도핑(charge doping) 현상을 이해하는데 중요한 모델이 된다. 본 연구에서는 라만 분광법과 원자 힘 현미경을 사용하여 그래핀/SiO2 계면 사이의 물의 확산 현상과 그에 따른 정공 밀도 변화를 탐구하였다. 열처리 된 그래핀은 기판과의 상호 작용에 의해 높은 밀도의 정공(electron hole)으로 도핑 되어 있으며, 이를 물에 담지 하였다. 본 실험에서는 이차원 라만 분광법을 통해 물 속에 담겨진 그래핀의 정공 밀도의 공간적인 분포를 확산 시간에 따라 조사하였다. 물의 확산은 시료에 따라 수 시간에서 수 일의 시간대에 걸쳐 그래핀 가장자리에서 중앙으로 이루어진다는 사실을 확인하였다. 또한 물의 계면 확산으로 인하여 전하 밀도가 감소한다는 사실은 열처리 된 그래핀의 정공 도핑을 유발하는 산소가 계면에 존재한다는 것을 증명한다.
Polymer-modified mortars have an excellent water proofness and water retentivity. Therefore, the study on the moisture diffusion behavior- is very important. The purpose of' this study is to investigate the effects of relative humidity and moisture content in mortars on the moisture diffusion, and the relationship between the shrinkage and moisture diffusion coefficient of polymer-modified mortars cured at $20{\circ}C$ 50% R.H and 80% R.H. The pore size distribution of the polymer-modified mortars was also measured. From the test results, the relative humidity and moisture content in mortars influenced on the moisture diffusion of polymer-modified mortars. The shrinkage and moisture diffusion coefficient of polymer-modified mortars cured at $20{\circ}C$ 50% R.H. was bigger than that cured at $20{\circ}C$ 80% R.H.. and decreased with increasing polymer-cement ratio regardless of polymer type.
Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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2007.11a
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pp.209-223
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2007
B2C, B2B와 같은 인터넷 상거래뿐만 아니라, 전자정부를 통한 G2C 등에서 보는 바와 같이, 공공 및 민간 IX(Internet exchange)를 통한 인터넷 상호연동 인프라는 명실상부한 사회 신경망으로 기능한다. 따라서 전통적인 사회간접자본인 도로, 항만, 전력 등에서와 마찬가지로, 그 구축 및 운영에서의 안정성과 신뢰성에 대한 요구가 점차 강화되고 있다 본 연구는 인터넷 상호연동망의 안정성과 신뢰성을 제고하기 위한 방안을 위험관리 관점에서 제안한다. 먼저, 인터넷 상호연동의 강건성(robustness)을 높이기 위한 방어기제와 더불어 상호연동 대안들을 개발한다. 이들 대안은 장애시에 작동하는 별도의 상호연동 비상망을 운영하는 방재형과, 지역적으로 분산된 상호연동 허브(IX)를 운영하여 장애에 따른 피해 확산을 방지하는 분산 허브형으로 구분된다. 본 논문에서는 또한 대안들의 위험효율성(risk efficiency)을 체계적으로 비교/평가하기 위하여 경영공학 방법론에 의한 위험평가 프레임워크를 개발하고, 이를 투자수준이 상이한 여러 대안들에 적용한다. 몬테카를로 시뮬레이션을 통한 ROI(Risk On Investment) 분석 결과, 방재형 대안이 비용 대비 위험효율성 측면에서 최선의 후보로 평가되었다.
Journal of the Korea Institute of Information Security & Cryptology
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v.26
no.1
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pp.209-226
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2016
Recently, there is a growing interest in Fintech which is a business based on using IT to provide financial services. At the early stage of diffusion of Fintech, one of the issues raised is the concern for information security. This study examines actual users' information privacy concern and user resistance to Fintech services. We also investigates the effects of social influence and mobile Internet literacy on information privacy concern and user resistance. In particular, this research verifies the interaction effect between regulatory focus and information privacy concern to influence user resistance. Based on the findings, the results of this study provide strategic implications for firms which attempt to reduce user resistance to Fintech services and proliferate Fintech usage.
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